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一种多路液体温度调节装置及温度控制方法
一种多路液体温度调节装置及其温度控制方法，属于液体温度 调节装置及其温度控制方法，解决现有光刻机浸没液温度调节控制装 置只具有一路输出的温度控制能力以及不能协同调节远端、近端供水 温度的问题。本发明的温度调节装置，包括纯水供应部分、注液部分 和控制系统，纯水供应部分放置于远端的纯水设备内，注液部分放置 于光刻机内部；纯水供应部分和注液部分之间通过远传管路连接；控 制系统分别采集纯水温度传感器、供水温度传感器、第一～第三温度 传感器的温度值；并对第 1～第 3 加热器的加热电压进行控制，同时 对冷却水
华中科技大学
2021-01-12
一种多路液体温度调节装置及温度控制方法
一种多路液体温度调节装置及其温度控制方法，属于液体温度调节装置及其温度控制方法，解决现有光刻机浸没液温度调节控制装置只具有一路输出的温度控制能力以及不能协同调节远端、近端供水温度的问题。本发明的温度调节装置，包括纯水供应部分、注液部分和控制系统，纯水供应部分放置于远端的纯水设备内，注液部分放置于光刻机内部；纯水供应部分和注液部分之间通过远传管路连接；控制系统分别采集纯水温度传感器、供水温度传感器、第一～第三温度传感器的温度值；并对第 1～第 3 加热器的加热电压进行控制，同时对冷却水流量伺服阀的驱动
华中科技大学
2021-04-14
一种溶体磁纺丝装置及使用该装置制备微纳米纤维的方法
该发明公开了一种熔体磁纺丝装置及利用该装置制备微纳米纤维的方法，该装置包括可控制给料速率可加热的给料装置，纺丝喷头，喷头驱动机构和纺丝接收装置，接收装置为水平圆盘，与无刷电机联动，表面有多个竖直支柱，一个为永磁铁。该设备以磁场力代替电场力，整个过程无需高压电作用，有效降低生产成本和安全隐患，同时可批量连续生产微纳米纤维，且制得的纤维排布有序，产量高适合大规模生产，所得纤维有很好的应用前景
青岛大学
2021-04-13
一种基于磁纳米粒子交流磁化率虚部的成像方法
本发明公开一种磁纳米粒子浓度成像方法，其主要创新在于采用交流磁化率的虚部来进行浓度成像，有效提高磁纳米粒子成像的空间分辨率。对磁纳米粒子施加交流磁场和直流梯度磁场，检测出一次谐波幅值和相位。利用幅值差和相位差或直接利用磁化强度变化量计算出磁纳米粒子交流磁化率的实部和虚部。通过控制直流梯度磁场的零磁场点位置，求解出不同空间位置的磁纳米粒子交流磁化率的实部和虚部，进而利用交流磁化率的虚部实现磁纳米浓度成像。从仿真数
华中科技大学
2021-04-14
一种基于磁纳米粒子一次谐波幅值的成像方法
本发明公开了一种基于磁纳米粒子一次谐波幅值的成像方法。采用交流磁化强度一次谐波幅值实现磁纳米浓度成像，只需在一个方向施加高频正弦磁场并在不同方向提供扫描磁场便可实现一维、二维以及三维空间的扫描；用低频三角波扫描磁场或低频正弦波扫描磁场控制空间区域零磁场点的位置，求解出不同空间位置的磁纳米粒子的一次谐波幅值，最终实现磁纳米浓度成像，从而避免了通过改变直流电源的大小来移动零磁场点扫描空间，有效提高了磁纳米粒子成像的
华中科技大学
2021-04-14
超精密温度控制装置
针对极紫外光刻机物镜的温管和温控技术难题，设计和开发了针对极紫外光刻机的具有自主知识产权的超精密温控装置，目前已应用在半导体制造业及光刻机生产厂商、高档数控行业和民用航天上，涉及企事业单位共30余家。研制了不同控温精度和控温功率的系列产品，采用主动温度控制方法，解决了单点温度控制稳定性和多通道温度控制均匀性的问题；设计了具有功能模块化的温控层次结构，解决了超精密温控中系统内外的扰动和时滞问题，控温速度快；研制了大功率串联半导体制冷模块，结合模糊PID控制算法，提高了收敛速度、控制精度和抗扰动能力。项
电子科技大学
2021-04-14
自记温度计
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
地面温度表
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
干湿球温度计
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
03020温度表支架
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23