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硅通孔结构及其制造方法
本发明公开了一种硅通孔结构的制造方法,包括以下步骤:将硅片的厚度减薄至 5 微米至 20 微米;去除硅片表面的所有绝缘层;在硅片的导电区表面和绝缘区表面制作掺杂掩膜,以对导电区和绝缘区分别进行粒子掺杂,绝缘区与导电区掺杂的粒子的极性相反;在粒子掺杂完成后去除掺杂掩膜;在导电区表面覆盖金属电极;在硅片的表面除金属电极之外的区域覆盖绝缘层。本发明的方法制造工艺简单,可避免刻蚀、绝缘处理等工艺对硅片的破坏,并能够提高制造硅通孔结构的成品率。本发明还公开了一种硅通孔结构。
华中科技大学 2021-04-11
多翼离心风机优化设计方法
在国内多翼离心风机优化设计方面,西安交通大学刘小民教授课题组针对多翼离心风机的高效低噪优化开展了大量研究,主要包括多翼离心风机的参数化优化,基于仿生叶片的风机设计优化等。诸永定基于Kriging代理模型及遗传算法,针对抽油烟机用多翼离心风机进行优化设计,优化结果显示风量提升4.4%,效率由20.15%提升至21.73%,所采用的方法可以显著减少CFD的优化迭代次数。针对以上总结,可见国内对于多翼离心风机的优化设计主要以常规家电为主,针对环境试验箱所用多翼离心风机优化设计尚缺乏针对性研究。
西安交通大学 2021-04-11
西瓜穴盘苗壮苗培育方法
本发明提供了一种西瓜穴盘苗壮苗培育方法,包括如下步骤:将育苗基质填充到穴盘内,向穴盘中播种西瓜种子,置于温室内培育;施加育苗肥;所述育苗肥包括元素N、P、K,中量元素Mg、S,微量元素Fe、Mn、Zn、Cu、B、Mo;幼苗继续培养至三叶一心期,即得。向西瓜幼苗喷施生长延缓剂可进一步提高西瓜幼苗质量。本发明通过喷施生长延缓剂和施用育苗肥,可获得质量较好的壮苗。西瓜幼苗茎粗>3cm,叶面积>40cm2,根表面积>31cm2,壮苗指数Z1>10,Z4>12。
华中农业大学 2021-04-11
变形翼肋及其使用方法
本发明提出了一种变形翼肋及其使用方法,该变形翼肋包括:一号肋板和二号肋板,致动开关一号肋板的外侧面设置刚性蒙皮;至少一个中间肋板,第一个中间肋板的背面和一号肋板的正面之间、最后一个中间肋板的正面和二号肋板的背面之间、相邻中间肋板之间均通过多稳态自锁转动关节连接;所有中间肋板共用一柔性蒙皮,致动开关柔性蒙皮的一端与二号肋板连接,致动开关柔性蒙皮的另一端由一号肋板和第一个中间肋板形成的间隙中延伸至的一号肋板,并与蒙皮驱动器连接。本发明实现了翼肋形态的多自由度变化。
上海理工大学 2021-01-12
一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法,包括如下步骤:(1)在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜;(2)对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀,包括多个刻蚀阶段,每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内,通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成,随着刻蚀深度的增加,各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题,在提高刻蚀效率的同时,提高了对光刻胶的选择比,刻蚀槽侧壁垂直度高,粗糙度小,刻蚀深度大。
华中科技大学 2021-04-14
西北农林科技大学资源环境学院郭学涛教授团队在微塑料老化降解方面取得新进展
近日,资源环境学院郭学涛教授团队在环境领域著名学术期刊《Environmental Science&Technology》上发表题为“Dissolved Organic Matter Promotes the Aging Process of Polystyrene Microplastics under Dark and Ultraviolet Light Conditions:The Crucial Role of Reactive Oxygen Species”的研究论文,博士生仇欣然为该论文的第一作者,郭学涛教授为该论文通讯作者。
西北农林科技大学 2022-10-13
四川省科学技术厅等9部门关于印发《四川省职务科技成果单列管理操作指引(试行)》的通知
为促进科研单位成果转化,建立区别于一般国有资产管理模式、符合科技成果转化规律的职务科技成果管理制度,根据《中华人民共和国促进科技成果转化法》、财政部《政府会计准则第4号—无形资产》《四川省促进科技成果转化条例》《四川省行政事业性国有资产管理办法》、科技厅等10部门《关于全面深化职务科技成果权属制度改革的实施方案》等,结合我省实际,制定本指引。
四川省科学技术厅 2024-12-26
专家报告荟萃⑰ | 中国农科院作物科学研究所重大平台中心副主任张丽娜:科学仪器应用验证评价的探索与实践
国家网络管理平台数据显示,全国高校和科研院所50万元(含)以上大型科学仪器中国产仪器占有率不足25%。
高等教育博览会 2025-07-01
第五届教创赛同期活动预告:教师教学能力提升系列交流活动之二 新时代拔尖创新人才自主培养的思考与实践学术活动
践行强国育人使命 培育时代创新英才
高等教育博览会 2025-07-30
教创赛专家报告荟萃② | 复旦大学高等教育研究所教授副所长陆一:形具而神生——大学通识课程教学质量的关键所在
只有真正促进学生精神气质的转变,使本科教育面貌焕然一新并形成新的传统,才能说通识教育产生了效果。
高等教育博览会 2025-09-26
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