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精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置及其温控方法
本发明公开了一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置,包括增压泵;初级热交换器,其浸液入口与增压泵出口连通,浸液在其中进行热交换,实现浸液温度的初级调控;次级热交换器,其浸液入口与初级热交换器浸液出口连通,浸液在其中进行再次热交换,实现浸液温度的次级调控;流量伺服阀,其入口与初级热交换器浸液出口连通,与次级热交换器形成并联,用于调节进入次级热交换器的浸液流量。通过协调控制进入初级热交换器和次级热交换器的冷媒流量,并结合流量伺服阀对进入次级热交换器的浸液流量的调节,可实现对浸液温度的两级调控,从而获得温
华中科技大学 2021-04-14
一种考虑环境温度的重型机床热误差预测方法
本发明公开了一种考虑环境温度的重型机床热变形预测方法, 具体为:预测机床内部热源引起的机床热变形量,以及预测机床外部热源引起的机床热变形量,将机床内、外部热源引起的机床热变形量 叠加得到机床最终热变形量。在机床外部热源引起的机床热变形量预 测中考虑了环境温度引起的时滞热变形误差,在内部热源引起的机床 热变形量预测中进行了基于最小二乘原理的多元回归建模。本发明综 合了反映重型机床受环境温度非线性滞后影响和内热源影响的共同作 用效果,能够实现任意环境条件和加工条件下的热变形误差实时有效 预测。
华中科技大学 2021-04-14
一种气体温度、湿度及VOC浓度调节装置及方法
本发明提供气体浓度调节装置和气体浓度调节装置及方法,包括恒温水浴槽(5)、气体混合箱(6)及控制模块;气体混合箱(6)设置在所述恒温水浴槽(5)内;在恒温水浴槽(5)内设有加热器;在气体混合箱(6)内设有湿度传感器、温度传感器以及VOC浓度传感器;在气体混合箱(6)上设有进气孔、加湿循环孔、VOC浓度循环孔以及输出混合后气体的导出管(7);进气孔连接除湿装置(2),加湿循环孔连接加湿装置(3),VOC浓度循环孔连接加VOC装置(4);除湿装置(2)通过气泵与导入管(1)连接。本发明的气体温度、湿度及
东南大学 2021-04-14
低温空间温度场数据可视化与模拟分析系统项目
项目简介 “低温空间温度场数据可视化与模拟分析系统”项目由泰州市沪江特种设备有限公 司委托开展。运用空间温度在线监测和计算机数据处理及可视化技术,实时分析空间的 温度场变化,实现空间温度场的优化,达到节能运行的目的。 系统根据空间需要,布置多层、多处测点,依靠传感器及相关仪表,通过 485 通信 方式实现本地数据与计算机之间的传输。自主研发的数据采集与处理程序实时监测空间 各处的温度分布,并以三维彩色视图显示,可直观观测空间的温度场的动态变化特征, 指
江苏大学 2021-04-14
PZT-JL03型压电陶瓷居里点温度测试仪
产品详细介绍PZT-JL03型压电陶瓷居里点温度测试仪背景简介:    压电陶瓷的居里温度是指压电材料从铁电相转变成顺电相的相变温度,对于所有的压电陶瓷产品来说,压电材料都具有一个临界温度Tc即居里温度,在临界温度以下压电陶瓷表现出铁电相,此时压电陶瓷处于极化有序状态,温度超过临界温度Tc,压电陶瓷则由铁电相转变为顺电相,此时压电陶瓷内部电偶极距杂乱无章,处于极化无序状态,也就是我们常说的发生了退极化现象。温度小于260K以下,压电陶瓷的铁电性能也会随着温度的降低而逐渐减弱。一、产品介绍:  PZT-JL03型压电陶瓷居里点温度测试仪是一款针对压电陶瓷居里点温度测试测的设备,该设备可以直接测试出样品的居里点变化曲线及变化温度点,对于判断样品的居里点温度简单而实用。仪器可以电脑设置电脑温度段,充分判断不同样品不同的温度点变化。二、主要技术参数:高温度:1200℃控温精度:±1℃显示:数字显示加热区:独立的加热区电源:220V接口:USB接口测试方式:软件控制
北京圆通科技地学仪器研究所 2021-08-23
环氧树脂纳米复合材料用多功能碳纳米管的制备方法
本发明所涉及的环氧树脂纳米复合材料用多功能碳纳米管,适用于所有高性能复合 材料领域。由于本发明所涉及的碳纳米管具有增强、分散、界面粘结、固化等多种功能, 由其制得的碳纳米管/环氧树脂复合材料具有碳纳米管本身的高强度、高模量、良好的 韧性、低密度、导电等优点,可广泛应用于各种先进材料领域,市场前景十分可观。该 多功能碳纳米管是固态材料,储存和运输十分方便;并且本身具有了良好的分散性和界 面粘结性能,操作工艺简单,相对降低了生产成本。因而,本发明为高性能纳米复合材 料的工业化生产提供了新的途径
同济大学 2021-04-11
以聚丙烯腈微纳米球制备多壁碳纳米管
碳纳米管作为一种一维有序的纳米碳质结构和功能材料,具有比强度高、导热系数高、电导率高、表面活性高和耐化学腐蚀等特点,可在吸附、储能、储气、纳米器件、催化剂载体、高性能结构和功能复合材料等方面具有潜在的和广泛的应用前景。多壁碳纳米管作为复合材料添加剂,可以有效改善复合材料的强度等性能,其制备成本又远低于单壁碳纳米管,可望得到更为广泛的应用,这种广泛程度取决于对其在规模化、低成本、高纯度制备技术上的进一步突破。 本技术是一种以聚丙烯腈微纳米球制备高纯度多壁碳纳米管的方法,其目的在于克服现有技术如电弧放电法和激光蒸发法的下列弊端;制备过程所需能量高,成本居高不下;化学气相沉积法需要添加金属催化剂,制备的碳纳米管纯度不高,含有无定型碳和催化剂颗粒;聚合物纺丝法得到的碳纳米管纯度和收率低。采用本技术制备碳纳米管,具有不需金属催化剂、纯度高、无需纯化、分散性好和可大规模生产的特点,显著优于从核壳结构高分子微纳米球胶囊出发纺丝制备碳纳米管的方法。 技术指标:多壁碳纳米管直径为15~100纳米且可控,管壁20~40层且可控,长径比大于100且可控,纯度大于 99%。
上海理工大学 2021-04-11
纳米石墨烯-碳纳米管-离子液体复合膜及其制备与应用
本发明公开了一种纳米石墨烯-碳纳米管-离子液体复合膜及其制 备与应用,该纳米石墨烯-碳纳米管-离子液体复合膜的厚度为 4000nm 至 6000nm,该纳米石墨烯-碳纳米管-离子液体复合膜由多个石墨烯片 层相互叠加形成,相邻的两个所述石墨烯片层之间的间距为 20nm~ 50nm;相邻的两个所述石墨烯片层之间均分散有碳纳米管和离子液 体。本发明所述的复合膜比表面积高,并且该复合膜具有良好的电化 学活性,可广泛应用于纳米
华中科技大学 2021-01-12
有层次结构的纳米立方体和纳米铁花状结构的制备方法
一种有层次结构的纳米铁立方体和纳米铁花状结构的制备方法,具体作法是:取不锈钢片和钛片、不锈钢片和钛片的面积比为2.5∶1,依次用400,600,800目砂纸抛光,清洗3-5次;超声30分钟,取出备用;配置含450g/L的FeCl2,抗环血酸1.4g/L,氟化铵0.8g/L,复合氨基酸0.7g/L,柠檬酸0.086g/L,0.05mol/L盐酸的电镀液;以处理后的钛片做阴极,不锈钢片做阳极,进行0.1A的恒电流电镀,电镀时间为3-60s;电镀完后取出钛片,即获得纳米铁立方体或纳米铁花状结构。该方法制得的纳米铁为立方体及花状结构,比表面积大,活性好,且设备简单,能耗低,适合大规模生产。
西南交通大学 2016-10-20
基于PCB线圈的磁耦合谐振式无线输电系统
该成果采用PCB线圈组成的磁耦合谐振式无线电能传输系统可实现中短距离无线供电,该系统的创新在于采用PCB线圈替代传统的线绕线圈,铜线绕制的线圈容易变形而引起参数变化,对系统完全保持一致的谐振频率增加了难度而PCB 板生产出来的线圈参数几乎能完全保持一致,因此有利于保持系统的谐振频率一致。
电子科技大学 2021-04-10
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