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一种微机电系统的圆片级真空封装工艺
一种微机电系统的圆片级真空封装工艺,属于微机电系统的封装方法,解决现有基于薄膜淀积真空封装工艺所存在的淀积薄膜较薄、腔体小,容易损坏,以及封装器件存在真空泄露、使用寿命降低的问题。本发明顺序包括:淀积吸气剂步骤;淀积薄牺牲层步骤;淀积缓冲腔牺牲层步骤;淀积厚牺牲层步骤;制作封装盖步骤;刻蚀释放孔步骤;去除牺牲层步骤和密封步骤。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短,密封质量低,封装尺寸大,工艺与标准 IC 工艺不兼容,成本高的问题,从而保证最里面的腔体气压;同时成本少于基于圆片键合工艺的真空封
华中科技大学 2021-04-14
用于污泥干燥机的具有啮合叶片的自清搅拌式转轴
本实用新型涉及污泥干燥设备,旨在提供一种用于污泥干燥机的具有啮合叶片的自清搅拌式转轴。包括中空转轴及相连通的中空叶片;每个叶片组中包括至少两个相互交叉的叶片;叶片具有以转轴为中心的对称结构,在叶片两个末端的表面均设有同方向的凸出部,使叶片的侧面呈凹字形;同一个转轴上叶片的凸出部具有相同方向,相邻转轴上叶片凸出部的方向与之相反;当任一叶片处于两个转轴所形成的平面上时,均有一个位于相邻转轴上的叶片与其啮合。本实用新型能实现污泥干燥过程中干燥机的搅拌和自清洁效果,解决污泥在粘滞区时难以破碎以及粘壁的问题,增大污泥干燥机的干燥速率,提高干燥机的污泥处理能力和粘性处理范围,同时避免产生混合死角。
浙江大学 2021-04-13
关于冷冻电镜解析的人源蛋白酶体组装的变构选择机制
蛋白酶体是细胞用来调控特定蛋白质的浓度和清除错误折叠蛋白质的主要机制,是细胞中最普遍的不可或缺的大型 蛋白复合机器之一,也是迄今为止发现的最大的蛋白降解机器。 蛋白酶体全酶是由盖子 (Lid)和基座(Base)亚复 合体组成的调控颗粒RP(Regulatory Particle)所激活。基座亚复合体在组装过程中最重要的一个步骤是异质六 聚AAA-ATPase环的组装。这个过程至少需要被PAAF1, p28/gankyrin, p27/PSMD9和S5b这四种调控颗粒(RP)组 装伴侣蛋白分子所引导。天然的自由态19S调控复合体的构象存在大量的亚稳定态,并表现出大幅度的局部构象涨 落,使冷冻电子显微镜技术成为解析其结构的唯一手段。利用 冷冻电镜解析人源蛋白酶体全酶的基础上(见PNAS 2016, 113: 12991-12996),利用他们自主开发的基于统计 流行算法的高性能计算软件ROME(见PLoS ONE 2017, 12:e0182130)与优化的冷冻电镜处理方法对p28-RP复合 体细微动态构象进行深度分类,共解析出了1个4.5-? p28绑定的调控颗粒(RP)非AAA的亚复合体,3个近7-? p28 绑定的完整RP结构,1个亚纳米精度下的非p28绑定的完整RP结构以及7个亚纳米精度下的由Rpn1-p28-AAA组成的p28 绑定RP的亚复合体的动态构象。观察到自由态RP调控颗粒中p28-绑定的AAA环并没有组成的闭 环孔状通道,而是自发地在Rpt2-Rpt6和Rpt3-Rpt4界面上形成多个由“开”到“关”的拓扑变构。
北京大学 2021-04-11
一种基于室外温湿度的空调调整冷冻水温度运行的方法
本发明提供了一种基于室外温湿度的空调调整冷冻水温度运行的方法,具体步骤包括1)采集室内温湿度,并根据室内温度、室内湿度以及室内水体温度计算室内散湿量;2)设置室内温湿度阀值范围;3)采集主要空调末端风量和进出口温湿度,拟合出末端设备热湿交换的公式;4)采集目标建筑室外空气的温度和相对湿度;5)通过采集的参数和输入的数据计算得出满足目标情况下冷冻水最高出水温度;6)运行一段时间后采集室内温度和相对湿度;7)判断室内温湿度是否满足温湿度阀值需求,通过不断调整出水温度和/或室内散湿数据直至满足需求,从而即
东南大学 2021-04-14
低成本非真空铜铟硒(CIGS)薄膜太阳电池制造技术
CIGS 薄膜太阳电池具有效率高,无衰退、抗幅射、寿命长等特点,采用非真空技术可以进一步降低这种电池的成本,预计可达到0.3$/W。 本项目产品结构为:衬底/Mo/CIGS/CdS/i-ZnO/ZnO:Al/Ni-Al;其中光吸收层 CIGS 薄膜为 p 型半导体,其表面贫 Cu 呈 n 型与缓冲层CdS 和 i-ZnO 共同成为 n 层,构成浅埋式 p-n 结。太阳光照射在电池上产生电子与空穴,被 p-n 结的自建电场分离,从而输出电能。工艺流程:普通钠钙玻璃清洗→Mo 的溅射沉积→非真空法分步电沉积Cu-In-Ga 金属预置层→快速加热硒硫化处理(RTP)→化学水浴法沉积 CdS 或 ZnS→本征 ZnO 溅射沉积→ZnO:Al 透明导电膜的溅射沉积→Ni/Al 电极沉积,等。
南开大学 2021-02-01
低成本非真空铜铟硒(CIGS)薄膜太阳电池制造技术
CIGS 薄膜太阳电池具有效率高,无衰退、抗幅射、寿命长等特 点,采用非真空技术可以进一步降低这种电池的成本,预计可达到 0.3$/W。 本项目产品结构为:衬底/Mo/CIGS/CdS/i-ZnO/ZnO:Al/Ni-Al;其 中光吸收层 CIGS 薄膜为 p 型半导体,其表面贫 Cu 呈 n 型与缓冲层 CdS 和 i-ZnO 共同成为 n 层,构成浅埋式 p-n 结。太阳光照射在电池 上产生电子与空穴,被 p-n 结的自建电场分离,从而输出电能。工艺 流程:普通钠钙玻璃清洗→Mo的溅射沉积→非真空法分步电沉积CuIn-Ga 金属预置层→快速加热硒硫化处理(RTP)→化学水浴法沉积 CdS 或 ZnS→本征 ZnO 溅射沉积→ZnO:Al 透明导电膜的溅射沉积→ Ni/Al 电极沉积,等。 
南开大学 2021-04-11
一种仿生微孔表面泡沫金属填充太阳能真空集热管
本发明公开了一种仿生微孔表面泡沫金属填充太阳能真空集热管,该真空集热管嵌套有玻璃外管(1)和仿生微孔表面金属内管(2),玻璃外管(1)上端开口,且对接有合金短管(6);仿生微孔表面金属内管(2)上端开口,且沿其开口端的外表面固定连接有金属环形盖(5),所述的金属环形盖(5)外延与合金短管(6)固定连接,在真空集热管嵌套有玻璃外管(1)与仿生微孔表面金属内管(2)之间形成真空;在仿生微孔表面金属内管(2)管壁的外侧涂覆选择性吸收涂层(3),在仿生微孔表面金属内管(2)内部插入泡沫金属填充体(4)。该真空集热管提高太阳能利用率、承压效果好,可增强内部换热降低热损失,有效提高太阳能热水器效率。
东南大学 2021-04-11
环境友好型输电等级单断口真空断路器系列产品
本项目发明了以三分之二匝线圈纵磁触头为代表的系列真空灭弧室触头新结构和分合闸特性可控的弹簧、永磁操动机构,研制开发了系列环境友好型输电等级单断口真空断路器系列产品,其中126kV/2500A/40kA 单断口真空断路器技术指标处于国际领先水平,部分产品出口并在俄罗斯得到广泛应用。相关产品和技术成功推广应用于国内电力设备制造行业领军企业中,对我国占领输电等级真空电力开断技术国际制高点、发展环境友好电力装备、减少温室效应气体的使用具有重要意义。
西安交通大学 2021-04-11
低成本非真空铜铟硒(CIGS)薄膜太阳电池制造技术
CIGS薄膜太阳电池具有效率高,无衰退、抗幅射、寿命长等特点,采用非真空技术可以进一步降低这种电池的成本,预计可达到0.6$/W。 本项目产品结构为:衬底/Mo/CIGS/CdS/i-ZnO/ZnO:Al/Ni-Al;其中光吸收层CIGS薄膜为p型半导体,其表面贫Cu呈n型与缓冲层CdS和i-ZnO共同成为n层,构成浅埋式p-n结。太阳光照射在电池上产生电子与空穴,被p-n结的自建电场分离,从而输出电能。工艺流程:普通钠钙玻璃清洗→Mo的溅射沉积→非真空法沉积CIGS薄膜预置层→快速
南开大学 2021-04-14
一种鲜切蔬菜真空多极射频射频等离子体杀菌装置
本实用新型提供了一种鲜切蔬菜真空多极射频等离子体杀菌装置,内部设有射频等离子发射器、射频等离子发生器、真空泵、管路、搁物架,射频等离子发生器箱体内层铺设绝缘材质介质板,并设有压力传感器、温度传感器、和通气阀门,阳极板、阴极板安装在箱体的两侧;等离子体发射器设有功率调节旋钮、时间调节旋钮、真空泵电源按钮、总电源按钮;真空泵通过管路对射频等离子体发生器进行抽真空;搁物架盛放鲜切蔬菜。本实用新型提供一种鲜切蔬菜真空多极射频等离子体杀菌装置,可以在无氧的作用下,快速杀灭鲜切蔬菜表面的微生物,且保持鲜切蔬菜原有的色、香、味及营养成分。
青岛农业大学 2021-04-11
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