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非硅MEMS 技术及其应用
 1988年国际上提出的MEMS(MicroElectroMechanical System)技术是将IC工艺和机电设计相结合制造微传感器、微执行器和微系统的新技术,也称硅MEMS。作为对硅MEMS的补充和发展,非硅材料种类繁多、性能各异,能满足不同应用领域的需求,我们在国家863 计划等项目支持下于九十年代初首先提出并创立了非硅MEMS技术。 提出非硅MEMS新概念和总体思路;开发了以金属基为主的多种材料兼容的非硅表面微加工、高深宽比三维微加工等成套非硅微加工技术,为非硅MEMS发展奠定了良好基础;把经典原理和非硅微加工结合,开发了一系列压电、静电、磁电、微流体、惯性等种类的微器件和微系统,形成若干具有完全知识产权的专利群;并将非硅MEMS应用于生物芯片、微引信、信息、光器件、复合膜模具、国防武器、非硅MEMS生产线等众多领域,取得了显著的经济、社会效益,推动和引领了我国非硅MEMS技术的应用和发展。  非硅MEMS技术及其应用获得国家技术发明二等奖2项(2008,2000),省部一等奖4项,获2009年中国工业博览会创新奖;授权发明专利200多项;出版MEMS专著6部。
上海交通大学 2021-04-13
炉前碳硅分析仪
产品详细介绍  南京固琦分析仪器制造有限公司专业制造各类炉前碳硅分析仪,炉前快速分析仪器,碳硅分析设备,炉前碳硫分析仪,炉前碳硫化验仪,炉前碳硫分析仪器,光谱分析仪,光谱仪,金属光谱分析仪,分光光度计,紫外分光光度计,钢管分析仪器,钢管成分分析仪器,钢管材质分析仪器,钢管化验仪器,压力容器材质检测仪器,锅炉钢板分析仪 ,船用钢板分析仪,机械加工分析仪器,阀门化验仪器,阀门分析仪,炼钢设备,炼铁设备,金相分析仪器,电力设备分析仪, 萤石主成分分析设备,元素分析仪,金属分析仪器,铝合金分析仪,矿石化验仪器,矿石分析仪,铝合金化验仪器,碳硫高速分析仪、多元素分析仪,生铁分析仪器,铸造化验仪器,黑色金属分析仪器,炉前铁水分析化验仪,金属材料化验仪器,可测定工业材料中碳、硫、锰、磷、硅、镍、铬、钼、铜、钛、锌、钒、镁、稀素的含量土等元素。仪器测量范围广、精度高,高、中、低档齐全,并能接受用户特殊定货。广泛应用于钢铁分析仪器、冶金化验仪器、铸造化验设备、机械分析仪器,化工分析仪器、矿山开发设备等行业及质量监督部门和大专院校。(http://www.gqfxy.com)  025-57357222 13851978239)
南京固琦分析仪器制造有限公司 2021-08-23
用于一氧化氮氧化的莫来石型复合氧化物催化剂
本发明公开了一种用于一氧化氮氧化的催化剂,其特征在于, 所述催化剂为莫来石型复合氧化物,化学通式为 A1-xA'xB2-yB'yO5, 其中,A 和 A'各自独立地为稀土金属或碱土金属元素中的一种,B 和 B'各自独立地为过渡族金属元素中的一种,且 0≤x≤1,0≤y≤2。该 催化剂可以在较宽的温度范围内高效地将一氧化氮催化氧化为二氧化 氮,且成本低,具有很好的热稳定性,能长时间保持较高的催化活性, 明显提高汽车尾气
华中科技大学 2021-04-14
环保型凹凸棒石纳米复合橡胶添加剂及其在橡胶中的应用技术
凹凸棒石是一种天然的一维纳米矿物,具有独特的棒状纤维结构,是潜在的环保型橡胶补强材料。该项目对凹凸棒石进行改性处理,制得纳米级橡胶添加剂,进而利用乳液共絮共凝法制得橡胶/凹凸棒石纳米复合材料。
兰州大学 2021-01-12
基于硅基悬臂梁T型结直接加热式毫米波信号检测仪器
本发明的基于硅基悬臂梁耦合T型结直接加热式毫米波信号检测仪器是由传感器、模数转换和液晶显示三大模块组成,传感器模块是由悬臂梁耦合结构、T型结直接加热式微波功率传感器和开关构成,衬底材料为高阻Si,功率通过输入端口对应的CPW信号线终端的直接加热式微波功率传感器进行检测;频率检测通过利用直接加热式微波功率传感器测量两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号的合成功率实现;相位检测通过将两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号,分别同两路等分后的参考信号合成,同样利用直接加热式微波功率传感器检测合成功率,
东南大学 2021-04-14
硅基未知频率缝隙耦合式T型结直接式毫米波相位检测器
本发明的硅基未知频率缝隙耦合式T型结直接式毫米波相位检测器是由共面波导传输线、缝隙耦合结构、移相器、单刀双掷开关、T型结功分器、T型结功合器以及直接式热电式功率传感器所构成,整个结构基于高阻Si衬底制作,一共有四个缝隙耦合结构,上方的两个缝隙耦合结构实现信号的频率测量,下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量,在前后缝隙之间有一个移相器;T型结功分器和T型结功合器是由共面波导传输线、扇形缺陷结构和空气桥组成;直接式热电式功率传感器由共面波导传输线、两个热电偶和隔直电容所构成,热电偶是由金属臂和半导体
东南大学 2021-04-14
硅基悬臂梁耦合T型结间接加热式毫米波信号检测仪器
本发明的硅基悬臂梁耦合T型结间接加热式毫米波信号检测仪器是由传感器、模数转换和液晶显示三大模块组成,传感器模块是由悬臂梁耦合结构、T型结间接加热式微波功率传感器和开关构成,衬底材料为高阻Si,功率通过输入端口对应的CPW信号线终端的间接加热式微波功率传感器进行检测;频率检测通过利用间接加热式微波功率传感器测量两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号的合成功率实现;相位检测通过将两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号,分别同两路等分后的参考信号合成,同样利用间接加热式微波功率传感器检测合成功率,从而
东南大学 2021-04-14
基于硅基悬臂梁T型结间接加热式毫米波信号检测器
本发明的基于硅基悬臂梁T型结间接加热式毫米波信号检测器,主要实现结构包括由悬臂梁耦合结构、T型结、间接加热式微波功率传感器和开关。悬臂梁耦合结构包括两组悬臂梁,每组悬臂梁由两个对称的悬臂梁构成,两个悬臂梁之间CPW传输线的电长度在所测信号频率范围内的中心频率35GHz处为λ/4。功率通过第一间接加热式微波功率传感器进行检测;频率检测通过利用间接加热式微波功率传感器测量两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号的合成功率实现;相位检测通过将两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号,分别同两路等分后的参考
东南大学 2021-04-14
硅基已知频率缝隙耦合式T型结直接式毫米波相位检测器
本发明的硅基已知频率缝隙耦合式T型结直接式毫米波相位检测器是由共面波导传输线、缝隙耦合结构、移相器、T型结功分器、T型结功合器以及直接式热电式功率传感器所构成,整个结构基于高阻Si衬底制作,一共有四个缝隙耦合结构,上方的两个缝隙耦合结构连接着两个直接式热电式功率传感器,下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量,在前后缝隙之间设置有一个移相器;T型结功分器和T型结功合器是由共面波导传输线、扇形缺陷结构和空气桥所组成;直接式热电式功率传感器主要由共面波导传输线、两个热电偶和一个隔直电容所构成,每个热电偶
东南大学 2021-04-14
硅基已知频率缝隙耦合式T型结间接式毫米波相位检测器
本发明的硅基已知频率缝隙耦合式T型结间接式毫米波相位检测器是由共面波导、缝隙耦合结构、移相器、T型结功分器、T型结功合器以及间接式热电式功率传感器所构成,整个结构基于高阻Si衬底制作,一共设置有四个缝隙耦合结构,上方的两个缝隙耦合结构连接着两个间接式热电式功率传感器,下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量,在前后缝隙之间设置有一个移相器;T型结功分器和T型结功合器是由共面波导、扇形缺陷结构和空气桥所组成;间接式热电式功率传感器主要由共面波导、两个终端电阻以及热电堆所构成,热电堆是由两种不同的半导体
东南大学 2021-04-14
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