一种基于静电控制扭摆的导体表面电势测量仪
本发明提供了一种基于静电控制扭摆的导体表面电势测量仪,包括悬丝、探针支架,扫描探针,多自由度微位移平移台,角度传感器,控制系统和反馈执行机;扫描探针设置在探针支架的任意一个端面上;悬丝悬挂探针支架构成扭摆;工作时,待测样品设置在多自由度微位移平移台上,待测样品的待测表面正对且平行于扫描探针的端面;扫描探针的端面与待测表面不接触;当扫描探针与待测样品之间存在相互作用时,角度传感器将检测的扭摆的扭转信息传给控制系统;进行 PID 运算后获得的反馈控制电压传给反馈执行机,产生一个与外力矩等大的反馈控制力矩
华中科技大学
2021-04-14