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一种小型精密调平装置
本发明提供了一种小型精密调平装置，包括支撑平台，支撑平台螺纹联接主调整螺杆，主调整螺杆上端端部伸出且紧靠支撑平台上表面连接球铰支座，主调整螺杆下端伸出支撑平台下表面螺纹连接大锥齿轮，大锥齿轮与小锥齿轮相咬合，小锥齿轮的侧部通过驱动轴连接手轮，大锥齿轮的底部连接弹簧预紧组件，主调整螺杆下端端部螺纹副连接主锁紧组件。本发明能快速完成重载工况下的部件调平，同样适用于载荷不对称情况下的调平，且装置结构简单，小巧，调整方便灵活，可成组使用以便于较大平面的调平。
华中科技大学
2021-04-11
低噪声精密运算放大器
低噪声精密运算放大器是现代无线通信雷达电子对抗系系统的前端，在放大信号的同时抑制噪声干扰.提高系统灵敏度。船舶和电子信息等各大军工系统的重点型号中均有应用。
电子科技大学
2021-04-10
高档超精密磨床及LED划片装备
为满足光电通讯、光学、信息等产业中小口径非球面光学玻璃透镜模具产业化的需求，研制了小口径非球面光学玻璃透镜模具超精密数控复合机床,具备纳米级精度斜轴镜面纳米磨削、斜轴磁流变研抛、在线测量补偿加工等功能，为小口径非球面光学透镜模具的产业化制造提供可靠的装备支撑。分辨率10nm，主轴回转精度50nm；加工对象为微小非球面透镜及模具；加工口径10mm以下；加工面形状精度：PV小于300nm ，工件表面粗糙度小于Ra10nm。应用领域包括集成电路（IC）、发光二极管（LED）、光学光电、MEMS、NTC、塑封件（QFN、BGA）、电子陶瓷、通讯、医疗器械等，能切割硅晶圆、砷化镓、陶瓷、石英、PCB板、LED芯片、玻璃、铌酸锂、氧化铝、蓝宝石等。GUI交互界面。具备接触式测高及非接触式测高，刀痕检测，具有切割深度自动补偿，刀片破损补偿功能，能保证切割质量。
湖南大学
2021-04-11
一种超精密工作台
本发明公开了一种超精密工作台，它包括宏运动平台与微位移工作台，其中宏运动平台的导轨形式采用气浮导轨，微位移工作台与宏运动平台连接，并随宏运动平台一起沿 X 向、Y 向移动。微位移工作台中包含压电智能结构，其中该压电智能结构既能感知外界对其施加的力、位移等信号，又能主动地对外界施加力、位移等。此外，压电智能结构不仅可以用于超精密工作台的微位移工作台中，而且也可以制成类似弹簧-阻尼系统的俘能机构，应用在超精密工作台中。本发明可以广泛应用于超精密机床、超精密测量、微电子制造等领域。
华中科技大学
2021-01-12
一种精密主动减振装置
本发明提供了一种结构紧凑、集成度高的精密主动减振装置，它适用于需要进行微幅振动抑制的小质量精密加工（测量）设备。该装置主要包括既能感受振动又能对振动进行抑制的压电块结构、压电块提供垂向预压力的折叠弹簧以及提供垂向被动隔振的柔性铰链。其中，压电块可以采用垂直布置，也可以采用 45 度倾斜布置，采用倾斜布置的压电块结构可以同时测量和抑制水平向振动和垂向振动。另外，一种实现水平面隔振的减振装置可以提供 360 度水平面的振动隔离，其内部采用线切割加工出螺旋线形槽。水平面隔振减振装置与垂向精密主动减振装置结
华中科技大学
2021-01-12
一种超低频精密主动减振器
本发明提供了一种结构紧凑的超低频精密主动减振器，属于超精密减振领域。该超低频精密主动减振器由负刚度机构与空气弹簧并联组成被动减振单元，由洛伦兹直线作动器构成主动减振单元。负刚度机构是由片弹簧、铰链和刚性杆等组成的压杆结构。负刚度机构安装在空气弹簧的腔室内部，使减振器结构更加紧凑。正负刚度并联使得减振器具有大的承载力的同时具有极低的刚度，大大地降低了其固有频率。洛伦兹直线作动器用于提供主动阻尼，实现主动控制。本发明所提供的超低频精密主动减振器具有极低的固有频率，不仅对高频振动干扰具有良好的隔振效果，还
华中科技大学
2021-01-12
超精密电涡流位移传感器
成果创新点 1.温飘、分辨率、稳定性等指标具有国际领先水平； 2.温度自补偿技术、信号源漂移自矫正技术、噪声抑 制技术等是主要创新点。 技术成熟度 小试中试阶段 市场前景 可用在大型天文望远镜中作为边缘传感器；可以用在 精密车床、电子显微镜、原子力显微镜、共焦显微镜等中。 转化计划 预期转化方式：自主转化寻求投资，已于天使基金接 触。
中国科学技术大学
2021-04-14
超精密电涡流位移传感器
1.温飘、分辨率、稳定性等指标具有国际领先水平；
2.温度自补偿技术、信号源漂移自矫正技术、噪声抑制技术等是主要创新点。
中国科学技术大学
2023-05-16
高性能激光精密微加工装备
团队正积极布局研发工业级超短脉冲激光器，并已经突破了一系列关键技术，自主研发的全波段超短脉冲生成技术已处于国际领先水平，可提供覆盖“可见光-近红外-中红外”的超快激光器，多款产品已获得ISO9000质量体系认证以及欧盟CE安全资质认证。主要创新成果为掌握从锁模光开光、超快种子源、光纤放大、谐波产生（倍频）到最后组装工艺一整套完整的超快激光技术方案。目前，商业上的光开关器件大多采用基于半导
南京大学
2021-04-14
一种精密定位隔振平台
本发明公开了一种定位隔振平台，它包括定位隔振装置和主动控制器，两者之间通过电气连接，主动控制器对定位隔振装置进行位置控制和振动控制。定位隔振装置包括分布在正三角形顶点的三支撑腿及其共同支撑的一块负载平板。每一个支撑腿中有一个螺旋弹簧作为主要支撑部件。一个位移传感器布置在连接板下方检测连接板位移，负载平台对应支撑腿的位置安装有垂向速度传感器。主动控制器为主从开放式结构形式，由上位控制计算机和下位执行控制器组成，保证负载平台保持在设定位置，并有效的隔离地基振动对平台精度的影响。本发明可广泛应用于精密加工
华中科技大学
2021-04-14