大型机械零部件的机器人自动制孔系统能够完成大型钛合金、铝合金、碳纤维复合材料及传统金属材料的自动钻孔、铰孔及锪孔等加工任务。该系统主要由工业机器人、视觉检测单元和制孔执行器三部分组成。目前已完成原理样机，技术性能已在飞机大型壁板的自动制孔中得到验证。 主要性能指标：1. 可加工孔直径范围为Φ3～Φ8mm，孔径公差H9级；2. 制孔效率为15个/h；3. 孔定位精度为±0.3mm，重复定位精度为±0.2mm；制孔执行器的重量约为45kg，安装方式灵活，具有同轴式、悬挂式以及侧面式三种安装方式。

该器由齿条板、固定臂、活动臂、摇柄把、活动档板、拨轮组成。固定臂和活动臂的侧面各有三只孔。四只活动档板可根据病人不同年龄、不同体重的需要在孔与孔之间调节距离。手术野暴露明显，四点撑开胸骨，不易使胸骨骨折，共有二套4个不同型号档板，钛合金制作。

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本发明公开了一种硅通孔结构的制造方法，包括以下步骤：将硅片的厚度减薄至 5 微米至 20 微米；去除硅片表面的所有绝缘层；在硅片的导电区表面和绝缘区表面制作掺杂掩膜，以对导电区和绝缘区分别进行粒子掺杂，绝缘区与导电区掺杂的粒子的极性相反；在粒子掺杂完成后去除掺杂掩膜；在导电区表面覆盖金属电极；在硅片的表面除金属电极之外的区域覆盖绝缘层。本发明的方法制造工艺简单，可避免刻蚀、绝缘处理等工艺对硅片的破坏，并能够提高制造硅通孔结构的成品率。本发明还公开了一种硅通孔结构。

型号： VMC330 产品特点： 1、整机各大铸件皆采用高级HT250铸铁铸造，均经过完全退火处理，消除残留内应力，久不变形。 2、导轨为台湾Hiwin上银直线导轨，采用完全支撑设计，确保切削稳定性、滑道精度及机械寿命。 3、三轴C3级精密滚珠丝杆,经中周波热处理及精密研磨，各轴施以预拉减少热变形，定位及重覆精度高。 4、所有机器出厂经雷尼绍激光干涉仪精确检测，确保三轴精度背隙,保证定位精度。 5、三轴均采用伺服驱动，传动平稳、精度高、扭力大。 6、三轴轨道以防尘防屑伸缩护罩包覆，保护轨道及滚珠螺杆免与切削水、残料进入造成磨损。 7、标配Xendoll 工业级数控系统，可选配其他数控系统。 8、主轴为BT30，传递切削扭矩大，配置8工位刀库，换刀时间短，换刀动作安全可靠，可极大提高复杂产品的加工效率及加工精度。 9、主轴电机采用2.2KW伺服主轴电机及驱动，功率大，主轴能定向换刀可刚性攻牙。 10、电子手轮三档可调极大地方便操作和对刀。 11、立柱内加平衡配重块，主轴上下运行平稳。 12、全封闭式的钣金护罩,确保工作区的清洁及工作安全。 13、配置间歇润滑系统，全防护结构及配置气动拉刀系统。 14、集成水箱及水泵系统，程序或手动控制加工冷却液的开关。 15、空压检测开关，在气压低于额定压力时报警，确保加工及换刀的安全。 16、加工残碴收集装置，清洁方便、简单；整机外观美观大方，结构紧凑。 17、可选配数控分度头（第四轴），加工更复杂的零件，数控分度精度零回差，定位精度达0.005mm。   适合行业： 工厂小零件批量生产加工、可连续24小时工作，可自动换8把刀、具备铣削、钻孔、攻牙等功能，可把机器搬到办公室，性价比超高，让中小企业、数控培训、科研单位用得起的设备。   技术参数   工作台尺寸   690mm*210mm   工作台最大承载   100KG   X轴行程   330mm   Y轴行程   220mm   Z轴行程   310mm   控制系统   Xendoll 工业级数控系统（可选配其他数控系统）   主轴电机类型   伺服主轴(可刚性攻丝)   主轴电机功率   2.2KW   主轴电机转速   100-6000转/分钟   主轴锥度   BT30   定位精度   0.02mm   重复定位   0.015mm   快速移动速度   10 m/min   X、Y、Z轴电机扭矩   2.4 N.m   X、Y、Z伺服电机功率   750W   自动换刀系统形式   气动换刀   换刀时间   5s   刀库数量   8工位   T型槽数量-宽-间距   3-16mm-63mm   主轴端面至工作台面   90-400mm   主轴中心至立柱导轨面   280 mm   输入电压   380V/50Hz   润滑系统   自动间歇润滑   使用气压Mpa   0.6Mpa   净重/毛重   900KG/1000KG   外型尺寸   1400mm*1650mm*1900mm   数控分度头(第四轴)   支持数控分度头（选配）   精度检测设备   采用雷尼绍激光干涉仪精确检测   随机配件： BT30刀柄1把、 BT30刀柄拉钉1个、锁头1个、铣刀1把、锁刀座1个、钩头扳手1个、快速平口钳1个、螺丝刀2把、T型螺母4个、外六角螺栓4个、平垫4个、双头扳手1把、防震垫铁4个、内六角扳手1套、说明书1套。（配置不同或有细微区别，以实际为准）   可选配件： 快速平口钳、组合压板、6件套进口硬质合金刀、7件套HSS键槽铣刀、Z轴对刀器、偏心式寻边器、BT30锁头套件、BT30锁刀座、0.6Mpa空压机、数控分度头（第四轴）等。（配置不同或有细微区别，以实际为准）

Ø  成果简介：具有对新型高硬超高强度钢、不锈钢、新型复合材料、钨合金、硅铝合金和灰铸铁的精密高效切削工艺和刀具成套技术。开发了能对FMS的刀具管理和可靠性寿命进行预报，对金刚石涂层刀具薄膜与基体结合强度、新型刀具材料切削性能进行分析的系统软件以及高速孔加工刀具CAD软件系统。切削高硬超高强钢的速度可达150m/min，切削不锈钢的速度可达200m/min，提高生产效率30%。Ø  项目来源：自行开发Ø  技术领

具有对新型高硬超高强度钢、不锈钢、新型复合材料、钨合金、硅铝合金和灰铸铁的精密高效切削工艺和刀具成套技术；开发有对FMS的刀具管理和可靠性寿命预报、金刚石涂层刀具薄膜与基体结合强度、新型刀具材料切削性能分析的系统软件；高速孔加工刀具CAD软件系统。切削高硬超高强钢的速度可达150m/min，切削不锈钢的速度可达200m/min。提高生产效率30%。

多自由度精密位移平台由压电马达驱动，包含传感器、驱动器和控制器等部件，是精密仪器运动控制系统的核心部分，也是精密加工设备、医疗设备、微电子制造检测设备、测量仪器、印刷设备、生物医疗设备、自动化生产线的关键组件。其压电马达具有高分辨率、小尺寸、低能耗等特点，其运动控制部分采用先进的EtherCAT（通用超高速以太网现场总线）方案，使系统不仅更简洁、更灵活，还具有更好的实时性。