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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法，包括如下步骤：（1）在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；（2）对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题，在提高刻蚀效率的同时，提高了对光刻胶的选择比，刻蚀槽侧壁垂直度高，粗糙度小，刻蚀深度大。
华中科技大学
2021-04-14
低硼硅药用玻璃管
主要生产药用玻管、中性硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅玻璃安瓿/小瓶、低硼硅管制口服液体瓶等产品。现拥有14条国际先进的拉管生产线，70余台国际先进的制瓶机，年产各类安瓿/管制瓶32亿支，药用玻管（精品7.0）30000吨。
山东力诺特种玻璃股份有限公司
2021-08-27
硅通孔结构及其制造方法
本发明公开了一种硅通孔结构的制造方法，包括以下步骤：将硅片的厚度减薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有绝缘层；在硅片的导电区表面和绝缘区表面制作掺杂掩膜，以对导电区和绝缘区分别进行粒子掺杂，绝缘区与导电区掺杂的粒子的极性相反；在粒子掺杂完成后去除掺杂掩膜；在导电区表面覆盖金属电极；在硅片的表面除金属电极之外的区域覆盖绝缘层。本发明的方法制造工艺简单，可避免刻蚀、绝缘处理等工艺对硅片的破坏，并能够提高制造硅通孔结构的成品率。本发明还公开了一种硅通孔结构。
华中科技大学
2021-04-11
《科技支撑碳达峰碳中和实施方案（2022—2030年）》政策解读
《实施方案》针对我国各重点行业碳排放基数和到2060年的减排需求预测，系统提出科技支撑碳达峰碳中和的创新方向，统筹低碳科技示范和基地建设、人才培养、低碳科技企业培育和国际合作等措施，推动科技成果产出及示范应用，为实现碳达峰碳中和目标提供科技支撑。
科技部
2022-08-18
非水碳硫分析仪，非水碳硫分析仪器
产品详细介绍南京固琦分析仪器制造有限公司专业制造各类非水碳硫分析仪，非水碳硫分析仪器，碳硫分析仪器，智能定硫仪，炉料分析仪，碳硫高速分析仪器，高智能碳硫分析仪器，南京碳硫分析仪，碳硫检测仪，碳硫联测分析仪, 化验室仪器，碳分析仪器，硫分析仪器，管式碳硫分析仪，管式碳硫仪，智能碳硫分析仪器，自动分析仪器，智能化验仪器，智能分析仪器，快速碳硫分析仪、分析仪器，化验仪器，化验设备，不锈钢成分测定仪,化学元素分析仪, 电化学分析仪,实验室分析仪器, 智能元素分析仪，微机元素分析仪，三元素分析仪器，可测定工业材料中碳、硫、锰、磷、硅、镍、铬、钼、铜、钛、锌、钒、镁、稀素的含量土等元素。仪器测量范围广、精度高，高、中、低档齐全，并能接受用户特殊定货。广泛应用于钢铁分析仪器、冶金化验仪器、铸造化验设备、机械分析仪器，化工分析仪器、矿山开发设备等行业及质量监督部门和大专院校。(http://www.gqfxy.com) 025-57357222 13851978239)。
南京固琦分析仪器制造有限公司
2021-08-23
高介孔率、强疏水性新型活性碳材料及其高效吸附回收VOCs技术
高校科技成果尽在科转云
西安交通大学
2021-04-10
一种超薄碳包覆二氧化锡纳米复合材料的制备方法
专利名称：
天津工业大学
2021-01-12
结合产业化发展出原位制备硫化锂/微孔碳复合电极材料的新技 术
锂-硫电池真正能够满足实用化需求，除了需要解决前述硫正极材料的导电 性、体积膨胀以及多硫化物的溶解等问题外，还存在锂-硫电池中因使用金属锂 作为负极可能导致的安全问题，鉴于此，团队研究者设计了一种原位制备硫化锂 /微孔碳复合电极材料的新方法，将前期研究制备的碳/硫复合电极材料延伸到与 产业化结合，实现商用锂离子电池的电解液在锂-硫电池中的使用，因此，该方 法可满足现有锂离子电池生产工艺需求，并与国际知名电池企业 SAFT 公司开展 相关技术合作。
上海理工大学
2021-01-12
新型的碳海绵的制备
近年来，随着微型化、便携式电子产品的迅猛发展，基于超级电容器和电池的超薄、柔性储能器件受到越来越广泛的关注。组装该类高性能的柔性储能器件需要三维柔性电极材料。三维柔性碳电极是最佳的选择，主要因为其惰性的化学特征，而且可以用于几乎所有的电解质体系。目前文献报道的三维柔性碳电极主要是基于碳纳米材料，如碳纳米管和石墨烯等，然而这类柔性电极制备比较复杂，成本较高，难以实现大规模化生产。
我们创新性地采用直接高温碳化聚合物泡沫的方法成果制备了碳海绵。该方法简单，且易于大规模化生产。所制备的碳海绵具有以下特征：
稳定的三维多孔网络结构；
良好的弹性；
可控的孔隙度，孔隙度范围：95-99.9%；
可控的密度，密度范围：3-100 mg/cm3；
可控的导电性，导电率范围：1-30 s/cm；
超疏水和超亲油性。
江西师范大学
2021-05-05
微卡车用碳罐支架
成果描述：本实用新型公开了微卡车用碳罐支架,包括紧固架、橡胶垫、支架、预埋螺栓与连接板。微卡车用碳罐支架通过预埋螺栓装配于微卡车架,碳罐放置于紧固架内,通过扳手旋转螺母实现拉紧紧固架,从而将碳罐牢固地锁在紧固架内。根据本实用新型公开的微卡车用碳罐支架,橡胶垫能够保证碳罐在锁紧过程中,不会被紧固架所损坏。采用螺母紧固能够保证碳罐安装牢固无松动,并且碳罐距离油箱较近能够有效避免车辆在斜坡时,燃油顺着通气管进入碳罐,使碳罐的功能失效。市场前景分析：采用螺母紧固能够保证碳罐安装牢固无松动,并且碳罐距离油箱较近能够有效避免车辆在斜坡时,燃油顺着通气管进入碳罐,使碳罐的功能失效。与同类成果相比的优势分析：国内领先
成都大学
2021-04-10