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一种微机电系统的圆片级真空封装工艺
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺,属于微机电系统的封装方法,解决现有基于薄膜淀积真空封装工艺所存在的淀积薄膜较薄、腔体小,容易损坏,以及封装器件存在真空泄露、使用寿命降低的问题。本发明顺序包括:淀积吸气剂步骤;淀积薄牺牲层步骤;淀积缓冲腔牺牲层步骤;淀积厚牺牲层步骤;制作封装盖步骤;刻蚀释放孔步骤;去除牺牲层步骤和密封步骤。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短,密封质量低,封装尺寸大,工艺与标准 IC 工艺不兼容,成本高的问题,从而保证最里面的腔体气压;同时成本少于基于圆片键合工艺的真空封
华中科技大学 2021-04-14
低成本非真空铜铟硒(CIGS)薄膜太阳电池制造技术
CIGS 薄膜太阳电池具有效率高,无衰退、抗幅射、寿命长等特点,采用非真空技术可以进一步降低这种电池的成本,预计可达到0.3$/W。 本项目产品结构为:衬底/Mo/CIGS/CdS/i-ZnO/ZnO:Al/Ni-Al;其中光吸收层 CIGS 薄膜为 p 型半导体,其表面贫 Cu 呈 n 型与缓冲层CdS 和 i-ZnO 共同成为 n 层,构成浅埋式 p-n 结。太阳光照射在电池上产生电子与空穴,被 p-n 结的自建电场分离,从而输出电能。工艺流程:普通钠钙玻璃清洗→Mo 的溅射沉积→非真空法分步电沉积Cu-In-Ga 金属预置层→快速加热硒硫化处理(RTP)→化学水浴法沉积 CdS 或 ZnS→本征 ZnO 溅射沉积→ZnO:Al 透明导电膜的溅射沉积→Ni/Al 电极沉积,等。
南开大学 2021-02-01
低成本非真空铜铟硒(CIGS)薄膜太阳电池制造技术
CIGS 薄膜太阳电池具有效率高,无衰退、抗幅射、寿命长等特 点,采用非真空技术可以进一步降低这种电池的成本,预计可达到 0.3$/W。 本项目产品结构为:衬底/Mo/CIGS/CdS/i-ZnO/ZnO:Al/Ni-Al;其 中光吸收层 CIGS 薄膜为 p 型半导体,其表面贫 Cu 呈 n 型与缓冲层 CdS 和 i-ZnO 共同成为 n 层,构成浅埋式 p-n 结。太阳光照射在电池 上产生电子与空穴,被 p-n 结的自建电场分离,从而输出电能。工艺 流程:普通钠钙玻璃清洗→Mo的溅射沉积→非真空法分步电沉积CuIn-Ga 金属预置层→快速加热硒硫化处理(RTP)→化学水浴法沉积 CdS 或 ZnS→本征 ZnO 溅射沉积→ZnO:Al 透明导电膜的溅射沉积→ Ni/Al 电极沉积,等。 
南开大学 2021-04-11
一种仿生微孔表面泡沫金属填充太阳能真空集热管
本发明公开了一种仿生微孔表面泡沫金属填充太阳能真空集热管,该真空集热管嵌套有玻璃外管(1)和仿生微孔表面金属内管(2),玻璃外管(1)上端开口,且对接有合金短管(6);仿生微孔表面金属内管(2)上端开口,且沿其开口端的外表面固定连接有金属环形盖(5),所述的金属环形盖(5)外延与合金短管(6)固定连接,在真空集热管嵌套有玻璃外管(1)与仿生微孔表面金属内管(2)之间形成真空;在仿生微孔表面金属内管(2)管壁的外侧涂覆选择性吸收涂层(3),在仿生微孔表面金属内管(2)内部插入泡沫金属填充体(4)。该真空集热管提高太阳能利用率、承压效果好,可增强内部换热降低热损失,有效提高太阳能热水器效率。
东南大学 2021-04-11
环境友好型输电等级单断口真空断路器系列产品
本项目发明了以三分之二匝线圈纵磁触头为代表的系列真空灭弧室触头新结构和分合闸特性可控的弹簧、永磁操动机构,研制开发了系列环境友好型输电等级单断口真空断路器系列产品,其中126kV/2500A/40kA 单断口真空断路器技术指标处于国际领先水平,部分产品出口并在俄罗斯得到广泛应用。相关产品和技术成功推广应用于国内电力设备制造行业领军企业中,对我国占领输电等级真空电力开断技术国际制高点、发展环境友好电力装备、减少温室效应气体的使用具有重要意义。
西安交通大学 2021-04-11
低成本非真空铜铟硒(CIGS)薄膜太阳电池制造技术
CIGS薄膜太阳电池具有效率高,无衰退、抗幅射、寿命长等特点,采用非真空技术可以进一步降低这种电池的成本,预计可达到0.6$/W。 本项目产品结构为:衬底/Mo/CIGS/CdS/i-ZnO/ZnO:Al/Ni-Al;其中光吸收层CIGS薄膜为p型半导体,其表面贫Cu呈n型与缓冲层CdS和i-ZnO共同成为n层,构成浅埋式p-n结。太阳光照射在电池上产生电子与空穴,被p-n结的自建电场分离,从而输出电能。工艺流程:普通钠钙玻璃清洗→Mo的溅射沉积→非真空法沉积CIGS薄膜预置层→快速
南开大学 2021-04-14
北京科研团队实现人工智能四维重建技术提升冷冻电镜分析精度
近日,北京市自然科学基金资助的重点研究专题项目“超高分辨冷冻电子显微镜成像方法研究与应用”取得重要进展。在该项目支持下,北京大学毛有东教授团队于2022年4月27日在国际顶级学术期刊Nature杂志在线发表了题为“USP14-regulated allostery of the human proteasome by time-resolved cryo-EM”的研究论文,阐明了原子水平人源蛋白酶体动力学调控和构象重编程机制,并在国际上首次展示了人工智能四维重建技术用于大幅提升时间分辨冷冻电镜分析精度。
北大科研 2022-05-11
一种冰核蛋白-超声波协同提高柑橘汁冷冻浓缩晶体成核温度的方法
已有样品/n一种冰核蛋白-超声波协同提高柑橘汁冷冻浓缩晶体成核温度的方法。  成果简介:一种冰核蛋白-超声波协同提高柑橘汁冷冻浓缩晶体成核温度的方法,属于食品工程技术领域。本发明具体涉及在-15-20℃下通过冷冻浓缩法来制备柑橘浓缩汁,将10-50μg/mL冰核蛋白溶解于柑橘汁中,同时施加频极电流为0.2-0.5A的超声波,超声波频率为25MHz,超声波处理时间为0.5-2min,通过适当的搅拌使柑橘汁受到均匀的超声波作用,能够提高柑橘汁冷冻浓缩晶体成核温度5-8℃,并且快速形成冰晶。本发明方法节能
华中农业大学 2021-01-12
一种适用于高水分宽粒径低阶煤的流化床分级干燥装置
本发明公开了一种适用于高水分宽粒径低阶煤的流化床分级干燥装置,包括流化床分级预热室、粗粒流化床干燥室、中粒流化床干燥室和细粉流化床干燥室,粗粒流化床干燥室设置在流化床分级预热室下部,中粒流化床干燥室和细粉流化床干燥室分别设置在流化床分级预热室一侧的前后部,煤粒通过分级预热室进行分级和预热,经分级后的煤粒从不同的溢流管溢出,分别送入粗粒干燥室和中粒干燥室中,随排气带出的细粉由旋风分离器分离后送入细粉干燥室中干燥,
华中科技大学 2021-04-14
抗M3型受体变构肽抗体测定在干燥综合征诊断中的应用
干燥综合征(Sjögren’s Syndrome,SS)是一种以侵及泪腺和唾液腺等外分泌腺为特征的全身性自身免疫疾病。该病最常见的临床表现为眼干、口干,并可累及肺、肾脏、淋巴系统、血管及肝脏等器官。此病无明显的地区分布差异,可发生于任何年龄,以40-60岁,特别是绝经后的女性居多,男女之比为1:9。在我国的患病率为0.77%,在老年人群中的患病率高达4%,全国有近800万患者。 目前在临床上应用的SS特异性自身抗体,如SSA、SSB抗体,存在敏感性低,易漏诊的弊端,不能满足临床需求。本团队经过多年研究发现了可以用于干燥综合征诊断的血清学特异性抗原—AM3RP,根据该抗原的抗原表位合成的变构肽可以特异性的识别干燥综合征患者血清中的特异性抗体—抗AM3RP抗体。抗AM3RP抗体在原发性干燥综合征(pSS)具有很高的敏感性和特异性,其中,IgG型抗AM3RP抗体在pSS患者中的敏感性为84.6%,特异性为92.2%;IgA型抗AM3RP抗体在pSS患者中的敏感性为和特异性分别为46%和87%。基于目前SS在我国患者数量庞大,又缺乏相应的特异性诊断价值高的生物学标志物,本项目临床应用前景广阔。
北京大学 2023-07-10
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