本发明公开了一种超薄芯片的制备方法，具体为：首先在硅晶圆表面光刻形成掩膜以暴露出需要减薄的区域，再采用刻蚀工艺对硅晶圆进行局部减薄，对减薄后的区域进行芯片后续工艺处理得到芯片，最后将芯片与硅晶圆分离。本发明只是部分减薄了硅片，所以硅晶圆的机械强度仍然可以支持硅片进行后续的加工工艺，相对于传统的利用支撑基底来减薄芯片的方法，简化了工艺流程，降低了工艺成本。另外由于不需要用机械研磨工艺来进行减薄，所以不会因为机械研磨对硅晶圆造成的轻微震动而使厚度不能减得过小，通过本发明可以使芯片减薄到比机械研磨方法更薄的程度。

成果与项目的背景及主要用途： RFID是射频识别技术的英文(Radio FrequencyIdentification)的缩写，射频识别技术是 20 世纪 90 年代开始兴起的一种自动识别技术，射频识别技术是一项利用射频信号通过空间耦合(交变磁场或电磁场)实现无接触信息传递并通过所传递的信息达到识别目的的技术。RFID 系统通过射频信号自动识别目标对象并获取相关数据，识别工作无须人工干预。作为条形码的无线版本，RFID 技术具有条形码所不具备的防水、防磁、耐高温、使用寿命长、读取距离大、标签上数据可以加密、存储数据容量更大、存储信息更改自如等优点，已经被世界公认为本世纪十大重要技术之一，在生产、零售、物流、交通等各个行业等各个行业有着广阔的应用前景。 本项目主要研发了基于 ISO18000-6B 协议的无源电子标签芯片，其可用于物流，货品识别，高速公路收费等诸多领域，是目前国内外射频电路研究领域的热点。 技术原理与工艺流程简介：UHF 频段的无源电子标签工作原理如下：通过标签上外置的偶极子天线接收读卡器发送的载波信号，并将其转换为直流信号，为整个芯片供电；同时片上的解调模块解调出经调制的载波信号所携带的数据信息，并传递给片上的基带部分加以处理；基带部分连同 EEPROM 部分一起完成数据的读写和控制功能，再由调制模块以反向发射的形式将上行信号返回给读卡器完成一次通信。 本设计的工艺流程是基于 Chartered 0.35um EEPROM 数字工艺，从芯片设计、仿真、版图验证。最终通过代工厂完成芯片制作。技术水平及专利与获奖情况：根据测试结构表明，各项指标都达到了商用需求，在国内属领先水平。该项成果已获得国家知识产权局颁发的集成电路布图登记证书。BS.06500285.7 应用前景分析及效益预测：目前国内的 UHF 频段的 RFID 产品正处于高速成长期，需求量快速增长，但大多数核心技术需要依赖进口。如果本项目能够实现技术转产，可以预计的前景和经济效益是相当可观的。有了自主知识产权的 UHF频段电子标签，在很多领域都可以加以移植，取代进口产品不但可以大大节省开支，同时也可以实现产品的自我定制及更新，最大程度的方便了国内用户的应用。 应用领域：货品跟踪和识别（代替条形码）、高速移动物体的识别、防伪认证以及电子支付等领域都会有广泛的应用。 技术转化条件（包括：原料、设备、厂房面积的要求及投资规模）：四十平方米以上的办公用房，电脑、工作站若干，相应软件。也可以和 RFID天线制造单位，卡片封装单位共同合作，将成果转产。 合作方式及条件：面谈。

管腔类手术器械清洗架，涉及医疗辅助器械领域，包括车架、格栅、主水管、分水管和对接管，所述主水管竖直设置并与所述车架固定连接，所述车架内安装有多层格栅；每层所述格栅下固定连接有所述分水管，所述分水管呈T字或十字型且中部与所述主水管连通；每层所述分水管左右两侧分别竖直连接有多个对接管，所述对接管底端设置有增压滤头，所述增压滤头沉于所述分水管内部，所述对接管的进水孔设置于所述增压滤头表面；不仅能够批量高压清洗官腔类手术器械，并能避免水流内杂质/气泡堵塞管腔器械，保证水流冲击清洗力。

石油化工类

目前，国内外用于临床上使用的血氧仪只能检测指端或耳垂部位容血的血氧饱和度，或者专门用于监测心外手术体外循环系统管道中血液的血氧饱和度，不能检测脑部的血氧饱和度，检测部位受到限制。 南开大学研发的“脑血氧饱和度检测仪”，在检测探头中设置有可发出两种不同波长的发光二极管，并安装有两个光接收元件(两只硅光电池)，得到的检测数据一路是带有浅层组织的信息，另一路不仅带有浅层组织信息也带有脑组织的血氧信息，此两数据相减，便可得到只含有脑血氧的信息。仪器由探头、同步放大器、A/D转换器、单片机系统

XM-605A头解剖附脑动脉模型   XM-605A头解剖附脑动脉模型可拆分为10部件，显示颅内的脑结构，包括颅底、大脑半球、间脑、小脑、脑干、中脑、脑桥、延髓各个部分以及脑神经和脑血管等结构。 尺寸：自然大 材质：PVC材料

XM-608脑连续额状切面模型   XM-608脑连续额状切面模型共7片，每片厚度约1.2cm，模型通过脑干正中（红核及内夹）作额状切面，示其断面结构；通过乳头体作一额状切面，示其切面结构；通过前连合作一额状切面，示其断面结构；通过胼胝体膝部作一额状切面，示其切面结构；通过胼胝体压部作一额状切面，示其切面结构；小脑通过齿状核作一切面，示其切面结构，同时，还可以显示脑的外形，脑的沟回等结构。 尺寸：自然大，17×14×17cm 材质：玻璃钢

XM-614大脑分叶模型   XM-614大脑分叶模型可拆分为2部件，大脑作正中矢状切面，左侧大脑半球作水平切面，并剖开颞叶显示间脑，小脑作矢状剖面，按不同功能部位进行定位，并用颜色加以区别。 尺寸：自然大，21.5×17×14cm 材质：PVC材料