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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法,包括如下步骤:(1)在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜;(2)对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀,包括多个刻蚀阶段,每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内,通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成,随着刻蚀深度的增加,各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题,在提高刻蚀效率的同时,提高了对光刻胶的选择比,刻蚀槽侧壁垂直度高,粗糙度小,刻蚀深度大。
华中科技大学 2021-04-14
在基于纳米石墨烯的高性能单原子电催化剂、C60衍生物高效储锂、CSPbBr3量子点铁电性质
南方科技大学材料科学与工程系讲席教授王湘麟课题组在基于纳米石墨烯的高性能单原子电催化剂、C60衍生物高效储锂、CSPbBr3量子点铁电性质研究等取得重要进展。相关论文发表于Nano Energy(IF:15.548);ACS nano (IF:13.903);《美国化学会志》(Journal of the American Chemical Society,IF:14.695)。 发展高效稳定的非铂基电催化剂对质子交换膜电池等清洁能源转换装置的大规模应用具有关键作用。王湘麟团队基于结构明确的纳米石墨烯,合成了单原子铁-氮-碳氧还原催化剂,其催化活性接近商业Pt/C,并具有高循环稳定性。我校物理系副教授徐虎和物理系博士后黄祥构建了理论计算模型并模拟电催化反应过程。 在锂电池电极材料方面,王湘麟团队与台湾大学高分子科学与工程研究所教授王立義(Wang Leeyih)团队合作,基于C60衍生物开发高性能的储锂材料,研究论文发表于ACS Nano。 王湘麟团队与吉林大学化学学院袁宏明教授合作,首次发现全无机卤化物钙钛矿CsPbBr3量子点具有出色的铁电性,研究论文发表于《美国化学会志》。
南方科技大学 2021-04-11
基于机器视觉的无人机自动检测方法及无人机管制方法
一种基于机器视觉的无人机自动检测方法及无人机管制方法,利用图像采集装置自动巡天;自适应光照变化并躲避强光的直射,获取待检测区域的图像序列,利用序列图像之间的目标运动特性和单幅图像中的目标与背景的差异,自动检测无人机等低空飞行器,并通过对其卫星定位信道和遥控信道进行无线电干扰以实现无人机管制的目的
华中科技大学 2021-04-10
减噪保温墙体材料及其制备方法和减噪保温砌块及其制作方法
其他成果/n建筑材料技术领域,具体涉及一种减噪保温墙体材料及其制备方法和减噪保温砌块及其制作方法。该方法包括步骤:1)准备原料;2)将骨料、氧化石墨烯、水泥和硅灰混合,得到混合物A;3)向混合物A中依次加入减水剂、粘结剂、激发剂和水泥质量30~40%的水,搅拌混合,得混合浆料B;4)将作物秸秆制作成秸秆框架;5)将混合浆料B倒入模具中进行浇筑,并在浇筑过程中将步骤4)得到的秸秆框架放入到模具中,脱模后经过养护,即得。本发明主要原料为建筑垃圾,解决了建筑垃圾处置问题和废物资源化利用。秸秆与骨料间的空隙结构增长了声波传递的距离并多次折射,削弱了=声波的能量,具有良好的减噪作用。
武汉轻工大学 2021-04-11
一种牡蛎粉祛农残抗菌材料的制备方法与使用方法
本发明公开了一种牡蛎粉祛农残抗菌材料的制备方法与使用方法,其以牡蛎壳为原料通过二级阶梯式升温煅烧并辅以通风降温法制得熟料,熟料经磨机粉磨至粒径为50um以下的粉体,从而制得具有疏松多孔结构和高化学活性的牡蛎壳粉体;其用于祛农产品农药残留的使用方法简单、安全高效、无二次污染无产生。本发明相对于现有技术,具有成本低、节能绿色环保等特点,环保、使用安全、高效、适于各类水果和疏菜的净洗处理,可有效祛除附着在其表面上的农药成分残留,并杀灭大肠杆菌。
青岛大学 2021-04-13
基于机器视觉的无人机自动检测方法及无人机管制方法
本发明公开了一种基于机器视觉的无人机自动检测方法及无人机管制方法,利用图像采集装置自动巡天;自适应光照的变化并躲避强光的直射,获取待检测区域的图像序列,利用序列图像之间的目标运动特性和单幅图像中的目标与背景的差异,自动检测无人机等低空飞行器,并通过对其卫星定位信道和遥控信道进行无线电干扰以实现无人机管制的目的;本方法可对全天域进行监控,并在巡天过程中自动调整光学成像传感器的指向以避免被强光直射,可以实时自动学习环
华中科技大学 2021-04-14
一种短路电流零点预测方法及短路电流选相分断控制方法
本发明公开了一种短路电流零点预测方法及短路电流选相分断 控制方法,短路电流选相分断控制方法包括 S1 实时采集电流信号,并 判断是否发生短路故障,若是,则转入步骤 S2,若否,则继续采集电 流信号;S2 采用类-Prony 方法对短路电流进行处理,获得短路电流零 点;S3 根据短路电流零点、断路器的分闸动作时间和最佳燃弧时间获 得距离目标相位的延时时间;S4 判断继电保护指令是否达到,若是, 则直接分断开关,若否,则进入延时倒计时;S5 判断延时倒计时时间 是否为 0,若是,则转入步骤 S6,若否,
华中科技大学 2021-04-14
科技部关于发布国家重点研发计划“高性能制造技术与重大装备”等6个重点专项2023年度项目申报指南的通知
科技部近日发布了《科技部关于发布国家重点研发计划“高性能制造技术与重大装备”等6个重点专项2023年度项目申报指南的通知》(国科发资〔2023〕90号),涉及“高性能制造技术与重大装备”、“智能传感器”、“工业软件”、“增材制造与激光制造”、“智能机器人”和“网络空间安全治理”共6个专项,详见国家科技管理信息系统公共服务平台通知
科研部 2023-06-06
基于小波分析和有限高斯混合模型EM方法的模拟电路故障诊断方法
近年来已经建立了基于故障字典,模糊理论,专家系统,神经网络,支持向量机,信息融合,小波分析,粒子群等各种技术的不同故障诊断方法,并在模拟电路的实际检验中取得了良好的效果。然而,电路从正常到故障之间存在中间过渡状态,怎样定义这个中间状态以及其对电路有怎样的影响,如何准确描述这种影响,通过查阅文献,到目前为止还没有一种合理的方法能够解决这个问题。
辽宁大学 2021-04-11
一种治疗心脑血管疾病的药物组合物、制备方法及其质量控制方法
【发 明 人】郭立玮;付廷明;朱华明;朱华旭;张启春;刘峰;张伟【摘要】本发明提供一种治疗心脑血管疾病的药物组合物、制备方法及其质量控制方法,涉及制药领域。所述治疗心脑血管疾病的药物组合物,由下述重量配比的中药原料制成:地龙30~50份、全蝎15~25份和水蛭30~50份。其制备方法,包括如下步骤:将地龙粗粉、全蝎及水蛭粗粉混合均匀,加水浸泡,将药材连同浸泡液加入粉碎机进行湿法粉碎,离心,取上清液作采用中空纤维膜过滤,取粗提取液中分子量范围为9~120KDa的组分即得所述治疗心脑血管疾病的药物组合物。本发明药物组合物,去除了药材中干扰药效的杂质,所以抗血栓方面的药效较传统药物显著增强,且能显著减少服用剂量,却并未检测到毒性。
南京中医药大学 2021-04-13
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