本发明公开了一种多探针平面度检测仪及其相应的检测方法，该检测仪包括测量探针阵列、测量物镜、干涉显微镜、CCD 成像装置、垂直扫描工作台和水平工作台，其中干涉显微镜和 CCD 成像装置设置在垂直扫描工作台上，分别用于形成光的干涉条纹和干涉条纹的成像；测量探针阵列包括多个探针，这些探针各自的前端具有探针针尖，后端具有平面反射镜；测量物镜固定安装在干涉显微镜下部并处于探针平面反射镜上方，用于对光线进行汇聚；水平工作台设置在测量探针阵列下方用于放置被测样品。按照本发明，能够实现多探针同时测量，充分利用光干涉的高精度特性并有效避免测量时被测表面材料光学性能的影响，相应能够实现结构简单、测量精度高和成本低的效果。

一、 成果主要特点两次应邀参加“院士专家山西行”，经过约3年深入研究、反复论证和实验，取得的科技创新高效益成果（己获专利授权），已开发初样（参阅后面照片）。具有井下在线自动校准功能，不需要人工调参数，能在井下在线连续可靠运行一年以上。具有湿敏自动校准功能。没有继电器和电位器之类触点器件，不会产生电火花。利润率高(>3:1 市场需求总潜力每年达十亿元以上。),无污染，不消耗油、气和煤之类燃料,不排出废气、废水或废渣。产值/能耗比高，1 kwh可产出万元以上（产品本身功耗<2W）。有切实可行防“盗版仿造”措施。批量生产之元器件分散性, 可由专用设备数字化自动纠偏, 实现自动归一化校准, 不需要人工调节电位器之类参数。优势很突出，甲烷在线检测行业更新换代产品。产品和设备体积小, 200 m2厂房即可批量生产, 劳动强度低,对生产人员技术水平要求不高。二、 应用说明国内很多企业生产甲烷检测仪或报警器，其产品主要有矿工帽型、便携式和“在线”式三种，只有“在线”式甲烷检测设备可随时向监控中心和井巷风速调控系统发送实时甲烷浓度信息。我国现用“在线”检测设备每10天左右需拆装/人工调参数一次。每次调参数，需将安装在井下的甲烷在线检测设备拆下，拿到地面在洁净空气和标准甲烷浓度两种条件下,人工调节多个电位器,再安装到井下。费时费事, 维护人员多，对安全生产不利。本专利成果可开发出系列产品，其基本产品简称为“JC365”，它能自动校准, 优势很突出。推广应用本成果具有重要意义和重大价值。可在我国各煤矿井下广泛应用，并可出口到国外含硫煤矿。三、效益分析我国煤矿很多, 绝大数煤矿含有硫化物, 它可侵蚀甲烷检测元件,现用产品需频繁人工调校参数, 即:现用产品需定期(例如每10天一次)将安装在井下的甲烷在线检测设备拆下, 拿到地面, 在洁净空气和标准甲烷浓度两种条件下,人工调节多个参数,调好后再安装到井下。这不仅费时费事, 劳动生产率低, 更严重的是不利于安全生产。 “JC365”是甲烷在线检测领域更新换代JC365”及其系列产品的市场潜力很大，每年达十亿元以上。积极恰当产销，年利润可达数亿元。产品，它不需要人工调参数，能在井下在线连续可靠运行一年以上，可大幅度提高劳动生产率和安全生产水平，而且产值/能耗比高（1 kwh可产出万元以上），利润率高(>3:1), 无污染，不消耗油、气和煤之类燃料, 不排出废气、废水或废渣,并研发了切实可行防“盗版仿造”技术措施。因此“四、产品性能本专利技术是精密电子和自动控制技术创新成果, 其相应产品“JC365” 主要性能如下:具有井下在线自动定期调整/校准功能，不需要人工调参数，能在井下在线连续可靠运行一年以上。检测范围: 0至4%甲烷浓度, 误差≤0.1%, 微处理器数据和运算分辨率为0.001% , LED数码显示分辨率为0.01% 。现场3位LED数码显示, 同时可200至1000Hz变频脉冲或1至5mA电流远程输出, 传送距离可达2000m。具有现场声光报警和预警功能, 并可远程发送报警和预警信号。具有湿度补偿功能, 能在相对湿度98%范围内正常工作。温风气工作环境: 0-40℃, 风速: 0-8m/S , 气压: 80-120kPa,O2 >12%,CO2 <5% 。供电: 9-24V, 耗电<2W。体积：< 205mm X180mm X65mm符合矿用隔爆要求。五、合作方式长期合作，互利双赢。希望合作企业观念先进、在煤矿有销售基础、有500万元左右资金、交通方便。企业支付入门费和按销售额提成。 

简介：本发明属于光谱测量技术领域，公开了一种菲涅尔双面镜干涉成像光谱仪。它包括光学结构、二维探测器和数据采集系统，所述的光学结构包括前置望远镜、入射狭缝和菲涅尔双面镜；所述菲涅尔双面镜包括平面反射镜M1和平面反射镜M2。本发明的成像光谱仪，在结构上，从入射狭缝到二维探测器之间仅有一个光学元件（菲涅尔双面镜），这使得仪器结构大为简化；另外，由于本发明在光路结构中采用菲涅尔双面镜，菲涅尔双面镜表面反射率高，入射光能损失低。

本实用新型涉及一种新型电离层垂测仪的模拟前端，包括连依次连接的限幅器、高通滤波器、低通 滤波器、低噪声放大器、混频器、中频放大器。天线开关控制天线接收信号，信号再经过限幅器，经过 限幅的信号分别经过 3MHz 的高通滤波器和 30MHz 的低通滤波器得到了所需要的信号范围，采用低噪 声放大器对滤波后的信号放大，采用混频器和中频放大器对放大的信号进行选择得到需要的中频输出。 本实用新型不仅克服了天线馈线造成的衰减，而且模拟前端系统的灵敏度高，电路设计简单，便于实现 功能，也减少了内部噪声的干扰。 

研发阶段/n项目简介：该检测仪是一种高技术含量的用于铸造炉前快速检测的智能化仪器。此检测仪采用了高性能的单片微机及监视跟踪技术，设计了功能完善的软件系统，并采用了简便的人机对话方式及有效的抗干扰措施。检测仪操作简便、测试功能多、性能稳定可靠、测试数据准确、性价比高。该仪器是集先进性、适用性、可靠性、经济性于一体的智能快速检测仪，适合于大、中、小型铸造厂（车间）现场使用。该项目技术水平国内领先。主要技术特点：1.现场抗干扰能力强，性能稳定可靠；2.操作极为简便；3.测试功能多，适用面广；4.性能/价格

本发明属于混凝土材料耐久性检测技术领域，具体涉及一种混凝土气体渗透系数环 形测试仪的设备及其测试方法。由盖板、外壳、流量计、密封圈、被测样品组成，盖板 位于外壳的顶部，被测样品位于外壳内，其外壁呈圆柱形，内部空心，横截面呈圆环状， 纵截面呈 U 字形，被测样品的顶、底部均设有密封垫，外壳一侧的进气口连接压缩气体 罐，盖板中心设有连接孔道，被测样品的内部空心部位通过该连接孔道连接流量仪。测 试时，将被测样品置于外壳内，开启压缩气体罐阀门，测试被测样品透气性能，保持被 测样品平衡时间为 10 分钟～20 分钟，每组被测样品重复 3～5 次，改变测试压力，重复 测试，测试透过被测样品的气体流量，求得被测样品渗透系数平均值，取 3～5 个被测 样品渗透系数平均值作为该组被测样品的测试值。本发明精确度高，试验的重演性好， 密封效果好，测试结果可靠，操作简便，设备小巧，便于携带。 

Ø  成果简介：多通道舵机系统测试仪是由工控机、特制A/D采集卡和信号发生器等组成。该测试仪具有同时测量8个系统的频率特性、阶跃响应和静特性等，并能作为记录仪对16个信号进行长时间的记录和分析。同时，测试仪还对脉宽调制系统进行测试和分析。测试仪输出方式灵活，可有多种选择,其关键技术是多系统同时测量及数据处理技术。 主要性能指标  a.静特性处理精度        

成果创新点 可用于医疗监测、运动状态评估、测谎仪等。 对皮肤电阻进行检测，可帮助了解自身的自主神经健 康状况，及时治疗。运动员可以通过皮肤电阻变异性检测 装置了解自身交感神经的活跃度，从而了解自身状况是否 适合运动、剧烈运动后是否得到充分休息。当人说谎时， 交感神经活跃度会不自主地提高，造成皮肤电阻下降，这 些数据可以在仪器上直观地呈现。 相对目前主流侵入性检测，本技术无需 24 小时动态

本发明提出这样一种阳极键合工艺方法：将 MEMS 陀螺仪器件层沉积到临时高分子衬底上，完成金属电极沉积和 MEMS 结构刻蚀之后，将临时高分子衬底用化学机械抛光的方法去除。去除之后，将玻璃基体和玻璃盖帽分别紧贴 MEMS 结构的两侧，加电加热后一次完成双面阳极键合。这种工艺方法与传统的两次阳极键合分两步进行相比，更加节省成本，而且避免了第二次阳极键合对第一次阳极键合强度削弱这个固有缺点，使得产品可靠性提高。