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半导体辅材用多晶硅中
碳
、氮杂质的
分离
去除技术
伴随着我国半导体行业的迅速崛起,硅电极作为光刻设备上承载硅基圆的重要辅材,其需求日趋增加。同时,基圆尺寸的不断增加使得硅电极逐渐由单晶硅电极转变为多晶硅电极,然而多晶硅制备过程中不可避免存在C、N杂质的污染,导致其基体中存在大量弥散分布的SiC、Si3N4硬质颗粒夹杂,严重影响了多晶硅电极的使用性能。 传统制备技术下,设备热场结构单一,熔体流动性差,导致SiC、Si3N4杂质循环溶解—析出,难以有效分离。本项目团队前期利用电子束精炼技术去除硅中的蒸发性杂质(P、 O、N);利用电子束诱导实现多晶硅的定向凝固,进而分离硅中的金属杂质;基于电子束冷床效应分离硅中的SiC、Si3N4硬质颗粒,并揭示硬质颗粒与硅基体间的位相关系;基于上述研究开发出了多晶硅电极的制备工艺,可应用于刻蚀等半导体制造等领域。 本项目预期可以为半导体行业中硅电极生产制造企业提供稳定的技术支持,具有很好的生产示范性,实现高新技术产业化。该技术能够有效地降低生产过程中的能耗,是一种低成本、环境友好的生产方法,属于节能、环保的绿色制造技术。该技术的大规模应用和推广,可大幅增加就业岗位,提高企业的市场竞争力,保护环境。
大连理工大学
2021-05-10
爱提
分
爱提分,为全国K12教育培训机构提供1对1、小班课及个性化的教学产品及服务,是爱学习教育集团旗下教务教学综合管理服务平台。爱提分致力于提供专业的教学内容,并利用互联网技术改造传统教学模式,引领个性化教育行业变革,为行业赋能。业务涵盖中小学全学科全年级教学产品以及备课系统、测评系统、管理系统、酸奶课堂直播课、师资培训、校长培训等多个领域。截至目前,爱提分全国合作伙伴超过1300家,业务覆盖全国28个省份600多个县市,服务学生总量超过400万,正在成为个性化教育新模式的引领者。
爱学习教育集团
2021-02-01
廿二
碳
五
烯酸乙醇胺在提高植物灰霉病抗性中的应用
本发明公开了廿二碳五烯酸乙醇胺在提高植物灰霉病抗性中的应用以及在制备提高植物灰霉病抗性的制剂中的应用。本发明以廿二碳五烯酸乙醇胺为主要有效成分制备的制剂,通过诱导植物体内的茉莉酸以及乙烯的信号路径,可显著增强植物对灰霉病的抗性,减少因灰霉病给植株带来的经济损失。采用本发明制剂防治植物灰霉病简单易行,成本较低,可显著延迟和抑制灰葡萄孢病原菌在叶片上的生长及病害的扩散,大大提高了植株对灰霉病的抗性。
浙江大学
2021-04-13
低温空气
分离
的超导磁
分离
器、
分离
装置及方法
本发明公开了一种低温空气分离的超导磁分离器、分离装置和方法,其中超导磁分离器包括外壳,以及设于外壳内的分离芯体,分离芯体包括:外磁体;至少一部分为多孔超导薄膜的分离元件,该分离元件设置在外磁体磁场内部;多孔超导薄膜一侧与自空气原料进口进入的空气原料接触,用于收集氧气,并通过氧气出口排出;超导体另一侧用于收集穿过孔结构的氮气,然后经氮气出口排出。相比于传统的磁力空气分离,本发明磁场强度、梯度更高,低温的原料空气中氧分子的磁化率成倍增大,并且可以提供磁体和薄膜维持超导状态所需的冷量,因此分离效率、产品纯度更高,在化工、冶炼、医疗等需要提供高纯度氧气的领域有着广阔的应用空间。
浙江大学
2021-04-13
将 LNG 冷能用于空
分
制氧和
碳
捕获的天然气富氧燃烧系统
本发明涉及一种将 LNG 冷能用于空分制氧和碳捕获的天然气富氧燃烧系统。该系统包括 LNG 冷能空分制氧子系统、富氧高压加水燃烧循环发电子系统和高压液氧碳捕获子系统,将 LNG 冷能应用于天然气富氧燃烧电厂的空分制氧过程中,同时冷凝回收富氧燃烧所产生的二氧化碳,实现碳的零排放。解决富氧燃烧电厂空分制氧能耗高、碳捕获成本大的问题。此外,还可以附加高压液氮再循环制氧子系统,进一步利用液氮冷能,降低制氧能耗,从而提高系统能效水平。本发明实现了冷能连续传递使用,同时解决了富氧燃烧电厂空分制氧能耗高,碳捕获成
华中科技大学
2021-04-14
数字式正弦波逆变器(
离
网)
成果简介新能源通常需要通过逆变器进行 DC/AC 变换后, 才能对交流负载供电。 还有汽车、 火车、 船舶、 飞机以及一些电网无法供电的边远地区都需要应用脱离电网的储备电源和自发电电源。 这些电源均需要使用逆变器, 因此逆变器应用十分广泛。 目前国内外的逆变技术以及应用市场都发展很快也较为成熟, 但现有的逆变技术, 要么电路太复杂, 性价比不高; 要么一些技术指标不能同时兼有。 本项目克服了这些缺点, 将自主发明的专有核心技术与单片机技术融合应用, 使逆变器硬件线路简单, 具有较高的性
安徽工业大学
2021-04-14
种
分
切复卷机
一种分切复卷机,包括机架,机架上设置有纸料架、纸料张紧机构,复卷工位,切纸管工位和传送机构,切纸管工位在复卷工位之上;待分切的纸管套接于芯轴上,芯轴架设于机架,芯轴架设于托持部且端部露出;传送机构具有一对活动托块,每个活动托块具有各自的驱动机构,活动托块为楔形块,活动托块的最低处设置挡块;驱动导轨上设置活动托块行程的最高行程位置和最低行程位置,活动托块到达最高行程位置时、活动托块将芯轴抬离托架、芯轴沿楔形面到达最低点,活动托块到达最低行程位置时、芯轴从活动托块脱出到达复卷工位的驱动辊;活动托块在最高行程位置和最低行程位置之间往复运动。本发明具有只需一台机器即可实现纸管分切和成品纸卷纸的优点。
浙江大学
2021-04-11
SAT冲刺1500
分
紧扣考生核心需求,依托强大教研团队的支持,不断完善和升级课程体系,全新推出“赢+课程”。雅思“赢+课程”以目标分段为课程设计主线,设置目标分为1200分,1300分,1400分,1500+分对应的课段内容。“赢+课程”内容含核心端和吸收端两个部分。核心端内容包括每个课段需要掌握的技巧知识点,吸收端内容帮助学生更好地巩固核心端内容中的知识点,夯实学员语言基础。
星飞网络科技(上海)有限公司
2021-02-01
FEP
分
液漏斗
产品详细介绍 FEP分液漏斗 聚全氟乙丙烯FEP分液漏斗: 漏斗壁对溶剂无粘贴性和吸附,可完全排空,分界面清晰可见,密封,可高压灭菌。 聚全氟乙丙烯(FEP、Teflon、F46、氟四六)特性: 聚全氟乙烯是四氟乙烯和六氟丙烯的共聚物,是一种高性能的材料,其特性如下: 1.热稳定性 在-200℃~+205℃温度范围内有优异、稳定的表现。 2.化学稳定性 包括在热、光、潮湿等绝大部分暴露环境下都有很好的化学稳定性。 3.不粘性 在塑料中有着最低的临界表面能;疏水疏油性以及优秀的脱模性。 4.有优异的电性能 在很宽的温度以及频率范围内有着很低的介电常数、介电损耗以及很高的介电强电。 5.长时间的耐气候性 对臭氧、阳光等气候条件有优异的耐候性。 6.高透明性 紫外线、可见光有很好的穿透性;相对于其他塑料有最低的折射系数。 7.阻燃性 在大气里不能燃烧。(极限氧指数﹥95%) 8.防污染:金属元素空白值低,铅含量小于10-11 g/ml,铀含量小于10-12 g/ml; 9.具有极低的溶出和析出. 10.耐高低温:使用温度可达﹣200℃~+205℃; 11.耐绝缘:介电性能与温度、频率无关; 12.不粘附:不粘附任何物质; 13.无毒害:具有生理惰性,可植入人体内; 14.防污染:金属元素空白值低,铅含量小于10-11 g/ml,铀含量小于10-12 g/ml。15.具有极低的溶出和析出,目前国内广泛应用在电线、电缆、护套、管材、衬阀等耐高温,耐腐蚀领域。
南京瑞尼克科技开发有限公司
2021-08-23
芳香羧酸直接的脱氧
碳
碳
偶联
南京大学
2021-04-10
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