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硅单晶碱性抛光液及清洗液
一、 项目简介“硅单晶碱性抛光液及清洗液”项目,始自七十年代中期,不断对产品研发与升级。FA/O硅单晶碱性抛光液,具有较高的抛光速率,能有效去除衬底表面损伤层,表面微粗糙度较低,可解决衬底片结底不平引起的噪声增加、漏电流增大,实现了表面高完美性,提高了衬底片器件区的可靠性与衬底片良品率。FA/O硅单晶清洗液,采取特有的物理优先吸附,有效去除抛光片表面颗粒物、有机物沾污,清洗后衬底片表面重金属离子降至ppm级,达到了易清洗、高洁净。二、 项目技术成熟程度该项目的研发、应用,满足了硅单晶衬底片加工高去除速率、低表面粗糙度、高表面完美性、易清洗、高表面洁净、高可靠性等指标的工业要求。自1994年至今,产品已累积销售一千多吨,性能稳定、质量可靠。三、 技术指标(包括鉴定、知识产权专利、获奖等情况)抛光液抛光速率1.2-1.5um/min,粗糙度达A级。清洗剂可达到微电子的需求。研发的抛光液获国家1983年发明四等奖、1990年发明三等奖、清洗技术获1999年国家三等奖。抛光液、抛光清洗液列为国家级科技成果重点推广计划,列为国家重点新产品。申请专利授权中3项,授权6项。四、 市场前景(应用领域、市场分析等)据统计,仅中国(含台湾地区)硅单晶抛光液的年需求额40多亿元。FA/O硅单晶碱性抛光液,广泛用于硅分立器件、功率器件与集成电路衬底片加工。已多年供应国内华润华晶、洛阳鼎晶、深圳深爱等多家知名企业,被指定唯一用于国家航天神五至神十专用集成电路高可靠衬底抛光片加工,具有广泛的市场应用前景。FA/O硅单晶清洗液,广泛用于要求易清洗、高洁净的硅衬底片清洗。已被中科晶电信息材料有限公司等多家知名企业应用,市场应用前景广泛。五、 规模与投资需求(资金需求、场地规模、人员等需求)年产量5000吨的生产规模投资为约3000万元,需千级以上超净化厂房。可依产能需求调整资金投入。产品生产控制节点少,操作人员需求少,适于自动化生产。六、 生产设备低压真空系统、百级超净车间、去离子水系统等。七、 效益分析生产工艺与操作简单、成本低、环保性好,效益较高。八、 合作方式主要采取合作生产、代理代销,可提供技术支持与培训,或面谈。九、 项目具体联系人及联系方式(包括电子邮箱)项目联系人:刘玉岭 联系电话:022-60204128Email:liuyl@jingling.com十、 高清成果图片2-3张
河北工业大学 2021-04-11
单壁碳纳米管和石墨烯的制备及其在能源、光电器件和复合材料等方面的应用
项目成果/简介:1991 年发现的碳纳米管(CNT)以及 2004 年发现的石墨烯(graphene),分别是一维和二维纳米材料的典型代表,被认为是 21世纪的战略性材料。 本项目发明了一类新的催化剂和大量制备 SWNTs 的方法,实现了高质量单壁碳纳米管的宏量制备(图 1),纯度达 70%以上,并达到了产业化规模(达 200 公斤/年以上)。采用机械共混及"原位"聚合 等方法,使SWNTs 有效地分散于高分子基质中,获得了以环氧树脂、ABS 及聚氨酯等为基质材料,电导率达 0.2 S/cm、导电临界含量仅为0.06%、电磁屏蔽效果高达 49dB 的复合材料。 本项目首先发展了一种可大量制备的可溶性功能化石墨烯(SPFGraphene)的方法,实现了石墨烯的百克级制备(图 2)。通过透射电子显微镜(图 3)及原子力显微镜(图 4)确定了石墨烯的二维平面结构。 获得了可溶性石墨烯材料及柔性透明导电薄膜(图 5);制备了基于石墨烯的高稳定性有机光伏电池及复合材料。 图 5、基于石墨烯的透明电极材料 所研制的单壁碳纳米管及石墨烯已用于数十家科研机构的研究和相关产品/样机的研制,包括应用于国家 863 重大汽车电池项目(中科院物理所)和军工卫星电池项目(中国电子科技集团公司第十八研究所)等。已研制出晶体管、锂离子电池、超级电容器(图 6)以及高性能复合材料等多种产品,具有广阔的应用前景。应用范围:南开大学在碳纳米材料的制备及应用研究方面取得了一批开创性成果,该项目技术的推广,将促进我国新材料、微电子、储能、资源保护等领域的技术进步和发展,为我国在这一新型纳米材料领域占据有利地位,提高国际竞争力,做出重要贡献。
南开大学 2021-04-11
单壁碳纳米管和石墨烯的制备及其在能源、光电器件和复合材料等方面的应用
1991 年发现的碳纳米管(CNT)以及 2004 年发现的石墨烯(graphene),分别是一维和二维纳米材料的典型代表,被认为是 21世纪的战略性材料。 本项目发明了一类新的催化剂和大量制备 SWNTs 的方法,实现了高质量单壁碳纳米管的宏量制备(图 1),纯度达 70%以上,并达到了产业化规模(达 200 公斤/年以上)。采用机械共混及"原位"聚合 等方法,使SWNTs 有效地分散于高分子基质中,获得了以环氧树脂、ABS 及聚氨酯等为基质材料,电导率达 0.2 S/cm、导电临界含量仅为0.06%、电磁屏蔽效果高达 49dB 的复合材料。 本项目首先发展了一种可大量制备的可溶性功能化石墨烯(SPFGraphene)的方法,实现了石墨烯的百克级制备(图 2)。通过透射电子显微镜(图 3)及原子力显微镜(图 4)确定了石墨烯的二维平面结构。 获得了可溶性石墨烯材料及柔性透明导电薄膜(图 5);制备了基于石墨烯的高稳定性有机光伏电池及复合材料。 图 5、基于石墨烯的透明电极材料 所研制的单壁碳纳米管及石墨烯已用于数十家科研机构的研究和相关产品/样机的研制,包括应用于国家 863 重大汽车电池项目(中科院物理所)和军工卫星电池项目(中国电子科技集团公司第十八研究所)等。已研制出晶体管、锂离子电池、超级电容器(图 6)以及高性能复合材料等多种产品,具有广阔的应用前景。
南开大学 2021-02-01
一种利用铁锰双相掺杂石墨烯激活单过硫酸盐去除水中内分泌干扰物的方法
一种利用铁锰双相掺杂石墨烯激活单过硫酸盐去除水中内分泌干扰物的方法,它涉及一种去除水中内分泌干扰物的方法。本发明的目的是要解决现有方法去除水中内分泌干扰物的去除效率低,成本高的问题。方法:一、将单过硫酸盐与预处理的水混合;二、调节反应pH值;三、制备铁锰双相掺杂石墨烯;四、投加铁锰双相掺杂石墨烯;五、采用外磁场分离铁锰双相掺杂石墨烯,即完成一种利用铁锰双相掺杂石墨烯激活单过硫酸盐去除水中内分泌干扰物的方法。使用本发明的方法去除水中内分泌干扰物的去除率可达85%~96%。本发明可以去除水中残余内分泌干扰物。
四川大学 2016-09-13
单壁碳纳米管和石墨烯的制备及其在能源、光电器件和复合材料等方面的应用
1991年发现的碳纳米管(CNT)以及2004年发现的石墨烯(graphene),分别是一维和二维纳米材料的典型代表,被认为是21世纪的战略性材料。 本项目发明了一类新的催化剂和大量制备SWNTs的方法,实现了高质量单壁碳纳米管的宏量制备(图1),纯度达70%以上,并达到了产业化规模(达200公斤/年以上)。 采用机械共混及"原位"聚合等方法,使SWNTs有效地分散于高分子基质中,获得了以环氧树脂、ABS及聚氨酯等为基质材料,电导率达0.2 S/cm、导
南开大学 2021-04-14
氧化石墨烯/酞菁纳米棒复合杂化材料用于可见光催化剂还原六价铬
六价铬对人体具有慢性毒害,可以通过消化道、呼吸道、皮肤和粘膜侵入人体,主要积聚在人体内的肝、肾和内分泌腺中。六价铬有强氧化作用,所以慢性中毒往往以局部损害开始,逐渐发展到不可救药。通过光催化可实现六价铬还原为无毒害的三价铬。现有光催化剂多数只能利用紫外光区域,催化性能较低。酞菁在可见光区域具有良好吸收效果,通过利用八甲基取代的酞菁铜纳米棒与氧化石墨烯制备复合材料,可以有效提高光催化剂的光谱吸收范围,实现太阳能的充分利用,同时加快电荷传输,实现在水溶液中高效还原六价铬,在日常太阳光照下两小时内降解97%的水中的六价铬。
南方科技大学 2021-04-13
单壁碳纳米管和石墨烯的制备及其在能源、光电器件和 复合材料等方面的应用
1991 年发现的碳纳米管(CNT)以及 2004 年发现的石墨烯(graphene),分别是一维和二维纳米材料的典型代表,被认为是 21 世纪的战略性材料。 本项目发明了一类新的催化剂和大量制备 SWNTs 的方法,实现了高质量单壁碳纳米管的宏量制备(图 1),纯度达 70%以上,并达到了产业化规模(达 200 公斤/年以上)。采用机械共混及"原位"聚合等方法,使 SWNTs 有效地分散于高分子基质中,获得了以环氧树脂、ABS 及聚氨酯等为基质材料,电导率达 0.2 S/cm、导电临界含量仅为0.06%、电磁屏蔽效果高达 49dB 的复合材料。 本项目首先发展了一种可大量制备的可溶性功能化石墨烯(SPFGraphene)的方法,实现了石墨烯的百克级制备(图 2)。通过透射电子显微镜(图 3)及原子力显微镜(图 4)确定了石墨烯的二维平面结构。
南开大学 2021-04-13
新一轮“双一流”建设将启动:新增高教资源向人口大省和中西部倾斜
围绕合理调整高校布局和数量,教育部将推动新增高等教育资源向人口大省和中西部地区倾斜。
新华社 2026-01-08
一种利用钴掺杂磁性氧化还原石墨烯协同过硫酸盐去除水中内分泌干扰物的方法
一种利用钴掺杂磁性氧化还原石墨烯协同过硫酸盐去除水中内分泌干扰物的方法,它涉及一种去除水中内分泌干扰物的方法。本发明的目的是要解决现有去除水中内分泌干扰物的方法去除效果差,成本高和产生有毒副产物的问题。方法:一、将过硫酸盐与预处理的水混合;二、调节反应pH值;三、制备钴掺杂磁性氧化还原石墨烯;四、投加钴掺杂磁性氧化还原石墨烯;五、采用外磁场分离钴掺杂磁性氧化还原石墨烯,即完成一种利用钴掺杂磁性氧化还原石墨烯协同过硫酸盐去除水中内分泌干扰物的方法。使用本发明的方法去除水中内分泌干扰物的去除率可达88%~95%。本发明可以去除水中残余内分泌干扰物。
四川大学 2016-09-13
金属杂环戊二烯
合成了第一例碱土金属镁杂环戊二烯(Angew. Chem. Int. Ed. 2014, 53, 5634-5638; Angew. Chem. Int. Ed. 2016, 55, 14762-14765.);第一例稀土金属镥杂环戊二烯(Chem. Eur. J. 2015, 21, 6686-6689; Chem. Eur. J. 2015, 21, 15860-15866; Organometallics 2016, 35, 5-8)和系列铝杂环戊二烯(Inorg. Chem. 2015, 54, 10695-10700.),并深入研究了它们的反应性。
北京大学 2021-04-11
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