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半导体辅材用多晶硅中碳、氮杂质的分离去除技术
伴随着我国半导体行业的迅速崛起,硅电极作为光刻设备上承载硅基圆的重要辅材,其需求日趋增加。同时,基圆尺寸的不断增加使得硅电极逐渐由单晶硅电极转变为多晶硅电极,然而多晶硅制备过程中不可避免存在C、N杂质的污染,导致其基体中存在大量弥散分布的SiC、Si3N4硬质颗粒夹杂,严重影响了多晶硅电极的使用性能。 传统制备技术下,设备热场结构单一,熔体流动性差,导致SiC、Si3N4杂质循环溶解—析出,难以有效分离。本项目团队前期利用电子束精炼技术去除硅中的蒸发性杂质(P、 O、N);利用电子束诱导实现多晶硅的定向凝固,进而分离硅中的金属杂质;基于电子束冷床效应分离硅中的SiC、Si3N4硬质颗粒,并揭示硬质颗粒与硅基体间的位相关系;基于上述研究开发出了多晶硅电极的制备工艺,可应用于刻蚀等半导体制造等领域。 本项目预期可以为半导体行业中硅电极生产制造企业提供稳定的技术支持,具有很好的生产示范性,实现高新技术产业化。该技术能够有效地降低生产过程中的能耗,是一种低成本、环境友好的生产方法,属于节能、环保的绿色制造技术。该技术的大规模应用和推广,可大幅增加就业岗位,提高企业的市场竞争力,保护环境。
大连理工大学 2021-05-10
硅基微纳结构调控太阳光谱提升光伏器件效率的研究
拥有人工微结构科学与技术协同创新中心、固体微结构物理国家重点实验室、半导体节能器件及材料国家地方联合工程中心以及江苏省光电信息功能材料重点实验室等科研平台,在硅基纳米结构材料与性能调控,硅基光子学器件和新型能源器件等基础研究领域具有很强的影响力。近年来,在硅基太阳能电池片研发及其新型结构材料在电池片上应用等方面开展了全方位的研究,承担完成了国家重点基础研究发展计划课题和国家自然科学基金重点项目等相关课题的研究。提出了渐变带隙的纳米硅量子点电池结构,利用渐变带隙进一步拓宽电池的响应光谱范围,发展了包
南京大学 2021-04-14
多晶硅生产冷氢化工艺加热合成反应关键技术装备
实现多晶硅生产冷氢化工艺过程工程化的关键加热系统装置;降低成本40%,减少能耗2/3。8000小时以上无故障稳定运行加热合成反应器关键技术。
常州大学 2021-04-14
一种硅太阳能电池正面银电极用银粉的制备方法
本发明公开了一种硅太阳能电池正面银电极用银粉的制备方法, 包括以下步骤:将硝酸银和柠檬酸溶于去离子水配制得到 A 溶液;将 瓜尔豆胶、抗坏血酸以及硝酸溶于去离子水中配制得到 B 溶液;在搅 拌的情况下,将 A 溶液逐渐滴加到 B 溶液,反应一段时间;静置,沉 淀得到银粉。本发明通过引入瓜尔豆胶为反应离子分散剂、柠檬酸为 粒子表面改性剂,在液相化学还原法下制备得到平均粒径 D50 为 1.0-3.0μm 的银粉,并兼顾
华中科技大学 2021-04-14
基于 SiCx 织构的硅量子点浮栅非易失性存储器及其制备方法
本发明公开了一种基于 SiCx 织构的硅量子点浮栅非易失性半导 体存储器及其制备方法,包括硅衬底,在硅衬底上掺杂形成的源导电 区和漏导电区,以及在源漏之间的载流子沟道上依次生长的隧穿氧化 层、电荷存储层、控制栅氧化层及金属栅层;所述电荷存储层包括 SiCx 织构和横纵向均匀分布于 SiCx 织构中的硅量子点。本发明有效利用硅 量子点-SiCx 织构间的隧穿势垒,构成了控制栅氧化层-SiCx 织构-Si 量子点-SiC
华中科技大学 2021-04-14
南京大学医学院石云课题组揭示人类攻击行为的遗传机制
突触前神经元释放的谷氨酸结合并激活突触后膜的AMPA型谷氨酸受体,介导离子的流动,改变突触后神经元的电活动,从而将神经信号从一个神经元(突触前)传递给下一个神经元(突触后),因而AMPA受体在人类行为、认知、情感等各种神经活动中起关键作用。
南京大学 2022-06-14
基于稠环双噻吩酰亚胺和双并噻吩酰亚胺的稳定n型有机醌式双自由基材料
具有开壳结构的自由基有着独特的光学、电学和磁学性质,在有机电子学、自旋磁电子学、非线性光学和储能器件等众多领域中具有广泛的应用前景。课题组通过理论计算和顺磁共振结果证明BTICN和QTICN具有双自由基特性,其中具有更大分子骨架的QTICN的双自由基特征指数达到0.67。
南方科技大学 2021-04-14
KD型全液压开铁口
KD型全液压开铁口机是北京科技大学和桂林冶金机械厂共同开发研制的现代化打开高炉出铁口的机械设备。与气动开铁口机相比较,全液压开铁口机钻削开口的工作油压是风动开铁口机风压的20~30倍,故钻削、冲打能量大,工作可靠,结构紧凑轻便,且可省去专用空压机,节省投资。与电动开铁口机相比较,具有冲打功能,开口速度明显加快,开出的孔道平直光滑。 KD型全液压开铁口机既可以和液压泥炮布置在炉前主铁沟的两侧;也可以和液压泥炮布置在炉前主铁沟的同侧。另外,选用全液压开铁口机可以和液压泥炮共用液压泵站,从而减少投资。
北京科技大学 2021-04-11
KD型液压矮泥炮
KD型液压矮泥炮是BG型液压矮泥炮的更新换代产品。由北京科技大学设计,西安冶金机械厂制造的BG型液压矮泥炮于1986年和1988年通过冶金部的鉴定,多年来,已在二十六个省市推广应用,曾获得国家重大技术装备攻关一等奖,国家科技进步二等奖等八项国家级奖励。根据BG型液压矮泥炮多年来的使用经验,吸取国外液压泥炮的先进结构,于1996年对BG型液压矮泥炮做了重大改进,并改名为KD型。KD型液压矮泥炮的主要改进之处为: 1.将原来的旋转、压炮、打泥三个动作改为旋转、打泥两个动作,从根本上消除了两个压炮油缸动作不同步的可能性,进一步提高了泥炮动作的可靠性。 2.在旋转机构中增加了一个平面四杆机构,保证了炮嘴在出铁口内外做近似直线运动,炮嘴在贴紧泥套压炮时,炮嘴不会左右移动,有利于提高泥套的工作寿命。 3.将打泥量行程指示装置做了改进,结构简单,工作可靠,故障率低。 4.液压站统一采用手动阀台,具有工作可靠,操作方便等优点。
北京科技大学 2021-04-11
V型调姿定日镜
本发明公开了一种V型调姿定日镜,包括第一反射单元、第二反射单元、第三反射单元、第四反射单元、第一杆件、第二杆件、第三杆件、第四杆件、中心杆、滑块、垫片;中心杆竖直设置;第一反射单元、第二反射单元、第三反射单元与第四反射单元位于中心杆四周,均由各自的中心转轴固定,且可绕各自的中心转轴旋转;滑块与中心杆连接,且可在中心杆上上下移动,第一杆件、第二杆件、第三杆件、第四杆件一端连接滑块,另一端连接反射单元的中心转轴。本发明可以同时改变弧矢面和子午面曲率,使得减小像散,产生较小的光斑,提高定日镜的聚光能力,更大程度利用太阳能。
东南大学 2021-04-11
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