一、项目简介 MEMS压力传感器是基于MEMS工艺，把被测压力作用下膜的形变通过一定的规律转换成电信号的一种测压装置，众多MEMS压力传感器中，直接输出频率量的谐振式MEMS压力传感器具有最高的测量精度。高精度谐振式MEMS压力传感器在航天航空领域具有极大的用途。在飞机上，为了获得飞行的高度、速度等大气数据，通常需要测量压力。同时其在卫星和火箭发动控制系统、大气和宇宙数据检测系统中也是迫切需要的传感器，在国内外都有相当大的市场，在我国军事领域，谐振式MEMS压力传感器因其性能优越亦逐步应用到航天、航空、装甲车、舰艇等各兵种装备中。 二、技术成熟度 谐振式MEMS压力传感器工作于闭环激励状态来维持谐振，谐振器是其核心部件，传感器整体精度的高低在很大程度上由谐振器的机械品质决定，受电路参数变化影响较小。其次，技术体系成熟的MEMS技术包括硅基表面加工技术与体硅加工技术使得核心元件的加工生产变的有序可控。本课题组开发的MEMS谐振式压力传感器精度已经达到0.02%FS，各项工艺技术成熟可靠。 三、投产条件和预期经济效益 MEMS传感器核心的投产需要超净实验室(100级，1000级和10000级)和先进齐全的硅微加工设备，包括从制版、光刻、扩散、镀膜、刻蚀到抛光、键合等各种工艺设备。还需配备各种薄膜质量检测设备，可以完成从薄膜制备到测试分析的一系列研究，同时需要具有SEM、TEM、XRD等大型设备，为MEMS相关项目研究的顺利开展提供充分的设备保障。在经济效应方面，其市场规模在2009年就达到了59.1亿元，其中，压力传感器占据市场份额的25%，目前国内同类传感器进口收到限制，较低端的传感器每只约2.0万元人民币，按照各行业每年平均所需，年产5000只压力传感器，可获年产值约1亿元人民币。

        技术成熟度：技术突破         针对船舶机械设备减振降噪需求，提出了结构振动信息作为性能指标的主动减振控制策略。解决了船舶复杂应用环境下，主动减振技术“减振不一定降噪”的难题。攻克超低频、高出力密度主动减振系统执行机构的分析方法和设计关键技术，研发了系列化的电磁式作动器和主被动复合减振器，应用于船舶主机、辅机和管路系统振动抑制。突破了现有主动执行机构低频作动能力的瓶颈，发明了准零刚度作动器，有效覆盖国外探测技术的频率下限，解决了新一代船舶对超低频线谱振动和水下辐射噪声控制的迫切需求。提出了稳定性高、收敛速度快、扩展性强的主动减振核心控制算法并形成工程应用软件。突破了参考输入线谱增强、多频振动均衡控制、控制输出饱和抑制等一系列核心关键技术，解决了主动减振技术实船应用的稳、快、准的难题。研发了首套兼具工作过程自监测、运行故障自诊断、控制效果自评估功能的集成化、模块化主动控制系统，实现了主动减振系统100%国产化。解决了船舶机械设备主动减振系统关键部件自主可控难题。         意向开展成果转化的前提条件：船舶机械设备减振降噪

一种固体折射率及布儒斯特角测定演示仪，其技术领域为一种物理测量和演示实验仪。该仪器上有一 套由2∶1的减速传动系统构成的光点同步跟踪装置，该装置有一个大轮，大轮的转轴通过支撑板和光具座 上的活动臂连络，并让它们可一起绕光具座的转轴转动，在光具座转轴上固定有一个小轮，大轮和小轮之 间通过皮带或齿轮进行传动，有益效果为使测定固体的折射率及布儒斯特角的实验变得十分方便。

探究课题：研究风力对机翼的作用

环形钢带在运转时，将润滑油带至可调倾板与钢带上平面之间，倾板与钢带之间可调间隙与倾角，在倾板上纵横向分别装有若干玻璃管，用以观察纵向与横向油膜压力。 主要技术参数如下： ①玻璃管数量：纵向7个，横向21个； ②输送带宽度100mm，厚度0.15mm； ③直流减速电机：功率70W，转速3000rpm，减速比4； ④电源:220V； ⑤输送带转速:0~750rpm; ⑥气源压力：0.3~0.6MPa ⑦外形尺寸：550㎜x 500㎜x 500mm； ⑧重量：50kg。

Armfield S8MKII沉淀流动演示仪，沉积物输送演示通道能够演示随着流量和/或坡度增加而出现在移动床中的各种床型。   该通道可用于执行通常在更大的实验室水槽中进行的大多数实验和演示，但成本要低得多，并且不需要技术人员的支持。   该设备是便携式的，因此可以在教室和实验室中使用。这个示范水槽可以在任何关于明渠流动和泥沙输送力学的课程中发挥有用的作用，包括土木工程、地质和自然地理系的课程。 该装置由安装在框架上的可倾斜通道、排放罐和循环泵组成。为了开始演示，沙子沿着河床均匀地放置在入口水箱和溢流堰之间。水以三种可选择的流速之一在系统周围循环。通道坡度通过精密的螺旋千斤顶进行调整，该千斤顶上附有一个精确的坡度指示器。通道两侧是透明的，以便可以观察到床层剖面的变化，一侧的一部分带有图形网格标记，以允许对床型动态进行定量评估。   提供一个水位计来测量通道排放堰上方的水头，以从用户生成的校准图表中推断出流速。 提供了桥墩和下射堰的实体模型，以演示对人造结构河床的冲刷效果。   固定、平滑的床流 水槽可以在没有沉积物的情况下使用，以证明以下流动现象和控制方程： 平静的亚临界流动 - 逆流向上游的表面波运动 快速、超临界流动 - 惯性对重力的支配，流动障碍物产生的“冲击波” 水跃——从超临界流过渡到亚临界流、加气、混合 湍流——流动可视化，例如通过皮下注射器（未提供）注射染料 流量测量 - 使用尖顶堰 明渠流动的控制方程 – 雷诺数、弗劳德数、连续性、伯努利方程、堰方程   流过移动沙床： 与增加的流动强度和泥沙输移速率相关的床型序列。表现出以下床型（随着流量和/或坡度增加）： 下层制度： 平面床（无运动） 涟漪 涟漪和沙丘 沙丘 被冲刷的沙丘 上层制度： 平面床身（带运动） 驻波 反沙丘 打破反沙丘 滑槽和水池   泥沙输运力学： 从没有运动的平面开始，可以观察谷物的运动，重点是： 启动运动 初始运动轨迹 滚动和滑动运动（接触载荷） 跳跃运动（盐渍负荷） 沉积特征和相： 可以观察沉积物负荷的沉积，并可以识别砂体内产生的颗粒模式（例如交错层理、森林层等）。可以讨论在地质记录中发现这些特征时的重要性。   局部冲刷： 在下部和上部流域床型下都观察到流中沸腾和涡流下的冲刷。可以引入人工障碍物来代表桥墩、护岸、窗台或其他人造结构，并检查由此产生的冲刷模式。包括两个这样的模型。   流程结构： 可以使用染料注入（不包括染料注入器）检查流动中的湍流结构。这对于沙丘床型配置特别有趣，并且清楚地展示了背风面上的分离。   床型滞后： 如果水槽中的流量变化很快，床型就没有足够的时间来适应新的流态。因此，如果通过增加然后减少流量来模拟洪水过程线，则上升和下降分支上的相同流量将出现不同的深度（阶段）。这种效应对于沙床河流上的测量站非常重要。它在水槽中很容易清晰地展示出来。   计算工作： 除了说明流动和沉积现象外，水槽还可用于以下方面的基本数据收集和数值评估： 流阻： 曼宁、切齐和达西 各种床型配置的 Weisbach 摩擦系数   启动运动： Hjulstrom 曲线 – 盾牌图   流过固定的砾石地： 水槽不能输送砾石，但可用于研究砾石和圩田河床的流动阻力。流阻系数可以使用方程（例如 Bray、Limerinos、Hey、Lacey、Thompson & Campbell 和 Bathurst 的方程）计算，并将结果与通过观察获得的实际值进行比较。建议用户从当地来源获取实际的砾石材料（砾石并非由 Armfield 提供）。  

产品详细介绍      隧道风机振动 安全第一   世界上不断发展的基础设施给工程和建筑行业带来了许多技术挑战. 人们经常提到英吉力海底隧道, 波士顿隧道, 香港南湾隧道等这些壮举,因为它们为今天的高速公路和快速运输系统提供了地下,水下或者是横穿山脉的 可能性.   市郊火车驶离地下隧道   尽管地下隧道是基础设施的一种很特殊的形式, 但它们也带来了一系列特有的环境问题. 在现今世界, 隧道会被使用汽油的引擎排放的 COx 和使用柴油的引擎排放的 NOx 所污染.   这些被释放的有毒气体必须从隧道中排掉, 然后换入新鲜空气. 通过换气可以让使用隧道的人们保持身体健康, 即使在紧急情况下也可以保证安全.     通风   用新鲜空气排掉有毒气体需要使用隧道喷气式排风扇. 这些排风扇为隧道提供纵向通风, 也是新鲜空气的主要来源. 隧道喷气式排风扇提供高冲击力的新鲜气流进入并且通过隧道. 它们通常是成列间隔地被安装在隧道顶端或侧墙上. 风扇的数量是由隧道的长度和设计而定.    一对隧道喷气式排风扇在隧道有火警的情况下, 隧道内的轴向排气扇能垂直地排掉烟雾. 这些非常大的轴向排气扇安装在垂直轴上面, 在紧急状况下被用来强迫通风. 通常在隧道的顶端还装有一系列的节气闸, 纵向的喷气式排气扇能帮助空气流通到轴向的通风风扇.这个组合能迅速地   连接技术中心  监视隧道排气扇的振动  消除隧道的烟雾, 使紧急救援人员能够采取 必要的救援行动.   过程监测   隧道排气扇的重要功能是提供环境安全的空气,这就要求它们必须能够每天24小时100% 正常工作.监测排气扇的振动值可以确保它们工作顺畅,不会发生意外的故障. 隧道控制中心对振动值采取画趋势图,安装警告等措施, 所用的信号是来自振动传感器和发射器的4- 20毫安回路电流. 典型的 4-20毫安回路电源电路运用工业电路常用的电路设计表示排气扇可以用隧道所带的PLC或DCS控制系统进行监测.这使操作人员的日常工作例如画趋势图检测排气扇振动值变得简单.  排气扇的振动监测可以通过两种方式来实现.   1. 通用型振动传感器. 例如 AC102 系列, 可以安装在排气扇上然后连接到发射器. 还有 VX系列, 过滤并将振动信号转换成4-20毫安.这种组合可以提供过程控制, 允许动态振动值的分析.   2. 双输出回路电源的振动传感器.例如AC400系列, 可以安装在排气扇上. 这种双输出的传感器会过滤振动值, 并转换成4-20毫安信号以便过程控制和动 态振动值的分析.         AC102系列带发射器的振动传感器        振动传感器的安装   每个排气扇所需的振动传感器的数量取决于排气扇的设计和所要求的监测等级。安全的安装方式是必须的，而且要花时间确保安装正确。 永久型安装有好几种方式.   1. 孔口平面螺栓安装 2. 粘着剂垫安装 3. Zerk 连接头 4. 侧翼安装振动传感器发射器或  两者集合 4-20  毫安 ^v^v^v  PLC 或 DCSLP400 系列双输出的振动 传感器  A 针 = 4 - 2 0 毫 安 B 针 = 零 线 C 针 = 动 态 振 动 值     安装在隧道排气扇电机上的 水平方向振动传感器   电缆   电缆管理也是隧道排气扇关注的问题之一。 从传感器到发射器，或者双输出型的振动传感器直接到控制室，在这过程中牵涉到大量的气流量和很长的距离。这就要求对电缆的保护给与精心的考虑。有时还需要进行转孔或使用传导管以保护电缆。转孔让电缆通过良好的电缆管理可以保证电缆的可靠性，了解电缆的布局。所有的电缆都应该贴上标签，表明所连接的传感器。       连接完成    接线箱   振动传感器的输出信号通过接线箱采集后传给 PLC 或 DCS 进行处理。如果你使用的是 LP400 系列的振动传感器，SB142 或 SB242 系列的接线箱可以帮助你管理双输出信号。                 如果有报警产生，振动分析师可以测量动态振动值，分析其频率并且确定问题根源。   总结  监测隧道排气扇的振动值是非常关键的, 它可 以保证提供可靠的新鲜空气来源, 维护健康和 安全， 双输出的 接线箱   SB142  ( 光缆 )  SB242 ( 不锈钢 )                             AC102 或 AC104 振动传感器 VX100 或 VT100  信号发射器 和 VE100 壳体 PLC /DCS 过程控制振动分析仪 动态振动值振动分析仪动态振动值 过程控制 SB142 或  SB242 系列的双输出 开关箱LP400 系列 双输出 回路电源 振动传感器PLC / DCS。 公司名称：上海维逸机电设备有限公司 公司地址：上海市闸北区大统路988号A座1509 公司网址：http://www.novachn.com/ 联系电话：021-61434131 联系人：  朱小姐

本发明公开了一种基于谐振频率的硅微谐振式加速度计在线温度补偿方法，在零加速度情况下标定出两谐振梁谐振频率平方和与其谐振频率差的单调变化关系曲线，然后在输入加速度情况下对两谐振梁谐振频率和谐振频率差进行测量，结合先前获得的关系曲线将温度引起的谐振频率差从测量得到的谐振频率差中减去，完成温度补偿工作。本发明提供的硅微谐振式加速度计温度补偿方法，克服了传统直接温度补偿方法中温度场分布的不确定性和热传导延迟给补偿结果带来较大偏差的缺陷，能够实现实时的、高精度的温度补偿。本发明方法的温度补偿成本低，该方案全部基于FPGA实现，不需要额外增加传感器和引入其它设备，仅利用已有电路器件即可实现。

研发生产的半球谐振微陀螺、圆盘多环微陀螺等10多款高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微惯性传感器，达到惯性级，在微小卫星、微航天器等场合极具应用潜力。与传统的微陀螺相比，该陀螺无运动部件，抗冲击性更好；同时该陀螺可以采用角速度检测和角速度积分检测两种工作模式，极大的提升了其应用场合与范围。