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沟道的刻蚀方法、半导体器件及其制备方法与电子设备
本发明提供了一种沟道的刻蚀方法,提供一待刻蚀对象,对所述待刻蚀对象一次刻蚀后,交替进行表面处理‑二次刻蚀,直至刻蚀掉所有的鳍结构的牺牲层;其中,一次刻蚀用于刻蚀掉所述若干鳍结构中当前宽度最小的鳍结构的全部牺牲层以及其它宽度更宽的鳍结构的部分牺牲层;表面处理用于在待刻蚀对象的沟道层与剩余的牺牲层的暴露在外的表面形成保护层;所述二次刻蚀用于刻蚀掉当前宽度次之的鳍结构的全部的牺牲层,以及所述保护层。本发明在传统的刻蚀工艺中加入氧化步骤,既实现了对沟道层的保护,又实现了在不同沟道宽度的刻蚀中,减少沟道层的损失量。
复旦大学 2021-01-12
一种微闭孔轻量刚玉耐火骨料及其制备方法
本发明涉及一种微闭孔轻量刚玉耐火骨料及其制备方法。其技术方案是:以45~65wt%的γ-Al2O3细粉、30~50wt%的α-Al2O3微粉和1~10wt%的纳米氧化铝微粉为原料,外加所述原料40~80wt%的水,用行星球磨机湿磨0.5~3小时;再将湿磨后的料浆置于模具中,于室温条件下放置12~24小时,脱模;然后在110~200℃条件下干燥12~36小时,在1750~1900℃条件下保温1~8小时,即得微闭孔轻量刚玉耐火骨料。本发明所制备的微闭孔轻量刚玉耐火骨料具有显气孔率低、闭口气孔率高、体积密度较小、平均孔径小、热导率较低和抗熔渣侵蚀能力强的特点。
武汉科技大学 2021-01-12
一种银铋卤化物单晶及其制备方法与应用
本发明属于光电半导体材料技术领域,具体为一种银铋卤化物单晶及其制备方法与应用。本发明改进的溶液蒸发结晶工艺,通过控制溶液浓度、溶剂挥发速率和退火温度,有效提升单晶的尺寸完整性,控制缺陷密度;具体包括:配制合适浓度前驱体溶液;量取前驱体溶液滴至柔性疏水基底上;将液滴蒸干批量获得单晶;进行热退火以释放晶格应力;所得高品质Cs<subgt;2</subgt;AgBiBr<subgt;6</subgt;单晶,元素分布均匀,具有(111)晶面择优取向和优异热稳定性。本发明方法显著缩短生产周期并提升工艺重复性。所述银铋卤化物单晶可用作高效稳定光电探测器的核心功能材料,在光探测领域具有巨大应用潜力。
复旦大学 2021-01-12
涉硫石化装置运行风险评估与预警技术及其应用
该项目研发了石化装置运行风险预警系统,实现了基于风险分级的石化装置风险预警与检验。项目提出了基于标志性气体与温度变化相复合的热自燃预警临界判据;提出建立了新型管道泄漏点定位模型与算法;提出了集硫腐蚀监测、热自燃及装置失效泄漏风险动态评估和寿命预测为一体的石化装置风险预警技术。
南京工业大学 2021-01-12
一种复合量子点电极材料及其制备方法和应用
本发明公开了一种复合量子点电极材料及其制备方法和应用,属于光电化学电极材料技术领域,包括如下步骤:将钛基材料打磨、清洗后,浸泡于第一酸性溶液中以去除氧化膜,后将钛基材料置于第二酸性溶液中,以制得钛基体;将钼源溶于水中同时调节pH值,并加入硫源后,进行热反应,得到MoS<subgt;2</subgt; QDs;将MoS<subgt;2</subgt; QDs、锑盐、稀土金属盐按预设比例混合溶于浓酸的醇溶液中以制得浸渍液;将钛基体进行清洗、干燥后,完全浸没在浸渍液中,经一系列处理后,得到复合量子点电极材料;本发明制得的电极材料具有导电性强、电催化活性高、耐腐蚀性能优异、稳定性持久等优点,能够用于油田聚合物驱油。
南京工业大学 2021-01-12
涉硫石化装置运行风险评估与预警技术及其应用
该项目研发了石化装置运行风险预警系统,实现了基于风险分级的石化装置风险预警与检验。项目提出了基于标志性气体与温度变化相复合的热自燃预警临界判据;提出建立了新型管道泄漏点定位模型与算法;提出了集硫腐蚀监测、热自燃及装置失效泄漏风险动态评估和寿命预测为一体的石化装置风险预警技术。
南京工业大学 2021-01-12
用于净化重金属污水的改性浮石及其制备方法和用途
本发明公开了一种用于净化重金属污水的改性浮石及其制备方法和用途,采取浮石为原料,通过破碎,筛分,球磨加工成不规则粒状,加工成Φ=16-100目所需大小的颗粒现状,放入烘箱烘干,马弗炉煅烧,自来水淬火,沥干,烘箱烘干,小粒状浮石即为成品。采用改性后浮石通过吸附-离子交换作用,将水体中的重金属离子Cu2+、Pb2+、Zn2+、Cd2+、Cr2+、Hg2+、As5+除去,达到净化重金属废水的目的。该原料成本低廉,加工工艺简单,使用改性浮石去除单体重金属及混合重金属效果好,见效快,无二次污染。 发明人:王银叶;张宏伟
天津城建大学 2021-01-12
用于烟气脱硫、脱硝的改性污泥活性炭及其制备方法
本发明公开了一种烟气脱硫、脱硝用伽玛型三氧化二铝膜和五氧化二钒改性污泥活性炭,其原料组分为ALCL3·6H2O、V2O5及污水处理厂的污泥;制备步骤为: ①制备AL(OH)3溶胶; ②制备污泥活性炭; ③制备伽玛型三氧化二铝膜改性污泥活性炭; ④制备伽玛型三氧化二铝膜和五氧化二钒改性污泥活性炭。 本发明首次将伽玛型三氧化二铝膜和五氧化二钒用于改性污泥活性炭的制备,有效提高了污泥活性炭的脱硫、脱硝效率,符合现有使用要求。本发明应用于对低浓度烟气的脱硫和脱硝。
天津城建大学 2021-01-12
一种高产胞外多糖的根瘤菌LX及其应用
本发明提供一种高产胞外多糖的根瘤菌LX及其应用,属于生物技术领域,根瘤菌LX保藏于中国典型培养物保藏中心,保藏时间为2025年2月28日,保藏编号为CCTCC M 2025321;根瘤菌LX菌株能够在常规发酵培养基中高效合成胞外多糖,其发酵过程具有成本低廉、操作简便、周期短、产量高(可达30g/L)的特点,展现出显著的规模化生产优势;根瘤菌LX的发酵液或胞外多糖能显著增强植物抵抗盐碱和干旱胁迫的能力,且所需用量较少。
南京工业大学 2021-01-12
PMSM及其驱动系统在蓄电池机车中的应用研究
本项目针对传统矿用蓄电池机车在运输的过程存在直流电机维护困难、蓄电池的使用寿命、蓄电池机车的制动和电能损耗等问题,研制了适用于煤矿防爆特殊型蓄电池电机车用的永磁同步电动机及其调速器,形成矿用隔爆蓄电池永磁同步牵引电机车及其控制系统。PMSM 及其驱动系统在蓄电池机车中的应用为解决传统矿用蓄电池机车运输过程中的问题提供了新的方法。 (1)输入电压:根据电机车的实际电池电压。 (2)输出功率:根据电机车的力矩和功率要求。 (3)控制要求:平滑调速,性能稳定。 (4)电池管理:要求有电量指示系统,电池电量不足是自动停机并配有应 急启动系统。
安徽理工大学 2021-04-13
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