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硅微谐振式压力传感器
本硅微谐振式压力传感器采用自主设计的膜片——谐振梁式复合敏感结构、自主探索的工艺流程和自主研发的信号处理技术，具有优良的稳定性和灵敏度，且敏感结构比国外同类产品简单，适合国内工艺水平现状。 该传感器用于大气压力测量或液体压力测量，在气象、航空、石油、化工、电力等领域应用前景广阔。目前，该技术已达到小批量样机生产的实用要求。
北京航空航天大学
2021-04-13
硅谐振微传感器频率特性测试仪
该仪器主要用于测量谐振微传感器（也适用于所有谐振式传感器）的动力学特性：谐振频率，微振幅，品质因数、幅频特性、相频特性等；它也是实现闭环自激系统以及研制和开发各种谐振式微传感器，如微加速度计和微陀螺等不可缺少的测试设备；本仪器的若干新技术也可直接应用于其他需要进行微弱信号检测和处理的场合。适用于从事自动化、测控技术、传感器、仪器仪表等科研院所、企业和高等院校的科研和教学方面的应用。测试仪的创新点为：综合应用了多项新技术，研制过程中发展了弱信号相关检测技术，超低频、低噪声恒流源技术。
北京航空航天大学
2021-04-13
新型谐振MEMS微惯性传感器
研发生产的半球谐振微陀螺、圆盘多环微陀螺等10多款高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微惯性传感器，达到惯性级，在微小卫星、微航天器等场合极具应用潜力。与传统的微陀螺相比，该陀螺无运动部件，抗冲击性更好；同时该陀螺可以采用角速度检测和角速度积分检测两种工作模式，极大的提升了其应用场合与范围。
上海交通大学
2021-04-10
新型谐振MEMS微惯性传感器
针对我国在军事、工业等领域对高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微惯性传感器日益迫切的需求，上海交通大学自2001年起就开展基于MEMS技术的微惯性传感器的研究，已成功研制十余款传感器样机，在研的半球谐振微陀螺、圆盘多环微陀螺等预期体积小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，有望达到惯性级，在微小卫星、微航天器等场合极具应用潜力。与传统的微陀螺相比，该陀螺无运动部件，抗冲击性更好；同时该陀螺可以采用角速度检测和角速度积分检测两种工作模式，极大的提升了其应用场合与范围，特别适合在高G环境下进行空间位置测量、导航与姿态控制等。此外，其在消费电子市场以及汽车市场也拥有这巨大的应用空间，如手机、游戏机等手持电子设备的姿态控制系统，照相机、摄像机的稳定电子平台，汽车的防翻车预警系统等。。相关研究内容作为重要组成部分曾获省部级及以上奖励多次，授权发明专利几十余项，微陀螺方面的专利国内第一，国际第二，发表SCI/EI等论文几十篇。
上海交通大学
2021-04-13
微电流传感器
产品详细介绍
江苏六鑫科教仪器设备有限公司
2021-08-23
微电流传感器
量程1：－4μA～4μA，分辨率：0.01μA；量程2：－1μA～1μA，分辨率：0.003μA；拨钮选择，系统自动识别量程；用于测量任意环路中的微电流大小和方向，能检测单导线线圈切割地球磁感线所产生的电流，具有过负荷保护功能。
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
柔性集成智能微传感器
北京工业大学
2021-04-14
柔性集成智能微传感器
北京工业大学
2021-04-14
基于谐振频率的硅微谐振式加速度计在线温度补偿方法
本发明公开了一种基于谐振频率的硅微谐振式加速度计在线温度补偿方法，在零加速度情况下标定出两谐振梁谐振频率平方和与其谐振频率差的单调变化关系曲线，然后在输入加速度情况下对两谐振梁谐振频率和谐振频率差进行测量，结合先前获得的关系曲线将温度引起的谐振频率差从测量得到的谐振频率差中减去，完成温度补偿工作。本发明提供的硅微谐振式加速度计温度补偿方法，克服了传统直接温度补偿方法中温度场分布的不确定性和热传导延迟给补偿结果带来较大偏差的缺陷，能够实现实时的、高精度的温度补偿。本发明方法的温度补偿成本低，该方案全部基于FPGA实现，不需要额外增加传感器和引入其它设备，仅利用已有电路器件即可实现。
东南大学
2021-04-11
光纤传感器
本反射式强度调制型光纤传感器具有耐高温、耐高压、灵敏度高以及不受电磁干扰等诸多优点，能够在强磁场环境、高温环境、非导磁性转子等环境下工作。 可用于旋转机械位移、油膜厚度等的非接触在线测量，也可应用于航天、航空中 微小间隙的非接触测量。
西安交通大学
2021-04-11