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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法，包括如下步骤：（1）在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；（2）对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题，在提高刻蚀效率的同时，提高了对光刻胶的选择比，刻蚀槽侧壁垂直度高，粗糙度小，刻蚀深度大。
华中科技大学
2021-04-14
低硼硅药用玻璃管
主要生产药用玻管、中性硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅管制口服液体瓶等产品。现拥有14条国际先进的拉管生产线，70余台国际先进的制瓶机，年产各类安瓿/管制瓶32亿支，药用玻管（精品7.0）30000吨。
山东力诺特种玻璃股份有限公司
2021-08-27
一种交直流解耦控制方法及其在柔性直流输电系统的应用
本发明公开了一种模块化多电平换流器的交直流解耦控制方法， 包括在电流内环控制中增加直流电流控制，且直流电路控制包括正极 直流电流控制和负极直流电流控制，从而交流电流控制的输出、正极 直流电流控制的输出以及负极直流电流控制的输出共同作为 MMC 各 相桥臂的输出电压参考值的主要分量；控制交流电流控制、正极直流 电流控制和负极直流电流控制的参考值和输出，即可实现对 MMC 各 相桥臂的输出电压参考值的主要分量的控制，进而可实现防止直流故 障时换流器因桥臂过电流而闭锁。本发明还公开了上述方法在柔性直 流输
华中科技大学
2021-04-14
液基TCT病理全自动制片机24通道
1、微电脑控制，中文界面，彩色液晶显示，触摸屏操作，简捷、直观、方便。2、全程电脑自动控制，无需人工干预。自动梯度离心浓缩标本，自动抽取标本瓶废液，自动转移标本，自动制片，自动滴染色（含盐酸酒精分化）。3、每份标本独立离心浓缩，独立抽取废液，独立转移并沉降制片，独立滴染色、独立倾倒废液，标本与耗材（离心管、一次性移液针筒、沉降仓等）一一对应，不交叉使用，不重复使用，保证单独制片染色，无标本间交叉污染4、一次性移液针筒抽取染色液、盐酸酒精，因此，无堵塞管道风险，无染色液浪费。5、有效细胞单层、均匀地平铺到载玻片圆形区域上，制成细胞成分丰富、背景清晰、颜色鲜艳、形态完整、平铺均匀的细胞学涂片。6、上皮细胞、化生细胞、颈管细胞及微生物等清晰，既可直接查癌及癌前病变，也可查炎症，HPV感染、滴虫、霉菌等微生物。7、配有净化排气装置，环保密封罩活性炭过滤，吸附有害气体，保证仪器内外空气洁净，保护操作者健康。8、单次制片染色1-24任意数值只标本。9、妇科、非妇科两种工作模式；巴氏、HE两种染色方式。
孝感奥华医疗科技有限公司
2025-01-21
TiC颗粒增强钢基及铁基复合材料
TiC颗粒增强钢基及铁基复合材料适用于在苛刻条件和环境（如：强负荷下的强磨损，高温下的磨料磨损，强腐蚀气氛中的冲蚀等）工作的设备零部件。这种新材料以合金钢为基体，以TiC为增强体，具有常规的金属材料难以比拟的一系列特征：1.耐磨损：在各种试验条件下，它的耐磨损性能远优于与其成分相似但不含TiC的合金钢；2.工艺性能好：尤其是它的热加工（包括锻、轧和热挤压等）性能，优于一般的高合金钢；3.性能的可调性：可以根据使用要求，调整成分，形成不同性能（强度、硬度、塑性及耐磨损性能）配合的材料； 4. 热膨胀系数小：尺寸稳定性好；5.强度高：特别是它的高温强度和抗蠕变性能高于与其成分相似，但不含TiC的合金钢；6.成本低：新材料采用原位合成法应工艺制备。这种工艺方法先进，流程合理，易于实现工业化生产。
东南大学
2021-04-10
多晶硅铸锭炉的隔热块及包括该隔热块的多晶硅铸锭炉
本发明公开了一种用于多晶硅铸锭炉的隔热块，设置在多晶硅铸锭炉的坩埚底部外周，用于坩埚加热或冷却多晶硅过程中的隔热保温，该隔热块为中空方形筒体结构，筒体筒壁为中空夹层结构，其中内壁用于包覆设置在坩埚底部的热交换块外周壁面，且该内壁与所述热交换块外周壁面具有间隙，所述外壁用于与设置在坩埚外围的竖直隔热板固定接触，所述坩埚中心线、热交换块中心线以及隔热块中心线重合，且所述隔热块顶部低于热交换块顶部。本发明还公开了具有
华中科技大学
2021-04-14
一种解耦型六自由度工业机器人的运动控制方法
本发明公开了一种解耦型六自由度工业机器人的运动控制方法，该方法包括：（a）根据机器人所需实现的位姿，通过 D-H 模型法获得末端执行机构相对于基坐标系的位姿矩阵；（b）将机器人避开奇异形位时所能实现的正常位姿定义为不同的关节特性属性，并设定机器人实现所需的位姿时的关节特征属性组合；（c）根据位姿矩阵以及设定的关节特征属性组合及其取值条件，通过反变换法分别求得关于机器人各个关节变量的唯一解；（d）根据所求得的解，执行对六自由度工业机器人的关节运动，相应完成整体运动控制过程。通过本发明，具备可预知过奇异点路径、算法简单、反解速度快以及能较好地确定唯一解等优点，并能很好地应用于实际的工业机器人运动控制。
华中科技大学
2021-04-11
一种便梁限位装置及其施工方法
本发明提供了一种便梁限位装置及其施工方法，包括桥墩、固定在桥墩顶面的上齿形板、多个纵梁、固定在纵梁底面的下齿形板以及侧边具有凹槽的夹板，其中，纵梁与桥墩通过上、下齿形板的齿形配合进行固定连接，纵梁梁端伸出的两块腹板各自镶嵌于两块夹板的凹槽中与相邻纵梁梁端的两块腹板进行对接形成整体结构，两块夹板之间由锚栓横向穿过并进入凹槽夹紧纵梁的腹板。本发明通过将上下齿形板配合固定，使纵梁与桥墩连接成整体，从而限制纵梁在桥墩上产生的位移；相邻的两纵梁通过夹板纵向连接，通过长锚栓横向连接，大大增强了相邻便梁的整体性，从而更好的限制相邻便梁在桥墩上产生的纵向位移以及横向位移，对限制便梁位移及相邻纵梁横向错位有显著效果。
东南大学
2021-04-11
跨座式单轨交通轨道梁桥创新技术
新型25m PC轨道梁优化设计与制造工艺 在国内外首次设计并试验了25m PC轨道直线梁和22 m (R=100m)PC轨道曲线梁，并在重庆轨道交通二号线二期工程和3号线工程及其延长线上广泛应用。该项研究成果获2009年度重庆市科技进步二等奖。 PC轨道梁制造控制软件系统 该软件广泛应用于重庆轨道交通2号线、3号线和韩国大邱市地铁3号线上，2004年该软件获重庆市科技进步三等奖。 跨座式单轨交通系统盖梁支承垫石定位计算软件 该软件与PC轨道梁制造控制软件系统相配套，自动调用工法软件中的相关轨道梁的线形信息，输出跨座式单轨交通盖梁支承垫石定位全部数据，并显示相邻梁缝的宽度。 跨座式单轨交通PC轨道梁配筋计算程序 该软件可给出任一跨度和曲线半径的PC轨道梁预应力钢筋的配置、普通纵向钢筋的配置和变形计算结果。 跨座式单轨交通轨道梁桥养护管理系统 根据重庆轨道交通2号线轨道梁桥养护的需求，运用计算机技术对轨道梁运营中的技术资料和检查检测资料等海量数据进行处理和辅助评价，以报表、图形的形式得到评价结果，提出参考性的养护维修方案，包括大、中、小修计划等。
北京交通大学
2021-04-13
固支梁直接加热式微波信号检测器
本发明的固支梁直接加热式微波信号检测器由六端口固支梁耦合器，通道选择开关，微波频率检测器，微波相位检测器，直接加热式微波功率传感器级联构成；六端口固支梁耦合器由共面波导，介质层，空气层和固支梁构成；六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四端口及到第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度分别相同，待测信号经第一端口输入，并由第二端口输出直接加热式微波功率传感器，由第四端口，第六端口输出微波相位检测器，由第三端口，第五端口输出到通道选择开关；通道选择开关的第七端口和第八端口接直接加热式微波功率传感器
东南大学
2021-04-14