|
搜索
搜 索
高等教育领域数字化综合服务平台
半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22
关于“重大自然灾害防控与公共安全”重点专项2023年度指南直接进入正式申报项目填报正式申报书的通知
根据国家重点研发计划重点专项管理工作的总体部署和相关工作要求，中国21世纪议程管理中心已完成了“重大自然灾害防控与公共安全”重点专项2023年度项目申报指南预申报形式审查工作，已通过国家科技管理信息系统进行反馈，并依规确定了可直接进入正式申报环节的项目清单，请收到我中心关于正式申报邮件通知的项目及时按要求填报项目正式申报书（含预算申报），其他项目请等待后续通知。
科学技术部
2023-07-20
关于“重大自然灾害防控与公共安全”重点专项2023年度指南通过首轮评审的项目填报正式申报书的通知
根据国家重点研发计划重点专项管理工作的总体部署和相关工作要求，中国21世纪议程管理中心已完成了“重大自然灾害防控与公共安全”重点专项2023年度项目申报指南预申报项目首轮评审工作，并通过国家科技管理信息系统反馈了评审结果，依规确定了进入正式申报环节的项目清单，请符合条件的项目及时按要求填报项目正式申报书（含预算申报）。
科学技术部
2023-08-07
二次重组的杆状病毒（棉铃虫病毒）作为高效生物杀虫剂生产新工艺
棉铃虫重组病毒杀虫剂施用安全，对人畜无害, 无残毒, 保护了人类健康。重组病毒杀虫剂不会造成土壤和水源污染，利用它逐步地取代化学农药, 是逐渐消除化学农药残毒，保护农业生态环境, 使农业走可持续发展道路的根本途径, 社会效益、生态效益显著。由于病毒感染的专一性, 不会危害人类，不会危及有益昆虫及其它有益的动植物, 保护了人类赖以生存的地球环境, 维护了生态平衡。 国内外专家预测到21世纪初生物农药将占市场的20－30％。棉铃虫是一种世界性的杂食害虫，也是我国农业的重要害虫，全国受害作物面积近1亿亩。当前棉铃虫对各种化学农药均产生了很高的抗性，单纯依靠化学农药，已很难控制该类害虫。化学农药超量应用引起的中毒事故，已经造成了严重的社会问题。我国目前棉铃虫病毒杀虫剂的防治面积仅占棉花种植面积的0.25%-1% (200万亩)，缺口很大，具有极大的市场潜力。 该项目开发生产的生物杀虫剂不是传统的野生棉铃虫病毒，而是经过二次重组，而且具有高效杀虫效果的重组的棉铃虫病毒HaSNPV-CathL。它的特点是缺失egt基因并插入蝎毒基因。重组棉铃虫病毒的田间试验结果表明双重重组棉铃虫病毒处理的小区蕾铃被害率低于野生型病毒处理的小区，最终棉花的产量也比野生型病毒处理的小区高20％。 重组棉铃虫病毒作为杀虫剂的工业化生产，国内采用“人工饲养的幼虫――多角体病毒感染”的传统工艺，此法生产时间长、耗人力，产品中含有的微生物、大量昆虫角皮及昆虫蛋白等对人体有危害。本项目以以色列的工作为基础采用离体病毒培养“重组棉铃虫细胞－重组棉铃虫病毒”体系开发了无血清昆虫细胞培养的杆状病毒杀虫剂的大规模生产过程。这不仅克服传统方法的缺点， 而且降低重组棉铃虫病毒杀虫剂生产成本。
武汉工程大学
2021-04-11
线控制动 EHB 线控液压刹车 无人车线控底盘 自动驾驶 i-booster
浙江天尚元科技有限公司
2022-06-20
新型微流控注射器“滤头”
开发了一种新型微流控注射器“滤头”，通过简单将样品注入滤头即可实现微粒的“片上浓缩”
东南大学
2021-04-11
物联网智慧公路节能管控系统
联网智慧公路节能管控系统是集能耗监测与能耗管控于一体的智能化节能管理系统，针对各级公路隧道照明节能管控效果尤为显著。本系统采用先进的网络构建模式，搭建一个服务于各级公路隧道节能管控的平台，具有良好的稳定性、拓展性、实用性等。物联网智慧公路节能管控系统其结构主要包括：人机交互界面、业务逻辑、数据访问。为了丰富界面展示效果，方案采用专业界面控件作为人机交互界面主要技术手段，该技术提供了一种在 Web 上体现强交互性的解决方案。业务逻辑负责能耗数据的采集、处理、计算及前端监测/控制设备控制策略等工作。数据访问提供对数据库的存储访问支持。物联网隧道照明节能管控系统即在隧道入口前 500 米通过微波车辆检测器、激光车辆检测器两种检测方式，准确检测有无车辆通过。有车辆驶入时，服务器结合环境光传感器的实时采集数据及设置的相应数值，开关或调节入口加强照明段的照明设备，加强照明段的环境光传感器可检测照明设备的开关状态及效果。隧道内布置激光车辆检测器，当车辆通过时，上传数据（信号）至服务器，用于进行本地和远程隧道照明控制。隧道内分段布置物联网在线诊断系统，可实时监测路况信息。
西安交通大学
2021-04-10
物联网智慧公路节能管控系统
一、项目简介物联网智慧公路节能管控系统是集能耗监测与能耗管控于一体的智能化节能管理系统，针对各级公路隧道照明节能管控效果尤为显著。本系统采用先进的网络构建模式，搭建一个服务于各级公路隧道节能管控的平台，具有良好的稳定性、拓展性、实用性等。物联网智慧公路节能管控系统其结构主要包括：人机交互界面、业务逻辑、数据访问。为了丰富界面展示效果，方案采用专业界面控件作为人机交互界面主要技术手段，该技术提供了一种在 Web 上体现强交互性的解决方案。业务逻辑负责能耗数据的采集、处理、计算及前端监测/控制设备控制策略等工作。数据访问提供对数据库的存储访问支持。物联网隧道照明节能管控系统即在隧道入口前 500 米通过微波车辆检测器、激光车辆检测器两种检测方式，准确检测有无车辆通过。有车辆驶入时，服务器结合环境光传感器的实时采集数据及设置的相应数值，开关或调节入口加强照明段的照明设备，加强照明段的环境光传感器可检测照明设备的开关状态及效果。隧道内布置激光车辆检测器，当车辆通过时，上传数据（信号）至服务器，用于进行本地和远程隧道照明控制。隧道内分段布置物联网在线诊断系统，可实时监测路况信息、确认照明设备开
西安交通大学
2021-04-10
冶金生产全流程质量管控系统
利用现有的信息化系统，对产品制造过程的质量数据、工艺参数进行集成和融合，采用统计方法和大数据分析技术，实现产品质量在线监控、诊断、优化、判定与全流程质量追溯分析，提高产品质量的稳定性和成品率。（1）数据采集、预处理与时空融合：从自动化控制系统、MES、ERP、大型仪表采集产品制造过程的重要工艺参数、质量参数、物料参数、判定结果、以及控制系统报警事件等。（2）生产过程与产品质量实时监控：对来自工艺过程实时数据库、产品质量数据库的基础数据，在经过数据转换与重整后，采用相应的数学模型，对生产过程和产品质量进行在线监控，避免出现批量的质量偏差。（3）产品质量分析与预测：对关键过程参数进行符合性分析，预测产品质量，为产品质量在线评级与判定、工艺优化等提供依据。（4）质量全流程追溯与诊断分析：根据物料号追溯产品在整个制造过程中的工艺参数与质量数据。采用质量分析算法进行全流程质量诊断。（5）过程质量在线优化：通过案例方式为生产过程控制的操作人员提供工艺参数调控策略。
北京科技大学
2021-04-13
微型缆控水下观测机器人
缆控水下观测机器人（ROV）是一型可以水面遥控水下运动，水下录像水面呈现的潜水器，水下机器人自身携带高强度水下光源以及高清晰广角度摄像机。中性浮力、低水阻力、超强拉力、多芯集成的超细柔性脐带缆来实现水面监控单元与水下机器人之间的数据、电源和视频信号的传输。
技术特点：该微型缆控水下观测机器人采用磁耦合传动技术、直流载波技术、超细中性浮力凯夫拉缆技术、自动航向保持和定深技术、高效水动力外形设计技术，平台具有极大的技术先进性。其操作简便简单，便携小巧。技术指标：
1、高分辨率彩色摄像头，数字变焦与云台控制；
2、3个磁耦合推进器，方向和速度可调；
3、高亮度LED灯组；
4、超细柔性脐带缆；
5、配置深度计和高度计，可实现自动定深操作；
6、配置电子罗盘，自动航向保持；
7、视频与字符叠加，实时状态显示，屏幕菜单操作；
8、数字信号传输，减小信号失真；
9、简易游戏操纵手柄控制；
10、富有美学设计理念的流线型机器造型，静电喷漆外观，硬质氧化水下机身。
天津大学
2023-05-12