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维意真空多靶高真空磁控溅射镀膜机支持定制
MS-450高真空多靶磁控溅射镀膜机
真空腔室：直径450✕H400mm，1Cr18Ni9Ti优质不锈钢材质，氩弧焊接，前开门结构；
真空系统：机械泵+分子泵（进口和国产可选）；
极限真空：优于5✕10-5Pa（经烘烤除气后）；
真空抽速：大气～8✕10-4Pa≤30min；
升降基片台：2～6英寸基片台，靶基距60～120mm连续在线自动可调，旋转0～20r/min可调，可加热至500℃（可选水冷功能），可选配偏压清洗功能；
磁控靶：直径3英寸2～4只（可升级成直径4英寸靶2～3只），兼容直流和射频，可以溅射磁性材料的靶材；
溅射电源：直流脉冲溅射电源、全自动匹配的射频溅射电源可任选；
质量流量计：2～3路工艺气体，可根据工艺要求增加；
膜厚监控仪：可选配国产或进口单水冷探头膜厚仪；
控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空。
北京维意真空技术应用有限责任公司
2025-04-25
维意真空手套箱金属有机蒸发镀膜机支持定制
SEV-400手套箱金属有机蒸发镀膜机
真空腔室：采用立式方形结构，前门为水平滑开式，位于手套箱体内部，前开门便于蒸发材料和样片在保护环境下装卸，后开门便于真空室的清理维护（后门带锁紧装置在充气条件下保持腔室密闭与大气环境隔离），整机位于手套箱体下面，节约占地面积；
真空系统：国产分子泵作为主抽泵，真空极限高达2.0✕10-5Pa，另可选进口磁悬浮分子泵或是低温泵作为主抽泵，真空极限高达3.0✕10-6Pa；
真空抽速：大气～5✕10-4Pa≤30min（手套箱环境中）；
基片台：最大120mm基片/15～25mmITO/FTO玻璃25片，可定制一体化高精度刻蚀掩膜板，基片台公转，转速0～20r/min可调，衬底可选择加热（室温～300℃可调可控）或水冷，基片台可选升降，源基距最大350mm；
蒸发源及电源：4～6组欧美技术金属或有机束源炉蒸发源可选，多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜，功能强大，性能稳定；真空专业蒸发电源，恒流/恒功率控制，电流、功率可以预先设置，可实现一键启动和停止的自动控制功能；
膜厚监控仪：采用国产或进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；
控制方式：PLC+触摸屏控制系统，具备漏气自检与提示、通讯故障，实现一键抽停真空。
北京维意真空技术应用有限责任公司
2025-04-27
浙江省人民政府办公厅关于构建“企业出题、政府助题、平台答题、车间验题、市场评价”科技创新模式的实施意见
2025年9月1日起施行。
创新浙江
2025-09-01
《关于促进长三角科技创新协同发展的决定》9月1日起施行
以法治力量推动区域科技创新协同发展再添新样本。
云上高博会
2025-08-05
教创赛专家报告荟萃⑫ |清华大学基础工业训练中心主任杨建新：清华大学创新创业教育体系及iCenter的探索与实践
三位一体、三创融合、开放共享
高等教育博览会
2025-09-28
教创赛专家报告荟萃⑧ | 北京交通大学威海国际学院副院长肖贵平：异地校区中外合作办学教学质量保障的探索与思考
北京交通大学威海国际学院面对中美英三方学制差异，创新三方周例会制度、中外联合管理机制以及分类课程管理模式。
高等教育博览会
2025-09-28
教创赛专家报告荟萃⑥ | 西北工业大学国际合作处处长孔杰：互为镜像 同构创新——中外合作办学与境外合作办学的互动实践
中外合作办学与境外办学是服务教育强国建设的重要路径，两者相辅相成，共同服务于国家战略与高校发展。
高等教育博览会
2025-09-28
专家报告荟萃⑰ | 中国农科院作物科学研究所重大平台中心副主任张丽娜：科学仪器应用验证评价的探索与实践
国家网络管理平台数据显示，全国高校和科研院所50万元（含）以上大型科学仪器中国产仪器占有率不足25%。
高等教育博览会
2025-07-01
第五届教创赛同期活动预告：教师教学能力提升系列交流活动之二 新时代拔尖创新人才自主培养的思考与实践学术活动
践行强国育人使命 培育时代创新英才
高等教育博览会
2025-07-30
教创赛专家报告荟萃② | 复旦大学高等教育研究所教授副所长陆一：形具而神生——大学通识课程教学质量的关键所在
只有真正促进学生精神气质的转变，使本科教育面貌焕然一新并形成新的传统，才能说通识教育产生了效果。
高等教育博览会
2025-09-26