一种可单面封装的双膜电容式压力传感器及制作方法
本发明涉及压力传感器技术领域,特指一种可单面封装的双膜电容式压力传感器及制作方法,包括玻璃衬底,玻璃衬底上设有小浅槽与大浅槽,小浅槽通过细槽连通于大浅槽,大浅槽上设有可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2,可测量低压差的电容C1包括底电极板与薄压力敏感膜,可测量高压差的电容C2包括厚压力敏感膜与顶电极板,小浅槽通过细槽与可测量低压差的电容C1对应设置,可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2对应设置。本发明采用变间距原理实现压力到电容的转换,可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2分别实现了低压段与高压段的高精度测量,不仅提高了压力测量精度,也提升了传感器的测量范围。
东南大学
2021-04-11