一、项目简介 MEMS压力传感器是基于MEMS工艺，把被测压力作用下膜的形变通过一定的规律转换成电信号的一种测压装置，众多MEMS压力传感器中，直接输出频率量的谐振式MEMS压力传感器具有最高的测量精度。高精度谐振式MEMS压力传感器在航天航空领域具有极大的用途。在飞机上，为了获得飞行的高度、速度等大气数据，通常需要测量压力。同时其在卫星和火箭发动控制系统、大气和宇宙数据检测系统中也是迫切需要的传感器，在国内外都有相当大的市场，在我国军事领域，谐振式MEMS压力传感器因其性能优越亦逐步应用到航天、航空、装甲车、舰艇等各兵种装备中。 二、技术成熟度 谐振式MEMS压力传感器工作于闭环激励状态来维持谐振，谐振器是其核心部件，传感器整体精度的高低在很大程度上由谐振器的机械品质决定，受电路参数变化影响较小。其次，技术体系成熟的MEMS技术包括硅基表面加工技术与体硅加工技术使得核心元件的加工生产变的有序可控。本课题组开发的MEMS谐振式压力传感器精度已经达到0.02%FS，各项工艺技术成熟可靠。 三、投产条件和预期经济效益 MEMS传感器核心的投产需要超净实验室(100级，1000级和10000级)和先进齐全的硅微加工设备，包括从制版、光刻、扩散、镀膜、刻蚀到抛光、键合等各种工艺设备。还需配备各种薄膜质量检测设备，可以完成从薄膜制备到测试分析的一系列研究，同时需要具有SEM、TEM、XRD等大型设备，为MEMS相关项目研究的顺利开展提供充分的设备保障。在经济效应方面，其市场规模在2009年就达到了59.1亿元，其中，压力传感器占据市场份额的25%，目前国内同类传感器进口收到限制，较低端的传感器每只约2.0万元人民币，按照各行业每年平均所需，年产5000只压力传感器，可获年产值约1亿元人民币。

本发明公开了一种基于谐振频率的硅微谐振式加速度计在线温度补偿方法，在零加速度情况下标定出两谐振梁谐振频率平方和与其谐振频率差的单调变化关系曲线，然后在输入加速度情况下对两谐振梁谐振频率和谐振频率差进行测量，结合先前获得的关系曲线将温度引起的谐振频率差从测量得到的谐振频率差中减去，完成温度补偿工作。本发明提供的硅微谐振式加速度计温度补偿方法，克服了传统直接温度补偿方法中温度场分布的不确定性和热传导延迟给补偿结果带来较大偏差的缺陷，能够实现实时的、高精度的温度补偿。本发明方法的温度补偿成本低，该方案全部基于FPGA实现，不需要额外增加传感器和引入其它设备，仅利用已有电路器件即可实现。

产品详细介绍      隧道风机振动 安全第一   世界上不断发展的基础设施给工程和建筑行业带来了许多技术挑战. 人们经常提到英吉力海底隧道, 波士顿隧道, 香港南湾隧道等这些壮举,因为它们为今天的高速公路和快速运输系统提供了地下,水下或者是横穿山脉的 可能性.   市郊火车驶离地下隧道   尽管地下隧道是基础设施的一种很特殊的形式, 但它们也带来了一系列特有的环境问题. 在现今世界, 隧道会被使用汽油的引擎排放的 COx 和使用柴油的引擎排放的 NOx 所污染.   这些被释放的有毒气体必须从隧道中排掉, 然后换入新鲜空气. 通过换气可以让使用隧道的人们保持身体健康, 即使在紧急情况下也可以保证安全.     通风   用新鲜空气排掉有毒气体需要使用隧道喷气式排风扇. 这些排风扇为隧道提供纵向通风, 也是新鲜空气的主要来源. 隧道喷气式排风扇提供高冲击力的新鲜气流进入并且通过隧道. 它们通常是成列间隔地被安装在隧道顶端或侧墙上. 风扇的数量是由隧道的长度和设计而定.    一对隧道喷气式排风扇在隧道有火警的情况下, 隧道内的轴向排气扇能垂直地排掉烟雾. 这些非常大的轴向排气扇安装在垂直轴上面, 在紧急状况下被用来强迫通风. 通常在隧道的顶端还装有一系列的节气闸, 纵向的喷气式排气扇能帮助空气流通到轴向的通风风扇.这个组合能迅速地   连接技术中心  监视隧道排气扇的振动  消除隧道的烟雾, 使紧急救援人员能够采取 必要的救援行动.   过程监测   隧道排气扇的重要功能是提供环境安全的空气,这就要求它们必须能够每天24小时100% 正常工作.监测排气扇的振动值可以确保它们工作顺畅,不会发生意外的故障. 隧道控制中心对振动值采取画趋势图,安装警告等措施, 所用的信号是来自振动传感器和发射器的4- 20毫安回路电流. 典型的 4-20毫安回路电源电路运用工业电路常用的电路设计表示排气扇可以用隧道所带的PLC或DCS控制系统进行监测.这使操作人员的日常工作例如画趋势图检测排气扇振动值变得简单.  排气扇的振动监测可以通过两种方式来实现.   1. 通用型振动传感器. 例如 AC102 系列, 可以安装在排气扇上然后连接到发射器. 还有 VX系列, 过滤并将振动信号转换成4-20毫安.这种组合可以提供过程控制, 允许动态振动值的分析.   2. 双输出回路电源的振动传感器.例如AC400系列, 可以安装在排气扇上. 这种双输出的传感器会过滤振动值, 并转换成4-20毫安信号以便过程控制和动 态振动值的分析.         AC102系列带发射器的振动传感器        振动传感器的安装   每个排气扇所需的振动传感器的数量取决于排气扇的设计和所要求的监测等级。安全的安装方式是必须的，而且要花时间确保安装正确。 永久型安装有好几种方式.   1. 孔口平面螺栓安装 2. 粘着剂垫安装 3. Zerk 连接头 4. 侧翼安装振动传感器发射器或  两者集合 4-20  毫安 ^v^v^v  PLC 或 DCSLP400 系列双输出的振动 传感器  A 针 = 4 - 2 0 毫 安 B 针 = 零 线 C 针 = 动 态 振 动 值     安装在隧道排气扇电机上的 水平方向振动传感器   电缆   电缆管理也是隧道排气扇关注的问题之一。 从传感器到发射器，或者双输出型的振动传感器直接到控制室，在这过程中牵涉到大量的气流量和很长的距离。这就要求对电缆的保护给与精心的考虑。有时还需要进行转孔或使用传导管以保护电缆。转孔让电缆通过良好的电缆管理可以保证电缆的可靠性，了解电缆的布局。所有的电缆都应该贴上标签，表明所连接的传感器。       连接完成    接线箱   振动传感器的输出信号通过接线箱采集后传给 PLC 或 DCS 进行处理。如果你使用的是 LP400 系列的振动传感器，SB142 或 SB242 系列的接线箱可以帮助你管理双输出信号。                 如果有报警产生，振动分析师可以测量动态振动值，分析其频率并且确定问题根源。   总结  监测隧道排气扇的振动值是非常关键的, 它可 以保证提供可靠的新鲜空气来源, 维护健康和 安全， 双输出的 接线箱   SB142  ( 光缆 )  SB242 ( 不锈钢 )                             AC102 或 AC104 振动传感器 VX100 或 VT100  信号发射器 和 VE100 壳体 PLC /DCS 过程控制振动分析仪 动态振动值振动分析仪动态振动值 过程控制 SB142 或  SB242 系列的双输出 开关箱LP400 系列 双输出 回路电源 振动传感器PLC / DCS。 公司名称：上海维逸机电设备有限公司 公司地址：上海市闸北区大统路988号A座1509 公司网址：http://www.novachn.com/ 联系电话：021-61434131 联系人：  朱小姐

"本发明公开了一种四线电阻式触摸屏工作原理演示实验仪,包括带显示屏的电脑，四线电阻式触摸屏和USB控制卡，四线电阻式触摸屏通过USB控制卡与电脑连接后，可以控制电脑显示屏上的箭头指针；本发明还包括模拟触摸屏工作原理的装置，该装置包括设置在固定底座上的两个可变电阻装置，两个可变电阻装置的两端通过导线对应接入USB控制卡接口中，USB控制卡另一端接入电脑后，也可以控制电脑显示屏上的箭头指针。本发明还公开了所述实验仪的演示方法。利用本实验仪来进行四线电阻式触摸屏的工作原理的学习，对于学生来说更为直观、更易理解，可以使学生更清晰明了地理解四线电阻式触摸屏的工作原理及四线电阻式触摸屏中ITO的作用。 "

XM-D021A微电脑人体心动周期与大、小循环演示仪 （170cm）   XM-D021A微电脑人体心动周期与大、小循环演示仪模型（170cm）为成人女性，材质后部采用增强塑料，前部为PVC塑料，动静脉采用红、蓝发光二极管，底座后方有220V电源插座，前上方有全身血液循环、体循环、肺循环、复位四个演示按钮。   一、显示内容： ■ 全身血液循环：血液由左心室流向升主动脉→主动脉弓→降主动脉→主动脉胸段→主动脉腹段→在通过主动脉各段时沿途分布于头颈部、胸、腹、盆腔部、上肢部、下肢部→通过各节静脉→汇合至上、下腔静脉→右心房→右心室→肺动脉→气体交换由肺静脉→左心房→最后到左心室，以上过程结束后会自动重复演示，直到按复位键结束。 ■ 体循环：按此键后，模型上即出现全身血液循环中除肺循环以外的循环流动过程。 ■ 肺循环：按此键后，模型上即出现全身血液循环中除体循环以外的循环流动过程。   二、技术参数： ■ 尺寸：高170cm ■ 材质：PVC材料+木框   三、标准配置： ■ XM-D021A微电脑人体心动周期与大、小循环演示仪模型：1台 ■ 电源线：1根 ■ 说明书：1册 ■ 保修卡合格证：1张

一、成果简介 麦棉两熟栽培是稳棉增粮、解决粮棉争地矛盾的有效途径，麦后直播棉以其省工、简化、利于机械化播种等优点越来越受到人们的重视。本项目选用早熟性短季棉品种，通过精量机播、合理密植和系统化控三项技术的集成，实现免定苗、免整枝，并塑造适宜机采的株型和群体结构，同时配合脱叶催熟技术的应用实现棉花机械化收获。 本项目筛选出适合长江流域的短季棉品种3个，确定了该区适合机械采收的种植密度，建立

研发生产的半球谐振微陀螺、圆盘多环微陀螺等10多款高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微惯性传感器，达到惯性级，在微小卫星、微航天器等场合极具应用潜力。与传统的微陀螺相比，该陀螺无运动部件，抗冲击性更好；同时该陀螺可以采用角速度检测和角速度积分检测两种工作模式，极大的提升了其应用场合与范围。

本发明公开了谐振变换器的闭环启动方法；谐振变换器包括依 次串联连接的桥式电路、谐振电路、变压器、整流电路、滤波电路； 以及输入检测电路、驱动电路、峰值检测电路、输出检测电路和数字 处理器。输入检测电路连接于谐振变换装置输入端，检测输入电压并 送入数字处理器；驱动电路连接于数字处理器，将 PWM 信号转为驱 动电平以驱动桥式电路；峰值检测电路连接于谐振电路，检测谐振电 流峰值并送入数字处理器；输出检测电路检测输出电压和输出电流， 并送入数字处理器。本发明通过峰值检测电路检测谐振电流峰值，实 现容易；在

针对我国在军事、工业等领域对高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微惯性传感器日益迫切的需求，上海交通大学自2001年起就开展基于MEMS技术的微惯性传感器的研究，已成功研制十余款传感器样机，在研的半球谐振微陀螺、圆盘多环微陀螺等预期体积小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，有望达到惯性级，在微小卫星、微航天器等场合极具应用潜力。与传统的微陀螺相比，该陀螺无运动部件，抗冲击性更好；同时该陀螺可以采用角速度检测和角速度积分检测两种工作模式，极大的提升了其应用场合与范围，特别适合在高G环境下进行空间位置测量、导航与姿态控制等。此外，其在消费电子市场以及汽车市场也拥有这巨大的应用空间，如手机、游戏机等手持电子设备的姿态控制系统，照相机、摄像机的稳定电子平台，汽车的防翻车预警系统等。。相关研究内容作为重要组成部分曾获省部级及以上奖励多次，授权发明专利几十余项，微陀螺方面的专利国内第一，国际第二，发表SCI/EI等论文几十篇。