一种扭摆平移式微机电磁场传感器
本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器,包括从下向上依次叠加设置的衬底、底电极层、牺牲层、氧化硅层及金属层,牺牲层的中部空心,氧化层的中部为扭转板,金属层的顶面设有锚区,金属层位于扭转板上方;扭转板的上方设置第一电容、第二电容,第三电容和第四电容,扭转板的顶面布设有第一电容引线、第二电容引线、第三电容引线,第四电容引线和沿扭转板边缘布设的金属线;金属线的两端分别与一个焊盘连接;底电极层与金属层连接;在氧化硅层的边部上方设置焊盘,金属层与焊盘连接。该磁场传感器结构简单,可以实现磁场方向以及幅度的测量。
东南大学
2021-04-11