|
搜索
搜 索
高等教育领域数字化综合服务平台
高频辉光放电等离子体化学气相沉积（PECVD）装置
PECVD（plasma enhanced chemical vapor deposition）—等离子体化学气相沉积，在化学气相沉积领域具有很好的前景。利用等离子体中大量高能量的电子，提供化学气相沉积过程所需的激活能，相对于其它CVD方法具有显著降低CVD薄膜沉积的温度等优点。包括辉光放电等离子体发生电源、气体质量流量计、真空计、分子泵等多个组成单元。可以在不同气压和气体环境下进行PECVD。 技术特点: 1）自主研发的等离子体发生电源可输出较大范围内幅值、频率可调的放电电压信号；2）可实现100~105 Pa不同气压以及不同气体环境，且通过气体流量精确控制实现在任一气压值稳定气压状态。 3）专用设计的反映腔体结构和水冷放电电极结构，可长时间、稳定地生成PECVD用辉光放电等离子体。腔体内部包含多种可调性测量结构，可以对生成的等离子体和PECVD过程进行多种形式的监测。 4）该装置根据产品化标准进行了多重安全性和人机互动性专门设计，符合产品要求。
北京交通大学
2021-04-13
面向工业废气 VOCs 治理的低温等离子体发生装置
成果简介：面向工业废气 VOCs 治理的低温等离子体产生 装置是工业废气 VOCs 治理的关键装置，该装置能够产生破坏 VOCs 的高能电子、原子氧等活性粒子，对通过低温等离子体 产生装置中的工业废气 VOCs 进行有效分解，特别适合大流量 的工业废气 VOCs 的治理要求。面向工业废气 VOCs 治理的低 温等离子体产生装置包括低温等离子体发生器和高频高压电 源，其中的低温等离子体
合肥工业大学
2021-04-14
高性能等离子体金属表面强化技术及装备
项目简介 渗氮渗碳强是广泛需要的技术，等离子渗氮渗碳强化零部件表面，环保、高效等， 但渗层不均、打弧等。本项目发明了一种交互式双阴极等离子表面热处理装备，强化电场强度，
西华大学
2021-04-14
聚变等离子体中磁岛与湍流相互作用
项目简 介： 聚 变能源与化石能源相比对空气无任何污染，与 裂变能源比较不会产生较强的放射性污染。托克马克磁约聚变装置是使用磁场将高温等离子体约束在磁场空间内，实现热
西华大学
2021-04-14
非热等离子体协同催化净化室内空气技术
非热等离子体协同催化作为室内空气净化技术的核心，其原理是借助高压放电产生的氧化性粒子杀灭微生物，部分氧化降解有机污染物，并去除空气中的细颗粒物。催化剂则起到强化氧化性粒子与空气中污染物或部分氧化产物之间的作用，从而高效、彻底去除空气中的污染物，并实现放电副产物的催化净化。 根据应用场所的空气温、湿度和污染物特性，通过非热等离子体协同催化与吸附、过滤功能单元的有机组合，一方面可实现室内空气所含有机污染物（甲醛和苯系物等）、生物性污染物（细菌和真菌等）和细颗粒物的同步高效净化。另一方面，可确保净化处理的低造价、低运行费用、低运行噪声、无二次污染，便于维护和长使用寿命。基于该技术，既可构成独立式室内空气净化器，也可作为空调系统的一个单元，出现在净化型空调机组之中。 围绕本技术已申请专利4项，其中，授权1项。
北京航空航天大学
2021-04-13
挥发性有机气体处理新技术-等离子体除臭技术
等离子体被称为是除固、液、气三态以外的第 4 种物形态，它是由电子、离子、自由基和中性粒子组成的呈电中性的导电性流体，一般分为热等离子体（平衡等离子体）和低温等离子体（非平衡等离子体），低温等离子体技术在半导体工业、聚合物薄膜、材料防腐蚀、等离子体电子学、等离子体合成、等离子体冶金、等离子体煤化工、等离子体三废处理等领域被广泛应用，通常是采用加热或放电的手段产生. 自然界中等离体产生的方式主要包括：电晕放电、介质阻挡放电、火花放电、辉光放电、汤生放电和弧光放电。其中，电晕放电和介质阻挡放电在常温常压环境下就可操作，因而被广泛应用。
北京交通大学
2021-02-01
吸附－等离子体同步烟气脱硫脱硝回收硫酸技术(APDSNSR)
研究历程：“吸附－等离子体同步烟气脱硫脱硝回收硫酸技术(APDSNSR)”系在国家重点基础研究发展规划项目（973）和国家863计划项目基础上，经七年研究、开发，完成了烟气NOx/SOx 同步脱除及其回收硫酸的机理与方法研究、工程化技术基础和工业试验研究（连续48小时运行试验和累计运行600小时以上）。
东南大学
2021-04-10
大气压均匀放电低温等离子体织物处理系统
本项目针对目前纺织物表面处理中采用的湿法化学处理方法安全性、环保性、节能性差的缺点，采用大气压低温等离子表面处理技术，通过研究放电参数、处理结构及处理气体对纺织物表面改性影响的规律，获取最优改性处理条件，找到最适合取代化学处理方法的纺织物表面状态；通过研究在纺织物表面接枝不同的分子链，使其表面产生新的分子结构和新的功能，解决表面处理后老化效应等问题；通过开发智能化大气压下均匀放电低温等离子织物处理系统，提高等离子体大面积处理均匀性，自动调节等离子体处理功率，集处理、检测于一体，实现对纺织物表面处理的
南京工业大学
2021-01-12
吸附－低温等离子体SO2和NOx同步脱除方法
一种针对所有燃煤锅炉以及以含硫含氮物质作为燃料的锅炉的燃烧后尾气中二氧化硫和氮氧化物的净化处理装置及方法，尤其是一种吸附－低温等离子体SO2和NOx同步脱除装置及其方法。主要特点 本方法无需任何脱硫脱硝剂，生成产物是工业原料硫酸和可直接排入大气的无害N2，无废物排放，可资源再利用，提高整体的经济效益；较连续等离子体反应器节省电力约50％。本发明以低温等离子体技术为主，结合吸附催化剂，使SO2和NOx分别按照氧化反应和还原反应的途径同步进行脱除，具有设备简单、投资少、占地面积小、能耗小、无二次污染、运行周期长和广泛适用于各种型号锅炉烟气脱硫脱硝等优点。 图1是该装置的总体结构示意图。其中有烟气进气阀11；出气阀12、引风进气阀13、流量调节阀门14；低温等离子体反应器2；主烟气进气端21；引风端22；主流烟气出气端23；反应产物出口24；等离子体发生器25：高压脉冲电源3；能量切换装置4；空气压缩机5；浓硫酸池6；纤维除雾器7。
南京工程学院
2021-04-13
低温等离子体协同改性过滤膜油烟净化器
本发明涉及低温等离子体协同表面改性过滤膜净化饮食业油烟净化器。该装置包括 集气罩、排气管和风机，集气罩的工作面依次设有不锈钢网和过滤膜，其下边缘设有槽状的 集油槽箱；排气管上串联设有二级集油箱，其内设有一对以上相互平行的阳极板和阴极板， 阳极接线柱和阴极接线柱之间串联着高压脉冲等离子体发生器；二级集油箱底部一侧设有出 油口；排气管出口处设有风量调节阀。本发明的优点在于滤料和等离子体协同作用，对脱除 厨房烟气具有其独特优势，且结构简单、去除率高、维修方便，处理后气体无异味。该设备 不需要水洗，是一种干法净化厨房油烟的技术，不仅可用于宾馆、饭店、食堂的油烟净化， 也可应用于大型中央空调系统气体净化。
安徽理工大学
2021-04-13