本发明提出这样一种阳极键合工艺方法：将 MEMS 陀螺仪器件层沉积到临时高分子衬底上，完成金属电极沉积和 MEMS 结构刻蚀之后，将临时高分子衬底用化学机械抛光的方法去除。去除之后，将玻璃基体和玻璃盖帽分别紧贴 MEMS 结构的两侧，加电加热后一次完成双面阳极键合。这种工艺方法与传统的两次阳极键合分两步进行相比，更加节省成本，而且避免了第二次阳极键合对第一次阳极键合强度削弱这个固有缺点，使得产品可靠性提高。

本发明公开了一种用于高密度芯片的倒装键合平台，包括基座、芯片剥离和翻转单元、XY 向运动单元、多自由度键合头和贴装台单元，其中芯片剥离和翻转单元用于将晶圆盘上的芯片分别执行剥离和翻转，并将其送至待拾取位置；多自由度键合头以悬臂形式安装在 XY 向运动单元的支撑导轨上，并具有主动调平和对准功能；贴装台单元用于吸附基板并与键合头相配合，由此实现芯片与基板之间的相互定位。此外，为了保证各单元高精度的运动或配合，该倒装键合平台中还配置有多套视觉定位系统。通过本发明，能够达到微米级的对准精度，平行调整精度优于

产品详细介绍 微键音提示扭力螺丝批 MC 2. 扭力范围：0.4 至 2Nm.  当拧紧螺丝时会自动快速释放： 在达到预设扭力值时，会发出灵敏的键音提示信号。  预设扭力可以通过转动手柄尾端的滚花环设置（可锁定）。  精确的扭力值与显示窗口。  50mm长的细长型轴杆与磁座6.3mm（1/4英寸）标准插槽。  1/4"包括适配器插座公制六角驱动和1/4"公制方型接口。  精度：+/- 6%。  总长度：170mm。  重量：135克。  NO 23 343 50mm长的细长型轴杆与磁座6.3mm（1/4英寸）标准插槽。 1/4"包括适配器插座公制六角驱动和1/4"公制方型接口。 适合专业领域使用!  螺丝批MC 2是一件精密工具。 放置于一个实用的存储箱内。     使用标准公制螺纹紧固螺栓柄 (DIN 13，第13部分) 以及头部连接尺寸规格(DIN 912，931，934)。 使用未经处理的和未电镀螺栓测定的摩擦系数（不抹油，抹油）。     相关产品： 微键音提示扭力扳手 MC 30, MC 100, MC 200, MC 320  微键音提示扭力扳手 MC 200-Multi  微键音提示扭力扳手 MC 15  微键音提示扭力扳手 MC 10  微键音提示扭力螺丝批 MC 5

产品详细介绍 微键音提示扭力扳手 MC 10。 扭力范围：2 至 10Nm。 当拧紧螺丝时会自动快速释放： 在达到预设扭力值时，会发出灵敏的键音提示信号。  预设扭力可以通过转动手柄尾端的滚花环设置（可锁定）。 精确的扭力值与显示窗口。  辅助刻度表用于精密调节扭力:  1 圈 = 2.0Nm，1 刻度 = 0.2Nm。 带有1/4英寸方型转接口(6.3 mm)  自锁式转接头，弹簧套筒适合安装（1/4英寸）6.3mm批头。 T型杆包括在发货清单中。  精度：+/- 6%。  总长度：165mm。  重量：270克。 NO 23 348  注意: 一个符合人体工程学的螺丝刀手柄，仅仅靠手动操作便能输出6~8Nm的扭力。 为了加强扭力目的，MC 10的前方增加有一个1/4英寸方型转接口，可用来安装固定长杆（T型杆，带棘轮）。 扭力扳手 MC 10是一件精密工具。放置于一个实用的工具盒内。             使用标准公制螺纹紧固螺栓柄 (DIN 13，第13部分) 以及头部连接尺寸规格(DIN 912，931，934)。 使用未经处理的和未电镀螺栓测定的摩擦系数（不抹油，抹油）。       相关产品: 微键音提示扭力扳手 MC 30, MC 100, MC 200, MC 320  微键音提示扭力扳手 MC 200-Multi  微键音提示扭力扳手 MC 15  微键音提示扭力扳手 MC 10  微键音提示扭力螺丝批 MC 5 适合专业领域使用!  自锁式转接头，弹簧套筒适合安装（1/4英寸）6.3mm批头。 T型杆包括在发货清单中。

随着我国经济的飞速发展，在公路工程项目建设中修筑了许多大跨径的梁桥，而正交异性钢桥面板具有重量轻、跨度大等优点，在国内大跨径钢桥中得到了广泛的应用，如江阴大桥、南京长江三桥、佛山平胜大桥、天津富民桥、湛江海湾大桥等。然而使用传统的复合改性沥青混凝土施工铺装，出现了温度变化大，易产生脱层推移、车辙和裂缝等病害特征，虎门大桥在通车一年内即出现病害，采用灌缝填缝等修补手段均难以阻止病害的进一步发展，多座桥梁的SMA铺装已进行翻修，甚至二次大修。在分析比较目前国际应用较为成熟的钢桥面铺装技术的基础上，对用于钢桥面铺装的联结层、铺装层进行了系统的调查研究后，设计开发施工简便、既经济又易维护的，在钢桥面铺装领域具有创新和国内自主知识产权的环氧沥青组合体系新型钢桥面铺装技术。 环氧沥青钢桥面铺装技术是首先在钢板层上，采用改性环氧树脂粘结一层3～5mm粒径的碎石形成碎石与环氧及环氧与钢板粘结牢固的防水防腐又粗糙且耐高温的抗滑界面，一步实现钢桥铺装界面的防水和防剪切滑移，这种新型界面形式称为环氧粘结碎石层界面（Epoxy Bonding Chips Layer, EBCL）; 冷拌沥青混凝土整体化层（Resin Asphalt，RA）由树脂沥青和矿料拌和组成, 在其完全固化前，表面均匀洒布一层10～13mm粒径的石子，采用胶轮压路机进行碾压，要求撒布石料粒径的一半以上嵌入RA表层；当上述RA层完全固化后，在其表面洒布防水沥青层，用于增强层间的防水和粘结；最后铺装传统的复合改性沥青混凝土，形成表面功能层。ERS的设计，旨在通过EBCL层中环氧树脂及RA层中树脂沥青两类材料性能的突破，实现桥面材料极性的梯度化过渡，实现弱极性的沥青混凝土在强极性钢桥面上的铺装，解决传统工艺下脱层等的病害。

低温燃料电池能有效地将化学能转化为电能，是一种高效、低污染的能源转化装置，是汽车动力系统、家庭热电联用系统甚至航天航空等领域的可选绿色能源。氧气还原反应是低温燃料电池的重要组成单元，由于反应过程极为缓慢，需在较高的过电位下进行，制约燃料电池的实际应用。学界普遍认为铂基材料能有效催化氧气还原，但这类贵金属的稀缺性和低 抗毒化能力使低温燃料电池的商业化应用仍面临巨大挑战。 在非贵金属催化剂研究领域，南京大学近年来提出了以氧化石墨烯和三聚氰胺为前驱体，利用固相反应制备氮掺杂石墨烯，制备的催

本实用新型公开一种多功能氧浓度监测转换器，包括盒体，盒体一端的输入接头通过输入管道连接伸缩式接头，盒体的相对端设置输出接头，输入管道通过盒体内部与输出接头连通，盒体内设置有氧浓度传感器、A/D转换器、存储器、处理器，盒体外壁设置有显示屏、数字键盘、按键A、按键B、电源开关，氧浓度传感器与A/D转换器电连接，存储器、显示屏、数字键盘、按键A、按键B均与处理器电连接。本实用新型能够监测中心供氧端输出的实际氧浓度并根据目标氧浓度进一步转换显示出需要设定的氧浓度或流量。

成果简介氧枪是转炉炼钢工艺的关键设备， 氧枪粘渣一直是转炉炼钢生产普遍存在和难于解决的问题。 而目前工程中采用的人工清理方法， 其有效性和安全性都难以满足使用要求， 严重制约了正常生产的进行及各项经济技术指标的提高。 因此，高效可靠的转炉氧枪自动除渣装置， 对于加快转炉炼钢的生产节奏、 提高炼钢产量和生产效率， 增加企业经济效益， 保证氧枪设备安全可靠运行、 延长氧枪使用寿命、 减轻作业工人劳动强度等各个方面都具有重要意义。成熟程度和所需建设条件本项成果通过