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沟道的刻蚀方法、半导体器件及其制备方法与电子设备
本发明提供了一种沟道的刻蚀方法,提供一待刻蚀对象,对所述待刻蚀对象一次刻蚀后,交替进行表面处理‑二次刻蚀,直至刻蚀掉所有的鳍结构的牺牲层;其中,一次刻蚀用于刻蚀掉所述若干鳍结构中当前宽度最小的鳍结构的全部牺牲层以及其它宽度更宽的鳍结构的部分牺牲层;表面处理用于在待刻蚀对象的沟道层与剩余的牺牲层的暴露在外的表面形成保护层;所述二次刻蚀用于刻蚀掉当前宽度次之的鳍结构的全部的牺牲层,以及所述保护层。本发明在传统的刻蚀工艺中加入氧化步骤,既实现了对沟道层的保护,又实现了在不同沟道宽度的刻蚀中,减少沟道层的损失量。
复旦大学 2021-01-12
一种微闭孔轻量刚玉耐火骨料及其制备方法
本发明涉及一种微闭孔轻量刚玉耐火骨料及其制备方法。其技术方案是:以45~65wt%的γ-Al2O3细粉、30~50wt%的α-Al2O3微粉和1~10wt%的纳米氧化铝微粉为原料,外加所述原料40~80wt%的水,用行星球磨机湿磨0.5~3小时;再将湿磨后的料浆置于模具中,于室温条件下放置12~24小时,脱模;然后在110~200℃条件下干燥12~36小时,在1750~1900℃条件下保温1~8小时,即得微闭孔轻量刚玉耐火骨料。本发明所制备的微闭孔轻量刚玉耐火骨料具有显气孔率低、闭口气孔率高、体积密度较小、平均孔径小、热导率较低和抗熔渣侵蚀能力强的特点。
武汉科技大学 2021-01-12
一种银铋卤化物单晶及其制备方法与应用
本发明属于光电半导体材料技术领域,具体为一种银铋卤化物单晶及其制备方法与应用。本发明改进的溶液蒸发结晶工艺,通过控制溶液浓度、溶剂挥发速率和退火温度,有效提升单晶的尺寸完整性,控制缺陷密度;具体包括:配制合适浓度前驱体溶液;量取前驱体溶液滴至柔性疏水基底上;将液滴蒸干批量获得单晶;进行热退火以释放晶格应力;所得高品质Cs<subgt;2</subgt;AgBiBr<subgt;6</subgt;单晶,元素分布均匀,具有(111)晶面择优取向和优异热稳定性。本发明方法显著缩短生产周期并提升工艺重复性。所述银铋卤化物单晶可用作高效稳定光电探测器的核心功能材料,在光探测领域具有巨大应用潜力。
复旦大学 2021-01-12
固定化磷脂酶A1在制备磷脂DHA中的应用
本发明提供了一种固定化磷脂酶A1在制备磷脂DHA中的应用,具体过程为,六水硝酸钴和2‑甲基咪唑分别溶于无水甲醇得到六水硝酸钴溶液和2‑甲基咪唑溶液,将2‑甲基咪唑溶液滴加至六水硝酸钴溶液中,搅拌反应、静置、干燥,得到ZIF‑67纳米材料,将ZIF‑67纳米材料于磷酸钠缓冲液中混悬,加入磷脂酶A1溶液,调节pH,置于摇床孵育,离心、干燥,获得ZIF‑67纳米材料固定化磷脂酶A1;将游离脂肪酸和大豆卵磷脂组成的底物和固定化磷脂酶A1在有机反应体系中进行催化反应,分离纯化获得磷脂DHA。固定化磷脂酶A1,稳定性好,催化制备磷脂DHA,DHA掺入率高达51.04%。
南京工业大学 2021-01-12
用于净化重金属污水的改性浮石及其制备方法和用途
本发明公开了一种用于净化重金属污水的改性浮石及其制备方法和用途,采取浮石为原料,通过破碎,筛分,球磨加工成不规则粒状,加工成Φ=16-100目所需大小的颗粒现状,放入烘箱烘干,马弗炉煅烧,自来水淬火,沥干,烘箱烘干,小粒状浮石即为成品。采用改性后浮石通过吸附-离子交换作用,将水体中的重金属离子Cu2+、Pb2+、Zn2+、Cd2+、Cr2+、Hg2+、As5+除去,达到净化重金属废水的目的。该原料成本低廉,加工工艺简单,使用改性浮石去除单体重金属及混合重金属效果好,见效快,无二次污染。 发明人:王银叶;张宏伟
天津城建大学 2021-01-12
用于烟气脱硫、脱硝的改性污泥活性炭及其制备方法
本发明公开了一种烟气脱硫、脱硝用伽玛型三氧化二铝膜和五氧化二钒改性污泥活性炭,其原料组分为ALCL3·6H2O、V2O5及污水处理厂的污泥;制备步骤为: ①制备AL(OH)3溶胶; ②制备污泥活性炭; ③制备伽玛型三氧化二铝膜改性污泥活性炭; ④制备伽玛型三氧化二铝膜和五氧化二钒改性污泥活性炭。 本发明首次将伽玛型三氧化二铝膜和五氧化二钒用于改性污泥活性炭的制备,有效提高了污泥活性炭的脱硫、脱硝效率,符合现有使用要求。本发明应用于对低浓度烟气的脱硫和脱硝。
天津城建大学 2021-01-12
一种赤泥制备道路硅酸盐水泥的方法
本发明公开了一种赤泥制备道路硅酸盐水泥的方法,以脱碱后的氧化铝赤泥为主要原料制备道路硅酸盐水泥,本发明通过设计道路硅酸盐水泥熟料中C3S、C2S、C4AF和C3A等主要的矿物组成,以40~60%的赤泥部分代替道路硅酸盐水泥生产所用的钙质、铝质原料,完全取代铁质和硅质原料;本方法所制得的赤泥道路硅酸盐水泥性能良好,赤泥的利用率高。
天津城建大学 2021-01-12
清洁低硫船舶燃料油制备及石油污染生物治理
我国的清洁船舶燃料油(重油型)缺口巨大,每年进口 1000 万吨以上。目前,国内外均采用调和技术生产船舶燃料油,国内大部分产品均为中高硫燃料油(硫含量约为 1.0~3.5%)。传统调和技术技术含量低、生产成本高,且无法实现对劣质原料的有效利用,造成清洁型燃料油产能的严重不足。以欧盟标准的低硫(硫含量<0.1%)清洁船舶燃料油为例,其需求量大且价格昂贵,当前国内无生产企业,全部依靠进口。2020 年,船燃硫含量标准将在全球范围内由现行<3.5%大幅提升至<0.5%。与此同时,国内石油炼化每年产出约 2500 万吨油浆或渣油,大部分作为劣质锅炉燃料低价销售,与清洁船舶燃料油之间存在巨大价差。因此,将劣质重油转变为清洁船舶燃料油具有十分重要的应用价值,潜在的市场价差每年可达 2000 亿人民币以上。 我课题组开发的生物炼化技术可弥补加氢法等在重油脱硫脱氮应用上的缺陷和弊端(如:粘度降低、催化剂中毒等),可重点去除高硫原油、渣油和油浆等劣质油品中的有机硫氮以及重金属等其它有害固杂成分,且保证油品的高粘度。已与多家企业合作完成 800 余次生物脱硫技术测试,脱硫效率可达 30~60%,并初步建立 1~5 吨的中试装置。试制的清洁型 180#和 380#船舶燃料油产品经国家权威检测机构鉴定优于国际标准。该项技术实现突破,可替代传统调和技术,为石化企业、船舶燃料油经销企业提供高品质清洁燃料油的生产和油品升级服务。仅需约 200~300 元/吨成本即可实现劣质油浆转化为优质清洁船舶燃料油(价差大于 1000 元/吨),具显著的经济、社会和环保效益。我课题组基于生物炼化核心技术(8 项专利)已开发以下四项技术,均有较好应用效果,可实现工业化。包括: 1)清洁船舶燃料油制备技术(中试) 2)油浆的生物清洗技术(中试) 3)生物乳化油制备技术(中试) 4)石油污染生物修复剂(产品成熟) 
南开大学 2021-04-13
一种新型多通道Ni/CM陶瓷催化膜的制备方法
本发明属于陶瓷催化膜技术领域,涉及一种新型多通道Ni/CM陶瓷催化膜的制备方法。将2‑氨基对苯二甲酸加入N,N二甲基甲酰胺中并混合均匀,缓慢滴加入六水合硝酸镍的水溶液中,并混合均匀。将膜管浸没,进行水热合成反应,反应结束后冷却,洗涤并烘干,煅烧,冷却,得到催化膜。将硼氢化钠加入乙醇溶液并混合均匀,强制循环流动经过催化膜的膜孔,得到多通道Ni/CM陶瓷催化膜。本发明所提出的工艺能够使Ni‑MOF‑NH&lt;subgt;2&lt;/subgt;在膜孔内充分生长,增加活性组分,并且使得活性组分分布均匀,从而有效提高了金属Ni的利用率。制备过程简单可控,催化膜活性高、稳定性好,回收简单方便,适合大规模工业应用推广。
南京工业大学 2021-01-12
催化苯乙烯环氧化制备苯乙烷的新型催化剂
环氧苯乙烷作为一种重要的化工中间体被广泛应用于化工与医药生产等众多领域,传统的制备方法——卤醇法在生产过程中环境污染严重、对原料的利用率不高,导致生产成本居高不下。随着整个社会环保意识的不断增强,绿色化学日益受到重视。在催化苯乙烯环氧化反应的研究过程中,开发高效、低污染、低能耗、环境友好的催化剂一直是研究的主要方向。虽然在许多研究人员的不懈努力下,催化剂的研究取得了可喜的进展,但是现有的催化剂还存在着一些缺陷,新型高效催化剂的研发仍然是当前研究的热点之一。 我们发现将普鲁士蓝类配合物用于催化苯乙烯环氧化制备环氧苯乙烷,具有合成方法简单、催化活性高(苯乙烯转化率97%,环氧苯乙烷选择性64%)、稳定性强以及分离容易等特点,有非常好的实际工业应用的价值,已经获得国家发明专利授权。
兰州大学 2021-01-12
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