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锗硅纳米低维结构的可控制备方法及产品
本发明公开了一种锗硅纳米低维结构可控制备方法及产品,该 方法具体为:(a)清洗硅衬底;(b)在硅衬底上外延生长锗硅合金形成外 延衬底;(c)涂敷电子抗蚀剂,通过电子束光刻技术在电子抗蚀剂上曝 光所需的锗硅纳米低维结构图形;(d)采用干法刻蚀将锗硅纳米低维结 构图形转移到外延衬底上得到样品;(e)去除样品上的电子抗蚀剂;(f) 高温环境下进行氧化和退火,使得氧气优先与硅反应形成氧化硅而锗 被析出;(g)在氮氢混合气氛下
华中科技大学 2021-04-14
一种基于硅基液晶的偏振检测系统及方法
本发明公开了一种基于硅基液晶的偏振检测系统及方法,所述 偏振检测系统包括检偏器、光探测器、硅基液晶驱动模块、控制单元 和用于相位调制的硅基液晶,硅基液晶在硅基液晶驱动模块的驱动下 对待测光进行相位调节,获取一系列偏振光,通过对这一系列偏振光 的分析获取待测光的偏振信息,包括竖直方向与水平方向的振幅及相 位差。本发明的系统在精确可编程控制下,进行偏振态检测与控制, 不受类似于波片的波长敏感性制约;且本发明采用硅基液晶进
华中科技大学 2021-04-14
耐超低温有机硅密封胶生产技术
航空航天器、飞机、导弹、火箭、超低温冷冻机、极寒冷地区工程机械和高速列车等设备,在极低温度条件下运行时,对密封材料要求很高,一旦出现密封效果不佳或不可靠情况,会出现严重后果,极端情况会造成机毁人亡等重特大事故,形成严重的财产和人员损失。密封材料大多采用有机高分子材料,在低温条件下,密封材料中分子热运动减少,分子链段会变得僵硬甚至冻住,使之失去弹性,导致密封效果差甚至失去密封作用。因此密封材料应用于上述设备和地域时,必须采用特殊制备的耐低温硅橡胶才能保证安全及设备的稳定运行。这就要求密封材料必须具备
山东大学 2021-04-14
新一代硅烷法电子级晶体硅生产技术
上海交通大学 2021-04-13
微型皮拉尼计与体硅器件集成加工的方法
本发明公开了一种微型皮拉尼计的制备方法及其与体硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括:在硅基片正面制备体硅器件所需的绝缘层及电路引线;在硅基片的背面或正面沉积一层绝缘隔热材料,刻蚀去除其四周部分得到绝缘隔热层;在绝缘隔热层上制备加热体和电极;在没有加热体的一面制备图形化的光刻胶掩膜;在有加热体的一面沉积金属膜;将金属膜粘贴在表面有氧化层的硅托片上;对有光刻胶掩膜的一面进行感应耦合等离子体干法刻蚀,刻穿硅基片;去除光刻胶掩膜和金属膜,得到集成结构。本发明能有效提高皮拉尼计的制备与其它工艺的兼容性,解决皮拉尼计与体硅器件集成封装工艺难度大,风险高,成本高且产量低的技术问题。
华中科技大学 2021-04-14
承建丙烯酸涂料,硅PU塑胶蓝、排、网、羽球场
产品详细介绍承建丙烯酸涂料,硅PU塑胶蓝、排、网、羽球场
广州市奥力生体育设施有限公司 2021-08-23
光电工程学院/新型传感器与智能控制教育部重点实验室张明江教授课题组在国际光学领域顶级期刊Light:Science & Application(Nature 子刊)发表论文
本文介绍了近年来拉曼分布式光纤传感技术的研究进展和典型应用,目标是让该领域和相关领域的读者能充分了解这一重要技术,并提供了一个可行的研究进程路线图。
太原理工大学 2022-06-07
耐高温1000℃光纤光栅传感系统
高校科技成果尽在科转云
西安交通大学 2021-04-10
基于无线传感网络的监测系统
无线传感器网络是由许多功能相同或不同的无线传感器节点组成,每一个传感器节点由数据采集模块、数据处理和控制模块、通信模块和供电模块等组成,传感器节点之间通过自组织的方式构成网络,以无线的方式进行数据传输。 基于无线传感器网络的监测系统即是利用传感器测量所在环境的温度、振动、压力等信号,并将测量的信号进行处理后通过无线传感网络发送到监控主机,监控主机以可视化方式动态显示监测数据,并可进行数据处理、分析、存储和打印。 监测系统平台集数据采集、数据无线传输、数据处理、异常数据预报警及辅助决策于一体,采用无线通信的方式实现对环境和设备的实时监测,达到了对环境和设备事故的早发现、早预报、早防治的效果。
西安交通大学 2021-04-11
基于无线传感网络的测温系统
南京邮电大学 2021-04-14
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