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一种基于 PID 反馈的预失真修正方法及 LED 结温温度测量方法
本发明公开了一种基于 PID 反馈的预失真方法，所述方法包括分别对采集的功率放大器输出信号中正半部分幅值、负半部分幅值和直流分量进行提取进而分别进行 PID 反馈修正，使功率放大器输出信号随时间的变化而能保持稳定。此外，在功率放大器输出稳定前提下，将基于磁纳米粒子的非接触式测温的方法应用在大功率LED灯结温温度测量。本发明基于 PID 反馈的预失真修正方法是对功率放大器的放大倍数进行实时调节，使功率放大器输出信号的正
华中科技大学
2021-04-14
一种多路液体温度调节装置及温度控制方法
一种多路液体温度调节装置及其温度控制方法，属于液体温度 调节装置及其温度控制方法，解决现有光刻机浸没液温度调节控制装 置只具有一路输出的温度控制能力以及不能协同调节远端、近端供水 温度的问题。本发明的温度调节装置，包括纯水供应部分、注液部分 和控制系统，纯水供应部分放置于远端的纯水设备内，注液部分放置 于光刻机内部；纯水供应部分和注液部分之间通过远传管路连接；控 制系统分别采集纯水温度传感器、供水温度传感器、第一～第三温度 传感器的温度值；并对第 1～第 3 加热器的加热电压进行控制，同时 对冷却水
华中科技大学
2021-01-12
一种多路液体温度调节装置及温度控制方法
一种多路液体温度调节装置及其温度控制方法，属于液体温度调节装置及其温度控制方法，解决现有光刻机浸没液温度调节控制装置只具有一路输出的温度控制能力以及不能协同调节远端、近端供水温度的问题。本发明的温度调节装置，包括纯水供应部分、注液部分和控制系统，纯水供应部分放置于远端的纯水设备内，注液部分放置于光刻机内部；纯水供应部分和注液部分之间通过远传管路连接；控制系统分别采集纯水温度传感器、供水温度传感器、第一～第三温度传感器的温度值；并对第 1～第 3 加热器的加热电压进行控制，同时对冷却水流量伺服阀的驱动
华中科技大学
2021-04-14
超精密温度控制装置
针对极紫外光刻机物镜的温管和温控技术难题，设计和开发了针对极紫外光刻机的具有自主知识产权的超精密温控装置，目前已应用在半导体制造业及光刻机生产厂商、高档数控行业和民用航天上，涉及企事业单位共30余家。研制了不同控温精度和控温功率的系列产品，采用主动温度控制方法，解决了单点温度控制稳定性和多通道温度控制均匀性的问题；设计了具有功能模块化的温控层次结构，解决了超精密温控中系统内外的扰动和时滞问题，控温速度快；研制了大功率串联半导体制冷模块，结合模糊PID控制算法，提高了收敛速度、控制精度和抗扰动能力。项
电子科技大学
2021-04-14
13007数字温度计
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
自记温度计
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
地面温度表
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
干湿球温度计
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
03020温度表支架
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
13023干湿温度计
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23