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锗硅纳米低维结构的可控制备方法及产品
本发明公开了一种锗硅纳米低维结构可控制备方法及产品,该 方法具体为:(a)清洗硅衬底;(b)在硅衬底上外延生长锗硅合金形成外 延衬底;(c)涂敷电子抗蚀剂,通过电子束光刻技术在电子抗蚀剂上曝 光所需的锗硅纳米低维结构图形;(d)采用干法刻蚀将锗硅纳米低维结 构图形转移到外延衬底上得到样品;(e)去除样品上的电子抗蚀剂;(f) 高温环境下进行氧化和退火,使得氧气优先与硅反应形成氧化硅而锗 被析出;(g)在氮氢混合气氛下
华中科技大学 2021-04-14
一种基于硅基液晶的偏振检测系统及方法
本发明公开了一种基于硅基液晶的偏振检测系统及方法,所述 偏振检测系统包括检偏器、光探测器、硅基液晶驱动模块、控制单元 和用于相位调制的硅基液晶,硅基液晶在硅基液晶驱动模块的驱动下 对待测光进行相位调节,获取一系列偏振光,通过对这一系列偏振光 的分析获取待测光的偏振信息,包括竖直方向与水平方向的振幅及相 位差。本发明的系统在精确可编程控制下,进行偏振态检测与控制, 不受类似于波片的波长敏感性制约;且本发明采用硅基液晶进
华中科技大学 2021-04-14
耐超低温有机硅密封胶生产技术
航空航天器、飞机、导弹、火箭、超低温冷冻机、极寒冷地区工程机械和高速列车等设备,在极低温度条件下运行时,对密封材料要求很高,一旦出现密封效果不佳或不可靠情况,会出现严重后果,极端情况会造成机毁人亡等重特大事故,形成严重的财产和人员损失。密封材料大多采用有机高分子材料,在低温条件下,密封材料中分子热运动减少,分子链段会变得僵硬甚至冻住,使之失去弹性,导致密封效果差甚至失去密封作用。因此密封材料应用于上述设备和地域时,必须采用特殊制备的耐低温硅橡胶才能保证安全及设备的稳定运行。这就要求密封材料必须具备
山东大学 2021-04-14
新一代硅烷法电子级晶体硅生产技术
上海交通大学 2021-04-13
微型皮拉尼计与体硅器件集成加工的方法
本发明公开了一种微型皮拉尼计的制备方法及其与体硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括:在硅基片正面制备体硅器件所需的绝缘层及电路引线;在硅基片的背面或正面沉积一层绝缘隔热材料,刻蚀去除其四周部分得到绝缘隔热层;在绝缘隔热层上制备加热体和电极;在没有加热体的一面制备图形化的光刻胶掩膜;在有加热体的一面沉积金属膜;将金属膜粘贴在表面有氧化层的硅托片上;对有光刻胶掩膜的一面进行感应耦合等离子体干法刻蚀,刻穿硅基片;去除光刻胶掩膜和金属膜,得到集成结构。本发明能有效提高皮拉尼计的制备与其它工艺的兼容性,解决皮拉尼计与体硅器件集成封装工艺难度大,风险高,成本高且产量低的技术问题。
华中科技大学 2021-04-14
承建丙烯酸涂料,硅PU塑胶蓝、排、网、羽球场
产品详细介绍承建丙烯酸涂料,硅PU塑胶蓝、排、网、羽球场
广州市奥力生体育设施有限公司 2021-08-23
制氢和副产二氧化碳的水煤浆电解工艺
上海交通大学 2021-04-11
一种氢化铝锂基复合储氢材料及其制备方法
简介:本发明公开了一种氢化铝锂基复合储氢材料及其制备方法,属于储氢材料技术领域。该复合储氢材料是由氢化铝锂(或氢化铝锂与硼氢化锂的混合物)和20~30wt.%的工业固体废弃物(如粉煤灰或高炉矿渣粉)组成;其通过机械球磨氢化铝锂(或氢化铝锂与硼氢化锂的混合物)和工业固体废弃物混合粉末而获得。本发明利用工业固体废弃物来改善材料的储氢性能,原料来源广、成本低廉;所提供的氢化铝锂基复合储氢材料制备工艺简单,安全可靠,具有低的放氢温度和高的放氢量。
安徽工业大学 2021-04-11
药物中间体“1H-八氢吲哚-2-羧酸”制备工艺
该化合物为高血压治疗药物群多普利的中间体,是合成的手性非天然氨基酸,从环状化合物和天然氨基酸出发进行制备。产品外观为白色固体,纯度>98%。国外利用此中间体开发的新药已获美国食品和药品管理局(FDA)批准。
南开大学 2021-04-10
高密度储氢材料及航天飞行器空中发电装置
氢因其具有高密度能量及高热效率、清洁等特性,成为未来有发展前景的新型能源之一。氢能是一种清洁燃料,其应用最关键的技术环节在于其储存。
北京理工大学 2021-02-01
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