HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业，HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格： 型号：BD/HMDS-6090   内形尺寸：450×450×450     型号：BD/HMDS-6210   内形尺寸：560×640×600   二、 技术参数： 1、控温范围：RT+10～250℃  2、温度分辨率：0.1℃     3、温度波动度：±1℃ 4、达到真空度：小于133Pa 5、真空度：100Pa～100000Pa 6、定时范围：1～9999min 7、工作室材料：316L 8、样品架：2块、3块 9、真空泵：4L/S 10、电源电压：220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率：3000W、4500W 三、产品特点： 1、外壳采用冷轧钢板制造，表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程： 1、首先确定烘箱工作温度； 2、预处理程序为：打开真空泵抽真空，待腔内真牢度达到某一高真空度后，开始充入氮气，充到达到某低真空度后，再次进行抽真空、充入氮气的过程，到达设定的充入氮气次数后，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空，充入HMDS气体，在到达设定时间后，停止充入HMDS药液，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后，再次开始抽真空。充入氮气，完成整个作业过程。 五、控制系统： 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏，三菱PLC控制器； 2、富士微电脑双数显温度PID控制器，控温精确可靠； 六、保护系统： 1、漏电保护； 2、超温保护； 3、缺液保护；              七、设备使用条件： 1、环境温度：5℃～＋28℃（24小时内平均温度≤28℃） 2、环境湿度：≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺： 保修十二个月，免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。

（专利号：ZL 201210227166.8） 简介：本发明提供一种具有锥体结构滤筒的滤筒除尘器，属于工业除尘技术领域。本发明滤筒除尘器的滤筒内部设有锥体结构，锥体结构采用与滤筒外部相同的滤料，锥体结构的母线与滤筒竖直方向之间的夹角为5°－30°；滤筒外部滤料的褶高迎风面一侧高于背风面一侧，并且有迎风面一侧滤料褶高H为背风面一侧滤料褶高h的1.1至1.5倍。本发明所提供滤筒除尘器一方面可以提高除尘器的过滤效率，减小设备的体积，另一方面可以

MS-450高真空多靶磁控溅射镀膜机 真空腔室：直径450✕H400mm，1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，前开门结构； 真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可选）； 极限真空：优于5✕10-5Pa（经烘烤除气后）； 真空抽速：大气～8✕10-4Pa≤30min； 升降基片台：2～6英寸基片台，靶基距60～120mm连续在线自动可调，旋转0～20r/min可调，可加热至500℃（可选水冷功能），可选配偏压清洗功能； 磁控靶：直径3英寸2～4只（可升级成直径4英寸靶2～3只），兼容直流和射频，可以溅射磁性材料的靶材； 溅射电源：直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任选； 质量流量计：2～3路工艺气体，可根据工艺要求增加； 膜厚监控仪：可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪； 控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空。

项目简介 本成果是一种利用土壤净化恶臭气体的装置，由臭气加压系统、布气系统、土壤净 化系统、土壤加湿系统四部分组成。布气系统使臭气均匀排出上升进入土壤净化系统， 加湿系统使土壤净化系统保持一定湿度，利用土壤自身的净化能力如吸附、吸收出去气 体中有害物质，是一种体积小，运行成本低、管理方便、除臭效率高的装置。 产品性能、指标 （1）体积小，由于本装置简单，占

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成果创新点 通风换气、餐饮油烟净化、腐蚀物输运、工业分离输 送、河道除淤疏浚、采矿打沙及食品加工等领域。主要技 术创新路径：龙卷风旋涡能够产生强大抽吸力 核心优势：风机抽吸力丝毫不减，而套筒抽排能力与 风机相当，总排风量大大高于单独的风机的排风量；旋流 卷吸套筒独立使用，为风机另辟进风渠道实现免污染，排 风管道畅通无阻，特别适合腐蚀性或复杂环境中工作；旋 流卷吸无需额外能耗，旋转气流产生离

通风换气、餐饮油烟净化、腐蚀物输运、工业分离输送、河道除淤疏浚、采矿打沙及食品加工等领域。主要技术创新路径：龙卷风旋涡能够产生强大抽吸力 核心优势：风机抽吸力丝毫不减，而套筒抽排能力与风机相当，总排风量大大高于单独的风机的排风量；旋流卷吸套筒独立使用，为风机另辟进风渠道实现免污染，排风管道畅通无阻，特别适合腐蚀性或复杂环境中工作；旋流卷吸无需额外能耗，旋转气流产生离心力还可以实现分选截留，实现净化功能。

产品详细介绍适用于在真空条件下对物品进行真空干燥、烘焙、熔腊、灭菌、固化、热处理等，广泛应用于工矿企业、科研院所、大专院校、医药卫生等单位。按工作温度分普通型和高温型，控温方式有自动恒温型和精密程序控温型，工作室尺寸有多种规格，内胆有冷钢板和不锈钢两款。主要技术参数1、最高温度：250℃；2、电源及功率：AC220V/500KW；3、测温：K分度号热电偶+数显智能控温仪；4、控温：数显自动恒温；控温精度：±2℃；5、真空度：-0.1MPa；6、内空尺寸：∮350×400mm；7、冷钢板内胆。

【发 明 人】李存玉；马赟；李红阳；彭国平；瞿其扬 【摘要】 本实用新型公开一种纳滤浓缩装置，该系统中包括空气压缩泵，减压阀，流量阀，纳滤膜外壳，进液口，浓缩液出口，纳滤液出口，纳滤膜组件，密封垫，膨胀囊。待溶液浓缩至目标浓度或比重，关闭流量阀，打开空气压缩泵，减压阀调节进气压力，压缩空气经进液口进入纳滤膜组件和膨胀囊，通过膨胀囊挤压和压缩空气冲刷，迫使纳滤膜表面的浓缩液经过浓缩液出口流出，收集浓缩液，完成纳滤浓缩。该实用新型公开的纳滤浓缩装置，结构简单，浓缩液收集方便，避免外界环境污染。

该项目从理论上把定向井有杆泵抽油系统视为一个复杂的三维振动系统，研究建立了该系统的力学、数学模型及算法，计算在不同井口示功图激励下的泵功图响应，用模式识别的方法对泵功图进行识别和故障分析。通过单片机采集位移、载荷以及电机工作的电压、电流、有功功率、无功功率等供电数据，以GPRS发送到数据处理中心。一套中心控制系统可以同时控制约200口油井工作并监控其工作状态。本系统已经在5个油田应用，监控油井700多口。