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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点，在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说，靶材是至关重要的，它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一，较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移，从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材，其性能不能满足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技术原理与工艺流程简介： 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下：温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
应用领域：
集成电路、电子元器件
合作方式及条件：具体面议
天津大学
2021-04-11
2023年辽宁省科技成果转化和技术转移奖励性后补助计划拟立项项目公示
根据《辽宁省科技计划项目管理办法》《辽宁省技术创新引导专项计划项目与资金管理办法（暂行）》《辽宁省科技成果转化和技术转移奖励性后补助实施细则》等有关规定，经有关单位申报、初审推荐、复审核查、专家评审论证和省科技厅党组会审定等程序，现将2023年辽宁省科技成果转化和技术转移奖励性后补助计划拟立项项目公示如下
成果转化与奖励处
2023-06-21
关于公示2022年度第二批重点研发和成果转化计划拟立项目的通知
根据《内蒙古自治区科技厅关于发布2022年自治区重点研发和成果转化计划（科技支撑黄河流域生态保护和高质量发展）项目申报指南的通知》（内科发规字〔2021〕14号）、《内蒙古自自治区科技厅关于发布2022年自治区重点研发和成果转化计划（科技支撑东北振兴）项目申报指南的通知》（内科发规字〔2021〕15号）、《内蒙古自治区科技计划项目管理办法》（内科发〔2022〕4号），现将2022年度第二批自治区重点研发和成果转化计划拟立项目承担单位予以公示，公示时间为6月8日至6月14日。
内蒙古自治区科学技术厅
2022-06-09
交通运输部关于印发《交通运输部促进科技成果转化办法》的通知
现将《交通运输部促进科技成果转化办法》印发给你们，请遵照执行，并结合本单位实际，制（修）定相关管理政策，报部备案。
交通运输部
2022-05-30
关于组织申报2022年度宁夏回族自治区重大科技成果转化项目的通知
为加速科技成果向现实生产力转化，推动高质量发展，根据自治区党委和人民政府《关于实施科技强区行动提升区域创新能力的若干意见》（宁党发〔2022〕4号）精神和《宁夏回族自治区重大科技成果转化项目管理办法》（宁科规发〔2022〕6号）要求，现就组织申报2022年度自治区重大科技成果转化项目有关事项通知如下。
宁夏科技厅
2022-05-09
教育部：近五年，高校农业技术转移转化创造经济效益710亿元以上
7月26日，在教育部召开的“介绍党的十八大以来直属高校定点帮扶工作成效”新闻发布会上，教育部科学技术与信息化司司长雷朝滋介绍了高等学校乡村振兴科技创新行动计划实施进展的有关情况。
教育部
2022-07-28
化工学院曹景沛课题组在生物质温和加氢转化领域取得系列进展
课题组结合水热法和浸渍法，成功制备了具有大比表面积、大平均孔径和更多外孔的双功能金属/酸Ru/SHZSM-5-100（Ru/SHZ5-100）催化剂。制备的Ru/SHZ5-100催化剂在更加温和的条件下对木质素衍生的二苯醚表现出最佳的加氢脱氧性能。
中国矿业大学
2022-06-01
青海省人民政府办公厅关于印发促进科技成果转化若干措施（暂行）的通知
本措施自2023年11月8日起施行。
青海日报
2023-10-18
江苏省政府办公厅关于印发江苏省专利转化运用专项行动实施方案的通知
到2025年，江苏基本建成资源配置效率高、要素市场活力强、配套服务供给足、利益共享机制优的专利转化运用体系，高校和科研机构专利产业化率显著提升，全省涉及专利的技术合同成交额达800亿元，备案认定的专利密集型产品年产值超过1000亿元，专利密集型产业增加值占GDP的比重达17%，为着力打造具有全球影响力的产业科技创新中心提供重要支撑。
江苏省人民政府办公厅
2024-02-21
怀进鹏：推动高校和企业“双向奔赴”，促进高校科研成果高水平创造、高效率转化
必须深入实施科教兴国战略、人才强国战略、创新驱动发展战略，统筹推进教育科技人才体制机制一体改革，健全新型举国体制，提升国家创新体系整体效能。”为了深入学习领会党的二十届三中全会精神，人民日报记者采访了教育部党组书记、部长怀进鹏。
人民日报
2024-08-08