本实用新型涉及一种治疗吞咽障碍的可调低频脉冲电磁仪。包括电源模块、刺激信号产生模块、人机交互模块三个部分。电源模块与刺激信号产生模块连接，人机交互模块一端与刺激信号产生模块连接，另一端与电源模块连接，刺激信号产生模块输出特定可调治疗吞咽障碍的低频脉冲电磁信号。使用时，输出刺激信号通过两组六对刺激电极作用于人体需要治疗部位，控制刺激信号产生模块，调整刺激信号组别、类型、刺激时间及刺激强度等参数，实现不同患者对刺激信号的要求。临床试验表明，在低频脉冲电磁信号产生的具有特定的强度和频率的环境下每次刺激30～60分钟，平均治疗10～14次具有较好的治疗吞咽障碍的效果。

本发明属于气动开关阀，具体公开了一种先导式高压气动电磁 开关阀，其主要包括主阀阀体、直流电磁铁和工作口连接件，该主阀 阀体一侧设置有先导阀体，所述主阀阀体内有一空腔，该空腔分别与 主阀阀体上的通孔、工作口和入气口连通，所述入气口还通过工艺孔 组与主阀阀体上的阀口连通，所述空腔内设置有主阀阀芯，所述主阀 阀芯设有开放的控制腔与通孔连通；通过直流电磁铁的通断电推动先 导阀阀芯，同时配合高压气体和弹性元件的作用，可推动主阀阀芯移 动，从而实现气体通断的目的。本发明先导式高压气动电磁开关阀密 封性能好、结构

高性能工业铝材生产中必需的关键熔体净化技术，可去除普通过滤方法难以除净的<10μm微细夹杂，显著提高材料的加工性能与表面质量，并改善其塑性、抗疲劳等力学性能 技术背景： 高性能工业铝材生产中必需的关键熔体净化技术，可去除普通过滤方法难以除净的<10μm微细夹杂，显著提高材料的加工性能与表面质量，并改善其塑性、抗疲劳等力学性能 技术水平： 采用国际铝工业界公认的PoDFA 检测装置，分析表明经过电磁净化后夹杂物含量可降低到 0.02 mm2/kg，达到国际先进水平。 获得7项中国发明专利和1项美国专利。获得国家技术发明二等奖、上海市技术发明一等奖和中国有色工业科学技术二等奖各1项。

水下航行体电磁加热空化装置。装置示意图如下，由磁性分子材料构成 的空化器 1 安装在航行体 2 头部，高频交变电磁场发生器 4，空泡 3 由涡流导致 的高温产生。

产品详细介绍  一款最先进的液晶屏幕，使用者可透用电脑笔配合软件运用直接在屏幕上书写文字、绘图及编辑资料，完全取代鼠标功能及打字动作，如同使用笔记本一样的简便，为您提供一种人性化、快捷的电脑操作方式！   【产品特色】 （1）19”高清晰高亮度液晶屏,分辨率支持1280×1024 （2）采用高强度钢化玻璃对液晶屏的表面进行保护处理,增强屏的抗击能力和使用寿命。            （3）具有世界先进的1024级压感,使你笔划的粗细浓淡变化随心所欲。    （4）高达200点/秒的笔划处理速度,令你挥笔自如，毫不中断你的运笔速度。 （5）笔感应精度达到±0.5MM，满足你每次落笔时的位置准确无误。 （6）液晶屏的角度调节可以从水平15-80度变化,使用操作十分舒适。 （7）笔划原迹重现的分辨率高达500LPI。  （8）具有VGA输出接口和独特的DVI数字信号接口,可接驳投影机和数字电视。 （9）PPT集成：在powerpoint演示模式下，系统提供笔操作便捷方式对文稿进行播放控制，而不必频繁的在手写模式和鼠标模式之间来切换，支持powerpoint演示文稿的各种动态效果。同时系统还提供将在演示过程中手写笔迹自动或手动保存于powerpoint文稿的功能。 （10）同步录屏录音功能： 可以将演示资料或演讲内容紧密结合方便直观，具有独特的自动排版板书技术，创新屏幕板书模式，可同屏显示，同屏操作，动态跟踪。保留所有演示过的资料，绝无擦除后无法找回的遗憾，可对声音、文档、图档进行实时保存。保存格式：PPT、PPS、WMV、BSD、BMP、JPG、PNG、GIF等。   【产品应用】   ☆教学简报，即时注解 ☆电子教室\会议环境\无纸化工作环境 ☆电脑学习全面化   远距教学普及化电脑绘图\美工设计 ☆在Windows Office中输入手写真迹，注解输入，发送手写E-mail ☆数位医疗，兵棋模拟，多媒体教学，系统工程等应用。        在现代教育技术研究中，数字手写设备已成为多媒体教学方案的核心组成部分，ACCU开发的新一代交互式液晶书写屏设备，集成了ACCU杰出的手写数字技术，液晶显示技术和多媒体教学软件技术于一体的高科技产品，使教师可以完全从黑板的局限中解脱出来，大量的传统黑板板书将通过液晶书写屏的压感笔进行自由的板书，又能即时方便灵活地引入电脑及网络里的多种类型教育信息化资源，无论对课件制作、编辑、组织、展示、控制和保存都是灵活自如，极大地解决过去课件和幻灯讲稿以及传统黑板教学的诸多问题。对推动现代教育技术研究以及多媒体教育信息化建设有着深远的意义   【技术参数】   液 晶 面 板 项 目 规 格 外观尺寸 19.0inch 重 量 5.9 (kg) 显 示 区 376.3(H) x 301.1mm(V) (19.0-inch diagonal) 画 面 分 辨 率 1280 (H) x 1024 (V) pixels 反 应 时 间 16 ms 图 素 大 小 0.264mm(H) x 0.264mm(V) 讯 号 接 口 12V DC power In; Audio In; VGA 15-pin D-sub, USB-connector 颜 色 数 目 16.7 M (RGB8-bit + FRC) 对 比 800:1 背 光 单 元 4 replaceable CCFL edge-light (top/bottom) 亮  度 300 (cd/m2) 视  角 -80° ~ 800° (H), -70° ~ 60° (V) (Typical) 环 境 规 格 操作温度: 0°C ~+ 40°C (32°F ~ 113°F) 储存温度: -20°C ~ +60°C (-4°F ~ 140°F) 耗 电 量 工作状态: 30 Watt 待机状态: 1 Watt 输 入 电 源 AC100-240V Universal 认 证 符合CCC,UL,CE,FCC-B,能源之星 接 线 DC power in, VGA 15-pin D-sub输入, VGA 15-pin D-sub输出, DVI输入, USB-connector 感 应 面 板 手 写 技 术 电磁式(Electromagnetic) 可操作区域 376.3 x 301.1 mm 压 感 级 别 1024 级(levels) 分辨率 500 LPI 感 应 精 度 ± 0.5mm 感 应 高 度 8 mm (Max.) 能 量 电 压 +5 伏特(Voltage) 耗 电 量 0.05A (0.25Watts) Max. 信 号 接 口 USB 信 号 读 取 率 200 点/秒 笔 键 数 Define 1.Left(Pen top)、2.Rright(barrel backward) ; 3.Middle(barrel forward) 无线书写笔（带休眠功能）   【功能拓展】 使用ACCU手写液晶屏容易对课件演示过程进行控制，教师不必到主控台前操作，就可以控制演示材料的播放，这使得课堂中教师得身体语言得以充分发挥，也避免了课堂上由于教师往返于黑板与主控台间分散学生注意力得问题。 使用ACCU手写液晶屏技术能即时方便灵活地引入多种类型地数字化信息资源，并可对多媒体教材进行灵活地编辑组织、展示和控制，它使得数字化资源的呈示更灵活，也解决了过去多媒体投影系统环境下，使用课件和幻灯讲稿教学材料结构高度固化的问题。 板书内容可以被存储下来。写画在手写屏上的任何文字、图形或插图的任何图片都可以被保存至硬盘或移动存储设备，供下节课、下学年或其它班级使用，或与其它教师共享；也可以电子格式或打印出来以印刷品方式分发给学生，供课后温习或作为复习资料。 ACCU手写液晶屏技术使得以前色彩单调，呈示材料类型仅止于手写文字和手绘图形的黑板变得五彩缤纷，既可如以往一样自由板书，又可展示、编辑数字化的图片、视频，这将有利于提供学生学习兴趣，保持其注意力。 ACCU手写液晶屏使教师对计算机的操作透明化。它使学生可以清楚地看到教师是如何对软件操作地，如点击了哪个按钮或哪个菜单。这对计算机软件应用地学习十分有意义。可以在计算机机房瑞安装ACCU液晶书写屏系统，铺助计算机课的教学。 随着ACCU手写液晶屏的使用，使得教学过程中对计算机的访问更加方便，本系统与网络、与其它计算机应用程序互补，促使师生共同运用计算机作为认知和解决问题的思维方式。 由于使用ACCU液晶书写屏仍然可以像传统黑板一样自由板书，部分年龄较大、计算机技能较差的老教师稍加尝试就课应用手写屏的基本功能进行教学，易于克服畏难心理。ACCU液晶书写屏作为一项新技术，是教师授课的最佳选择  多媒体演示功能的详细特点 鼠标功能： 利用压感笔做鼠标使用，无需另配鼠标，支持单击，双击，拖放动作等。 书写功能： 支持毛笔模式、铅笔模式和荧光笔模式。在毛笔模式下，利用压感笔可以根据用力大小写出具有压感的手写字和线条等。 绘图功能： 支持随手绘、直线、矩形、圆形或者椭圆形和三角形等，支持多种填充模式。在毛笔模式下，通过控制压力大小可以控制手绘的线条粗细。 板擦功能： 可以擦除任意书写字迹和图形。 颜色选取： 支持各种笔式模式下，通过程序界面中的调色板任意选择颜色。 演示应用： WINDOWS桌面，windows操作，powerpoint，word，flash，excel，IE或NETSEAPE浏览器，auto CAD和photoshops等任意windows操作与应用。 PPT集成： 在powerpoint演示模式下，系统提供笔操作便捷方式对文稿进行播放控制，而不必频繁的在手写模式和鼠标模式之间来切换，支持powerpoint演示文稿的各种动态效果。同时系统还提供将在演示过程中手写笔迹自动或手动保存于powerpoint文稿的功能。 文字输入： 支持用有源无线压感笔进行文字和其他文字的手写识别输入。（需要文字手写输入软件支持）。    【操作环境】 系统主机：80486或相当者及以上的IBM PC兼容性主机或笔记本电脑。　　 操作系统：中文Windows98/ME/2000/XP/vista Mac OSX 工作内存要求：64M Bytes (64M Bytes以上更好)。　　 安装空间：100MBytes硬盘安装空间(Word批注程序：CPU Pentium 233MHz或相当者或以上，内存48MBytes以上，微软Word 97、2000、2003)

产品详细介绍  一款最先进的液晶屏幕，使用者可透用电脑笔配合软件运用直接在屏幕上书写文字、绘图及编辑资料，完全取代鼠标功能及打字动作，如同使用笔记本一样的简便，为您提供一种人性化、快捷的电脑操作方式！   【产品特色】 （1）17”高清晰高亮度液晶屏,分辨率支持1280×1024 （2）采用高强度钢化玻璃对液晶屏的表面进行保护处理,增强屏的抗击能力和使用寿命。            （3）具有世界先进的1024级压感,使你笔划的粗细浓淡变化随心所欲。    （4）高达200点/秒的笔划处理速度,令你挥笔自如，毫不中断你的运笔速度。 （5）笔感应精度达到±0.5MM，满足你每次落笔时的位置准确无误。 （6）液晶屏的角度调节可以从水平15-80度变化,使用操作十分舒适。 （7）笔划原迹重现的分辨率高达500LPI。  （8）具有VGA输出接口和独特的DVI数字信号接口,可接驳投影机和数字电视。 （9）PPT集成：在powerpoint演示模式下，系统提供笔操作便捷方式对文稿进行播放控制，而不必频繁的在手写模式和鼠标模式之间来切换，支持powerpoint演示文稿的各种动态效果。同时系统还提供将在演示过程中手写笔迹自动或手动保存于powerpoint文稿的功能。 （10）同步录屏录音功能： 可以将演示资料或演讲内容紧密结合方便直观，具有独特的自动排版板书技术，创新屏幕板书模式，可同屏显示，同屏操作，动态跟踪。保留所有演示过的资料，绝无擦除后无法找回的遗憾，可对声音、文档、图档进行实时保存。保存格式：PPT、PPS、WMV、BSD、BMP、JPG、PNG、GIF等。   【产品应用】   ☆教学简报，即时注解 ☆电子教室\会议环境\无纸化工作环境 ☆电脑学习全面化   远距教学普及化电脑绘图\美工设计 ☆在Windows Office中输入手写真迹，注解输入，发送手写E-mail ☆数位医疗，兵棋模拟，多媒体教学，系统工程等应用。        在现代教育技术研究中，数字手写设备已成为多媒体教学方案的核心组成部分，ACCU开发的新一代交互式液晶书写屏设备，集成了ACCU杰出的手写数字技术，液晶显示技术和多媒体教学软件技术于一体的高科技产品，使教师可以完全从黑板的局限中解脱出来，大量的传统黑板板书将通过液晶书写屏的压感笔进行自由的板书，又能即时方便灵活地引入电脑及网络里的多种类型教育信息化资源，无论对课件制作、编辑、组织、展示、控制和保存都是灵活自如，极大地解决过去课件和幻灯讲稿以及传统黑板教学的诸多问题。对推动现代教育技术研究以及多媒体教育信息化建设有着深远的意义   【技术参数】   液 晶 面 板 项 目 规 格 外观尺寸 17.0inch 重 量 5.9 (kg) 显 示 区 358．5mm(H) x 296.5mm(V) (17.0-inch diagonal) 画 面 分 辨 率 1280 (H) x 1024 (V) pixels 反 应 时 间 16 ms 图 素 大 小 0.264mm(H) x 0.264mm(V) 讯 号 接 口 12V DC power In; Audio In; VGA 15-pin D-sub, USB-connector 颜 色 数 目 16.7 M (RGB8-bit + FRC) 对 比 800:1 背 光 单 元 4 replaceable CCFL edge-light (top/bottom) 亮  度 300 (cd/m2) 视  角 -80° ~ 800° (H), -70° ~ 60° (V) (Typical) 环 境 规 格 操作温度: 0°C ~+ 40°C (32°F ~ 113°F) 储存温度: -20°C ~ +60°C (-4°F ~ 140°F) 耗 电 量 工作状态: 30 Watt 待机状态: 1 Watt 输 入 电 源 AC100-240V Universal 认 证 符合CCC,UL,CE,FCC-B,能源之星 接 线 DC power in, VGA 15-pin D-sub输入, VGA 15-pin D-sub输出, DVI输入, USB-connector 感 应 面 板 手 写 技 术 电磁式(Electromagnetic) 可操作区域 358.5 x 296.5mm 压 感 级 别 1024 级(levels) 分辨率 500 LPI 感 应 精 度 ± 0.5mm 感 应 高 度 8 mm (Max.) 能 量 电 压 +5 伏特(Voltage) 耗 电 量 0.05A (0.25Watts) Max. 信 号 接 口 USB 信 号 读 取 率 200 点/秒 笔 键 数 Define 1.Left(Pen top)、2.Rright(barrel backward) ; 3.Middle(barrel forward) 无线书写笔（带休眠功能）   【功能拓展】 使用ACCU手写液晶屏容易对课件演示过程进行控制，教师不必到主控台前操作，就可以控制演示材料的播放，这使得课堂中教师得身体语言得以充分发挥，也避免了课堂上由于教师往返于黑板与主控台间分散学生注意力得问题。 使用ACCU手写液晶屏技术能即时方便灵活地引入多种类型地数字化信息资源，并可对多媒体教材进行灵活地编辑组织、展示和控制，它使得数字化资源的呈示更灵活，也解决了过去多媒体投影系统环境下，使用课件和幻灯讲稿教学材料结构高度固化的问题。 板书内容可以被存储下来。写画在手写屏上的任何文字、图形或插图的任何图片都可以被保存至硬盘或移动存储设备，供下节课、下学年或其它班级使用，或与其它教师共享；也可以电子格式或打印出来以印刷品方式分发给学生，供课后温习或作为复习资料。 ACCU手写液晶屏技术使得以前色彩单调，呈示材料类型仅止于手写文字和手绘图形的黑板变得五彩缤纷，既可如以往一样自由板书，又可展示、编辑数字化的图片、视频，这将有利于提供学生学习兴趣，保持其注意力。 ACCU手写液晶屏使教师对计算机的操作透明化。它使学生可以清楚地看到教师是如何对软件操作地，如点击了哪个按钮或哪个菜单。这对计算机软件应用地学习十分有意义。可以在计算机机房瑞安装ACCU液晶书写屏系统，铺助计算机课的教学。 随着ACCU手写液晶屏的使用，使得教学过程中对计算机的访问更加方便，本系统与网络、与其它计算机应用程序互补，促使师生共同运用计算机作为认知和解决问题的思维方式。 由于使用ACCU液晶书写屏仍然可以像传统黑板一样自由板书，部分年龄较大、计算机技能较差的老教师稍加尝试就课应用手写屏的基本功能进行教学，易于克服畏难心理。ACCU液晶书写屏作为一项新技术，是教师授课的最佳选择  多媒体演示功能的详细特点 鼠标功能： 利用压感笔做鼠标使用，无需另配鼠标，支持单击，双击，拖放动作等。 书写功能： 支持毛笔模式、铅笔模式和荧光笔模式。在毛笔模式下，利用压感笔可以根据用力大小写出具有压感的手写字和线条等。 绘图功能： 支持随手绘、直线、矩形、圆形或者椭圆形和三角形等，支持多种填充模式。在毛笔模式下，通过控制压力大小可以控制手绘的线条粗细。 板擦功能： 可以擦除任意书写字迹和图形。 颜色选取： 支持各种笔式模式下，通过程序界面中的调色板任意选择颜色。 演示应用： WINDOWS桌面，windows操作，powerpoint，word，flash，excel，IE或NETSEAPE浏览器，auto CAD和photoshops等任意windows操作与应用。 PPT集成： 在powerpoint演示模式下，系统提供笔操作便捷方式对文稿进行播放控制，而不必频繁的在手写模式和鼠标模式之间来切换，支持powerpoint演示文稿的各种动态效果。同时系统还提供将在演示过程中手写笔迹自动或手动保存于powerpoint文稿的功能。 文字输入： 支持用有源无线压感笔进行文字和其他文字的手写识别输入。（需要文字手写输入软件支持）。    【操作环境】 系统主机：80486或相当者及以上的IBM PC兼容性主机或笔记本电脑。　　 操作系统：中文Windows98/ME/2000/XP/vista Mac OSX 工作内存要求：64M Bytes (64M Bytes以上更好)。　　 安装空间：100MBytes硬盘安装空间(Word批注程序：CPU Pentium 233MHz或相当者或以上，内存48MBytes以上，微软Word 97、2000、2003)

产品概述： 中医脉诊实训教学系统采用仿生手臂来模拟真实的手臂结构，模型包含桡骨、尺骨、肘关节等骨性结构和标志。根据真实的成人上肢高仿真建模，采用硅胶外皮，手感逼真。内部含有智能控制电路，采用独有传感器模拟脉搏跳动，配合专业的三维虚拟仿真软件，为脉诊的实训提供了一种全新的实训方法。 一、软件功能： 1.1、认脉识脉：系统内置7大类模拟脉象，包含沉脉、迟脉、促脉、大脉、代脉、动脉、短脉、伏脉、浮脉、革脉、洪脉、滑脉、缓脉、疾脉、结脉、紧脉、芤脉、牢脉、平脉、平脉Ⅱ、濡脉、弱脉、散脉、涩脉、实脉、数脉等30余种单脉，还包含了浮脉相兼、沉脉相兼、迟脉相兼、实脉相兼等70余种复合脉象。 *1.2、脉诊认知：详细介绍了各个脉象的定义、鉴别、主病、脉机、应用举例、歌诀等知识。 1.3、脉象模式图：每种脉象都配备对应的脉象模式图和脉图以及脉象搏动周期、形态、浮中沉位置等，直观、形象展示脉象搏动情况。 1.4、一键返回：系统架构简洁明了，点击可返回主界面。 1.5、语音功能：针对详细注解内容，可以选取语音播报方式。 二、脉诊实训 2.1、开机检测：开机后系统可自动检测脉象设备的连接与故障情况。 2.2、脉诊原理的展示：通过模拟尺骨桡动脉的血液流动产生波动，在仿真手臂上动态形象的模拟脉搏形态。 2.3、脉诊部位：仿真手臂具有明显的桡骨茎突、肌腱等标志，可直接定位寸、关、尺的具体位置。 *2.4、正确脉诊部位的感知：手指放到正确的寸、关、尺的位置，系统可实时进行反馈感知，便于正确识别脉诊的位置。 *2.5、取脉力度：通过柱状图动态展示仿真手臂寸、关、尺三个部位取脉力度的大小，并可通过浮、中、沉、重沉四个取脉力度进行区分。 *2.6、系统可自动采集并获取用户当前取脉力度的大小。 *2.7、色块堆积：系统检测寸关尺三个部位的取脉力度，通过色块堆积的方式精准反应瞬间力度的变化。 *2.8、可对不同取脉力度的参数进行调节，可调范围为0-255。 *2.9、可自定义脉象的脉压、脉幅、频率，并配合仿真手臂来实现脉象的变化。 2.10、切脉周期：通过计算机控制脉搏的周期，详细模拟整个脉诊切脉时的时间和周期，同时脉象模式图与脉象保持同步、同频。 2.11、手臂解剖结构：可隐藏、显示三维手臂的皮肤、肌肉、神经、血管系统，以便了解手臂的解剖结构。 *2.12、三维透明功能：可调节三维手臂皮肤不同层次的透明度。 2.13、单臂硬件模型可实现左臂、右臂模式，可在系统中一键切换。 *2.14、系统内置理论试题与脉象实训试题，实训试题结合脉象模拟进行实训考核。 2.15、系统包含学生端、教师端、后台管理端。 三、考试管理功能参数 *3.1、教师端 考试管理：可以组织任意时间段的考试，设置考试时间并发布。 试卷管理：可以调用内置试题库系统自动组织生成试卷，也可以手动编辑试题组成试卷。 试题管理：可添加、删除试题，设置试题形式与分数。 学生管理：学生信息的导入和编辑管理。 考试结果：可实时记录每位考生的考试记录与信息。 智能分析：通过对考试结果的分析，方便教师掌握医学生实际学习状况。 *3.2、学生端 考试模式设置：可以接收考试提醒，实时进行考试。 实时提交：分主动提交和自动提交两种形式，实时显示考核结果并记录进个人中心，方便查看。 实训考核：基于计算机互联技术配合仿真手臂模拟脉象进行脉诊考核。 3.3、个人中心 个人考试记录：可查看脉诊理论考核与脉象考核记录详情，方便进行针对性的练习。 个人注册登录：登录个人账号可通过日历进行个人相关信息查询或学习。 个人设置：可以针对性的进行个性化设置。 四、硬件参数 4.1、多功能一体台车：符合人体工程学设计的一体台车，台车尺寸（长宽高）:110CM*60CM*77CM。 4.2、电脑一键进行开机，启动带有灯光提示，可旋转屏幕支架。 4.3、电脑配置：intel i5处理器、 8G 内存、 SSD高速固态硬盘、支持高清输出、双频WiFi网卡、24寸高清显示器。 4.4、高仿真脉诊模型一个。采用高仿真材质一体成型，手感真实，有尺骨、桡骨、肌腱、腕横纹、掌纹等骨性和体表标志。 4.5、脉枕一个。 4.6、仿真皮肤护理粉一盒。

本发明公开了一种产生涡旋电磁波的单极子天线阵列及其馈电系统，属于无线通信技术领域。本发明包括介质基板、接地面、馈电系统和单极子天线阵列。所述介质基板是形状为圆形的绝缘介质基板，其表面上方是由金属材料印刷而成的微带电路。微带电路主要分为两个部分，一部分是 1 路分 N 路的馈电系统，另一个部分是由 1/4 波长金属贴片作为阵元组成的 N 阵元单极子天线阵列。本发明实现了一种体积小、易生产、具有平面结构、易集成的产生涡旋电磁波的天线。同时还设计了一套完整的馈电系统，解决了阵列天线的馈电问题，只需在输入端口施加激励即可得到所需的 OAM 模态，方便操作，使用简单。

本发明涉及一种电液伺服阀叠合量气动测量装置及方法。本装置及系统对电液伺服阀的进油腔或回油腔提供稳定的气压，驱动阀芯缓慢及微量的移动，采集阀芯运动过程中气体流量、阀芯位移数据，并进一步计算出电液伺服阀各工作边的叠合量。本装置及系统主要包括：电动平移台、接触式位移传感器、流量控制器、配气座、气动滑台、气爪、气路系统等。电动平移台带动阀芯做缓慢及微量移动；气动平移台实现工艺壳体的压紧、阀芯的夹紧、位移传感器与气爪的接

本发明公开了一种光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测 量方法，可以对 IC 制造中所涉及纳米结构的结构参数和粗糙度特征参 数进行非接触、非破坏的测量。首先，通过仿真分析的手段，选出最 优测量配置与最优等效介质模型；其次，将上述仿真结果运用于实际 纳米结构的测量，包括：在最优测量配置下，对实际纳米结构进行光 学散射测量，获得测量光谱；运用基于最优等效介质模型的参数提取 算法，对测量光谱进行分析，获得提取参数的数值；通过提取参数与 待测参数间稳定性最佳的映射关系式对提取参数进行映射，获得待测 参数的数值。