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一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺
本发明公开了一种电场辅助的硅通孔刻蚀工艺,包括步骤:(1)在单晶硅片上旋涂光刻胶并通过光学光刻或电子束光刻得到光刻胶图形 ;( 2 ) 镀 上 银 膜 或 金 膜 ;( 3 ) 在 电 场 之 中 , 采 用 HF 、H<sub>2</sub>O<sub>2</sub>和去离子水的混合溶液作为刻蚀剂进行金属催化刻蚀;(4)去除光刻胶;(5)去除单晶硅片上残留的金属膜并进行清洗处理。本发明通过在刻蚀过程中控制电场强度,由此形成从数十纳米至数
华中科技大学 2021-04-14
有机硅改性双马来酰亚胺树脂的合成
项目研究背景及用途 :有机硅改性双马来酰亚胺树脂是一类高性能聚 合物材料,其热稳定性能和力学性能都比环氧树脂优越,因此含硅双马来 酰亚胺树脂作为金属替代物广泛地用作制造压缩机叶片、大型计算机部 件、印刷电路基板等,是目前最受青睐的高性能聚合物材料之一。 工艺流程 :用催化方法先合成中间体 N-(4-羟基本基)马来酰亚胺, 再合成含硅双马来酰亚胺齐聚物, 采用四种有机硅合成了四种含硅双马来
南昌大学 2021-04-14
农用杀菌剂氟硅唑清洁生产技术
利用氯甲基二氯甲硅烷在低温下与溴氟苯、金属镁反应,制得双(4-氟苯基)甲基氯代甲基硅烷,再在极性溶剂中与1,24-三唑钠反应,制得氟硅唑。 一、项目分类 关键核心技术突破 二、成果简介 此产品可用于内吸性杀菌,抑制甾醇脱甲基化,用于防治子囊菌纲,担子菌纲和半知菌类真菌(如苹果黑星菌、白粉病菌、禾谷类的麦类核腔菌、壳针孢属菌、钩丝壳菌等,球座菌及甜菜上的各种病原菌,花生叶斑病)。三唑类杀菌剂破坏和阻止麦角甾醇的生物合成,导致细胞膜不能形成,使病菌死亡,对子囊菌、担子菌和半知菌所致病害有效,对卵菌无效,对梨黑星病有特效 项目特色: 利用氯甲基二氯甲硅烷在低温下与溴氟苯、金属镁反应,制得双(4-氟苯基)甲基氯代甲基硅烷,再在极性溶剂中与1,24-三唑钠反应,制得氟硅唑。采用自主创新的催化剂使反应可以采用较高沸点溶剂,不增加成本同时提高反应效率,省略了原有工艺的萃取水洗过程,直接得到理想的第一步中间体,生产过程中原有工艺的每吨5吨废水变为没有废水,成为清洁生产工艺。第一步收效达到90%以上。 原有工艺中粗产物需要高真空、高温、高塔板数的减压精馏得到含量在95%以上最终产品,改进工艺后由于合成效率大幅度提高,粗产品略作简单溶剂处理就达到95%以上的白色粉状固体。
南开大学 2022-08-11
宽波段硅基探测器产业化开发
图像传感器,是一种常用的光电探测器件,它能将光子信号转换成电子信号,被广泛地应用在高性能光谱仪、数码相机以及其他的电子光学设备中。普通的CCD、CMOS硅基探测器能获得高量子效率的光谱响应范围在400~900nm波段,在紫外波段,由于多晶硅栅的吸收系数很大,这就意味着紫外光子在极端浅(小于2nm)的表层被吸收,导致其在波长小于400nm的紫外波段量子效率(QE)极低。紫外量子效率低的缺陷限制了前照式硅基探测器在航空业、工业以及制造业等领域中的应用。因此,研制宽波段硅基探测器件使其响应范围延伸到紫外和深紫外波段是国内外紫外探测领域的迫切需要。
上海理工大学 2021-04-13
农用杀菌剂氟硅唑清洁生产技术
此产品可用于内吸性杀菌,抑制甾醇脱甲基化,用于防治子囊菌纲,担子菌纲和半知菌类真菌(如苹果黑星菌、白粉病菌、禾谷类的麦类核腔菌、壳针孢属菌、钩丝壳菌等,球座菌及甜菜上的各种病原菌,花生叶斑病)。三唑类杀菌剂破坏和阻止麦角甾醇的生物合成,导致细胞膜不能形成,使病菌死亡,对子囊菌、担子菌和半知菌所致病害有效,对卵菌无效,对梨黑星病有特效 项目特色: 利用氯甲基二氯甲硅烷在低温下与溴氟苯、金属镁反应,制得双(4-氟苯基)甲基氯代甲基硅烷,再在极性溶剂中与 1,24-三唑钠反应,制得氟硅唑。采用自主创新的催化剂使反应可以采用较高沸点溶剂,不增加成本同时提高反应效率,省略了原有工艺的萃取水洗过程,直接得到理想的第一步中间体,生产过程中原有工艺的每吨 5 吨废水变为没有废水,成为清洁生产工艺。第一步收效达到 90%以上。 原有工艺中粗产物需要高真空、高温、高塔板数的减压精馏得到含量在 95%以上最终产品,改进工艺后由于合成效率大幅度提高,粗产品略作简单溶剂处理就达到 95%以上的白色粉状固体。 市场应用前景: 目前国内只有 3 家生产,市场处于不饱和状态,2010 年一度出现供不应求局面,原料成本在每吨 15 万左右,生产成本在每吨 17 万左右,市场售价在每吨 30 万左右,具有良好的利润空间。年产百吨可获得 800-1000 万税前利润。
南开大学 2021-04-13
锂离子电池内包装材料(电池膜)的开发及产业化
我国已经成为电池生产大国,国内电池行业对软包装材料的需求量十分巨大。该材料主要用于锂电池生产企业,包括手机电池、钮扣电池、笔记本电脑电池、DVD电池、照相机电池,以及将来的电动车电池等,涉及的行业非常广泛,预计到2015年总市场需求量将超过8000吨。但是,目前为止国内没有任何企业能够生产出完全满足要求的软包装材料,因此,软包装材料的研究和开发成为电池行业提高国产化率、降低成本和提升企业竞争力的迫切需要。华东理工大学于2003年联合江苏中金玛泰医药包装有限公司进行该类软包装材料的前期研究,主要研究内容是对聚合物锂电池软包装材料体系的成分、组织和功能进行一体化设计,开发出适合于聚合物锂电池生产工艺和技术要求的复合软包装成型材料,用于电池芯的内包装。经过多年的艰苦努力,目前已经掌握了该材料制备中的关键技术,尤其是已经很好地解决了复合膜耐电解液腐蚀的问题,并大幅提高了复合膜内膜的剥离强度。实验室小试样品已送至惠州TCL金能、东莞新能源、国光电池、合肥荣仕达、上海南都等几家电池厂试用,结果表明部分关键指标基本上能满足生产要求,小试样品的性能明显优于韩国产品,与日本产品相当,而在初始剥离强度和耐高温性能方面则超过日本产品。本项目具有自己的核心技术,相关的技术申请两项发明专利,一项获得公开,一项获得授权。
华东理工大学 2021-04-11
锂硫电池正极用粘结剂及其在锂硫电池制备中的应用
本发明属于电池粘结剂领域,提供了一种用于锂硫电池正极的粘结剂。所述粘结剂包括为糊化淀粉,该粘结剂由50~95wt%的糊化淀粉与50~5wt%的添加剂组成,所述添加剂为羟甲基纤维素钠或者聚乙烯醇中的至少一种。本发明还提供了一种所述粘结剂在锂硫电池制备中的应用。
四川大学 2017-12-28
废铅酸蓄电池湿法短流程回收制备高性能铅炭电池技术
【技术背景】 据联合国环境规划署报道,全球每年产生约5000万吨的电子废弃物,超过70%的电子废弃物产生于中国,电子废弃物的有效处理及处置已成为全球关注的热点。作为典型的电子废弃物,截止2018年,铅酸蓄电池仍占全部二次电池的55%,拥有最大市场份额。 目前,国内外广泛采用火法冶炼的废铅膏回收再生工艺,温度高达1000°C以上,产生大量挥发性铅尘和SOx,传统火法再生铅引发的“血铅”等环境污染风险受到广泛关注。考虑到电子废弃物具有资源性和污染性的双重特性,如何实现电子废弃物的清洁回收是本领域的难点。 【痛点问题】 1、废铅酸蓄电池铅膏组分复杂,如何实现微量杂质元素(尤其是Fe和Ba元素)与目标Pb元素在回收过程中高效分离是湿法回收的技术挑战; 2、传统铅酸蓄电池存在着活性物质利用率低、能量密度低、循环寿命短等亟待解决的瓶颈问题。 【解决方案】 本技术研发了废铅酸蓄电池铅膏有机酸短流程回收方法及柠檬酸铅两段法焙烧制备新型铅粉方法,进而制备出高性能的铅炭电池,实现含铅组分的高效清洁回收。铅炭电池由于具有电容效应,有望解决传统铅酸蓄电池比能量密度低的不足。
华中科技大学 2021-09-17
锂离子动力电池正极材料
目前商业化的锂离子电池主要是使用过渡金属氧化物 LiCoO2 作正极和石墨基碳材料做负极。现在电动汽车对锂离子电池的综合性能提出了更高的要求,所以近年来人们对用于锂离子动力电池的新型材料倾注了更多的研发热情。目前广泛认为比较有前景的锂离子动力电池正极材料主要有三元过渡金属氧化物 LiCo1/3Ni1/3Mn1/3O2、锰系层状固溶体 xLi2MnO3·(1-x)LiMO2(M=Mn, Ni, Co 及其混合物)以及LiFePO4和 Li3V2(PO4)3等。本课题组多年来在锂离子电池正极材料的 研究和开发中做了大量的工作,已经获得授权中国专利 3 项。 该方法工艺简单,原材料价格低廉、易得,生产成本低,复合材料特有的核壳结构抑制了活性物质的流失并提高了材料的导电性能,显著改善了电极的电化学性能。
南开大学 2021-02-01
纳米氢化镁燃料电池系统
上海交通大学 2021-04-11
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