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半导体辅材用多晶硅中碳、氮杂质的分离去除技术
伴随着我国半导体行业的迅速崛起，硅电极作为光刻设备上承载硅基圆的重要辅材，其需求日趋增加。同时，基圆尺寸的不断增加使得硅电极逐渐由单晶硅电极转变为多晶硅电极，然而多晶硅制备过程中不可避免存在C、N杂质的污染，导致其基体中存在大量弥散分布的SiC、Si3N4硬质颗粒夹杂，严重影响了多晶硅电极的使用性能。
传统制备技术下，设备热场结构单一，熔体流动性差，导致SiC、Si3N4杂质循环溶解—析出，难以有效分离。本项目团队前期利用电子束精炼技术去除硅中的蒸发性杂质（P、 O、N）；利用电子束诱导实现多晶硅的定向凝固，进而分离硅中的金属杂质；基于电子束冷床效应分离硅中的SiC、Si3N4硬质颗粒，并揭示硬质颗粒与硅基体间的位相关系；基于上述研究开发出了多晶硅电极的制备工艺，可应用于刻蚀等半导体制造等领域。
本项目预期可以为半导体行业中硅电极生产制造企业提供稳定的技术支持，具有很好的生产示范性，实现高新技术产业化。该技术能够有效地降低生产过程中的能耗，是一种低成本、环境友好的生产方法，属于节能、环保的绿色制造技术。该技术的大规模应用和推广，可大幅增加就业岗位，提高企业的市场竞争力，保护环境。
大连理工大学
2021-05-10
先导中心8 寸平台上制造绝缘体上张应变锗（TSGOI）晶圆
已有样品/n实现了工艺过程中对Ge的诱导应变微调，使Ge的带隙改变为0.7eV。以此类Ge衬底制备的PMOS器件实现了506cm2V-1s-1的高空穴迁移率。
中国科学院大学
2021-01-12
锡纳米晶为模板合成具有带隙可调的锡锗合金纳米材料
通过精细调控Ge2+离子前驱体溶液与已制备的锡纳米颗粒反应，合成带隙可调的半导体锡锗合金纳米晶（0.51 eV至0.71 eV）。使用的锡纳米晶模板可以大大降低反应的成核、结晶和生长的反应能垒。与以前报道的反应温度（约300 ℃）相比，课题组的方法可以在较低的温度下（60-180 ℃）得到锡锗合金纳米晶。课题组深入阐明了从锡到锡锗合金纳米晶的相变机理，清晰揭示了从不均匀核壳结构到均匀合金结构的演变过程。
南方科技大学
2021-04-13
多晶硅生产冷氢化工艺加热合成反应关键技术装备
实现多晶硅生产冷氢化工艺过程工程化的关键加热系统装置；降低成本40%，减少能耗2/3。8000小时以上无故障稳定运行加热合成反应器关键技术。
常州大学
2021-04-14
基于氧化锌纳米棒的随机激光器
本实用新型涉及一种基于氧化锌纳米棒的随机激光器，属于随机激光器领域。该随机激光器包括泵浦激光器、反射镜、柱透镜；还包括基于氧化锌纳米棒的随机激光增益介质；所述随机激光增益介质由锌金属薄片、微米级锌金属结构、氧化锌纳米棒、聚甲基丙烯酸甲酯薄膜和若丹明6G组成。本实用新型所述随机激光增益介质是在锌金属薄片表面直接生长氧化锌纳米棒，获得基于氧化锌纳米棒的随机激光增益介质；用锌金属薄片表面均匀分散的纳米级的氧化锌纳米棒提供散射和光反馈，从而随机激光器获得激光输出；其输出的激光光谱采用光纤光谱仪探头进行探测。本实用新型其结构简单，具有成本低廉及环境友好的特点。
四川大学
2017-12-28
晶体材料国家重点实验室在钛基二维晶体材料应用方面取得新成果
山东大学晶体材料国家重点实验室陶绪堂教授团队通过自主设计的“微爆炸法”获得了无氧化MXene-Ti3C2Tx量子点，首次提出可将此类二维结构钛基晶体材料用于肿瘤治疗，并与刘宏教授团队合作发现其具有较强的类芬顿反应特性，在抗肿瘤实验中效果显著，从而实现了更高效、更安全的纳米催化治疗方式。相关结果以“Nonoxidized MXene Quantum Dots Prepared by Microexplosion Method for Cancer Catalytic Therapy”为题，发表在材料类权威期刊Advanced Functional Materials（IF=15.621）上，陶绪堂教授和刘宏教授为通讯作者，晶体所博士研究生李雪松和刘锋为共同第一作者，山东大学为独立完成单位。
对于肿瘤治疗，传统的化学、物理疗法都存在严重的副作用，限制了其在实际临床治疗中的应用。最近，基于特殊的肿瘤微环境，利用肿瘤内部催化反应的纳米催化治疗成为前沿且备受关注。其中，研究最为广泛的铁基纳米催化剂可特异性响应肿瘤的弱酸性细胞微环境，释放Fe2+并引发芬顿反应，产生•OH自由基以触发细胞凋亡，从而抑制肿瘤。然而，在弱酸性肿瘤环境中，Fe2+催化的芬顿反应速率较低，导致•OH自由基形成缓慢。此外，众多抗肿瘤复合纳米制剂的潜在毒性值得关注。因此，寻找更高催化活性和更安全的纳米制剂是人们一直追求的目标。晶体材料国家重点实验室陶绪堂教授团队与刘宏教授团队合作发现所制备的钛基无氧化MXene-Ti3C2Tx量子点具有较强的类芬顿反应特性，其对正常细胞和组织器官均表现良好的生物相容性，并对宫颈癌和乳腺癌均有强烈的杀伤能力，体现出优异的抗肿瘤效果。这种以钛基类芬顿反应为基础的肿瘤治疗方式潜力巨大，为实现肿瘤的高效、精准治疗提供了一条新的探索途径。
山东大学
2021-04-11
一种磷回收用陶粒及其制备方法
本发明涉及一种磷回收用陶粒及其制备方法,以地铁渣土50～80份、农作物秸秆0～30份、氧化镁15～30份和黏结剂羧基纤维素0～5份为原料制成坯料，经过以下步骤制得：(1)将农作物秸秆粉碎，将上述重量份数的原料进行研磨混合，然后按水固比1：0.3～0.5制成陶粒坯料；(2)将陶粒坯料干燥2～4h，然后在100～200°C下保温25～45min，再在300～500°C下烧结24～60min得到烧结物；(3)将上述烧结物进行冷却即得产品。本发明制备工艺简单，可实际操作性强，烧结温度低，无需养护，所需原料种
安徽建筑大学
2021-01-12
高效无磷洗涤助剂P型沸石的制备
一、项目简介为了保护环境，目前我国许多地方已经禁用或限用三聚磷酸钠作洗衣粉的助洗剂。为此无磷洗涤助剂一直是人们研究开发的热点，P型沸石是含磷洗涤助剂三聚磷酸钠一种优良替代产品，具有和4A沸石同等水平的钙吸附能力以及比它更高的镁吸附能力，因此P型沸石比4A沸石更适合做洗涤助剂。本项目以膨润土为原料，采用碱法活化方法，开辟一条具有自主知识产权的生产P型沸石新工艺，该工艺克服了在目前膨润土酸法深加工方面的不足，具有生产工艺简单、投资少、操作无污染、成本低等特点，产品性能高于4A沸石，有很强的市场竞争能力。本技术已经申报两项国家发明专利。二、产品质量指标沸石P的优点在于：①交换Ca2+速度快；②结合Ca2+的容量高；③具有高吸纳表面活性剂能力和良好的可加工性；④有良好的吸油性，对去油污垢有利；⑤对漂白剂稳定。本技术合成的P型洗涤用沸石综合性能性能 钙离子交换 ( mgCaCO3/g干P型沸石) 粒度 （%） 白度（W=Y） PH 值(1%溶液，25℃) 灼烧失量(800±10℃ ,3h) %≤10μm ≤4μmP型分子筛 320 ≥99 ≥94 95 10.35 16.42三、市场前景现在全国洗衣粉生产能力为230万t／a，普通洗衣粉含三聚磷酸钠约15％，如全部以P沸石代替，我国约需P沸石30万t／a左右。此外P沸石还在催化、水处理等领域有有着广泛的用途，可见我国P沸石生产发展潜力巨大。目前我国P沸石产量和生产能力几乎为零，需要大力推广生产。四、生产设备及投资高温炉（或高压反应釜装置）、水热合成陶瓷反应釜、板框过滤机、晶化反应釜、干燥设备器等。主设备投资约为70万元。五、效益分析1、以膨润土为原料生产1吨P型沸石分子筛，综合成本：1963.8+100+70+200+200=2533.8元/吨2、以高岭土为原料生产1吨P型沸石分子筛，综合成本：1090.8+100+70+200+200=1660.8元/吨六、合作方式面议。
河北工业大学
2021-04-13
低碳生活污水高效脱氮除磷技术
该技术 COD 消耗量节省 40%以上，有效解决了现阶段污水脱氮除磷中碳源不足的问题，可提高脱氮除磷效果，除磷效率接近 100%。该项技术，还可灵活应用到现有的污水处理工艺中，如连续流的 A2/O、或续批式 SBR 工艺等。该技术除了有效提高碳源利用率外，还可降低氧气消耗量 30%，减少污泥产量 50%。此工艺的最大特点是，利用反硝化聚磷菌生物学特性达到“一碳两用”的目的， 有效提高脱氮除磷效率。
扬州大学
2021-04-14
一种催化分解磷石膏的方法
本发明涉及一种催化分解磷石膏的方法。其技术方案是：按磷石膏和炭化稻壳的质量比为(20——1)︰1，将磷石膏和炭化稻壳混合均匀，制得混合料。再将所述的混合料放入管式炉中，在600——900℃条件下进行催化分解反应，反应时间为60——180min，反应得到的二氧化硫气体直接制硫酸，反应得到的固体产物为活性石灰、或为硅酸钙、或为活性石灰和硅酸钙。其中：所述磷石膏的粒度为0.175——0.043mm，磷石膏的CaSO4为70——95wt%；所述炭化稻壳的粒度为0.175——0.043mm，炭化稻壳中：C为10——80wt%，SiO2为19——89wt%。本发明不仅能有效降低反应温度、加快反应速度、减少能耗和降低生产成本，且能实现对固体产物成分的精确控制。
（注：本项目发布于2014年）
武汉科技大学
2021-01-12