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一种光刻机投影物镜波像差的测量方法
本发明公开了一种用于投影式光刻机成像系统的波像差检测方法，包括光刻机成像系统的快速正向模型建立，泽尼克系数灵敏度矩阵的解析求解，检测用掩模图形优化求解，基于单次光强测量的波像差求解。本发明方法通过解析求解无像差时的空间像光强值和泽尼克系数灵敏度矩阵，实现了基于单次离焦空间像光强测量的波像差检测。
华中科技大学
2021-04-14
一种适用于含能材料的搅拌混合机
本发明属于化工生产设备领域，其公开了一种适用于含能材料 的搅拌混合机，其包括驱动电机、行星式齿轮箱、混合釜及桨叶。所 述驱动电机连接于所述行星式齿轮箱的行星传动机构，其用于驱动所 述行星传动机构转动。所述行星式齿轮箱连接于所述混合釜，其还包 括连接于所述混合釜的箱体，所述行星传动机构的行星齿轮连接所述 桨叶，并带动所述桨叶同步转动。所述行星传动机构的齿轮满足所述 行星齿轮的自转公转比为 1。所述混合釜的内壁面为波浪形，且其内 壁面与垂直于所述混合釜中心轴方向的横截面的交线基本为六边形摆 线
华中科技大学
2021-04-14
一种土压平衡盾构机隧道掘进参数智能控制方法
本发明公开了一种土压平衡盾构机隧道掘进参数智能控制方法， 其特征在于：该方法包括如下步骤：S1：采集数据提取影响盾构机掘 进性能的因素节点，S2：构建影响盾构机掘进性能所述因素节点的拓 扑结构，获取各节点之间的模糊关联矩阵 Wij，S3：构建土压平衡盾 构机掘进模糊控制网络图，根据迭代推理公式动态演化计算各个因素 节点在 t+1 时刻上的状态值，S4：利用所述模糊控制网络图进行多阶 段决策分析，实现对土压平衡盾构机掘进参数的实时分析与纠偏控制。 本发明的方法，通过统筹采用专家先验知识、模糊逻辑、图论
华中科技大学
2021-04-14
一种适用于空调外机的螺帽装卸装置
本发明属于智能装卸领域，其公开了一种适用于空调外机的螺 帽装卸装置，其包括支撑组件、设置在所述支撑组件上的水平移动调 节组件、可移动的连接于所述水平移动调节组件上的螺帽装卸组件及 固定连接于所述螺帽装卸组件上的视觉识别组件。当所述螺帽装卸组 件到达螺帽安装位置附近，所述视觉识别组件对螺帽安装位置区域拍 摄图像，根据所述图像获得螺帽相对于所述螺帽安装位置的偏移量或 者螺帽的位置信息；所述螺帽装卸组件根据所述偏移量或者位置信息 进行相应移动以调整自身的位置及姿态，进而安装或者拆卸螺帽。本 发明提供的螺帽
华中科技大学
2021-04-14
一种铺带机铺放工艺参数的优化装置
本发明公开了一种铺带机铺放工艺参数的优化装置，包括控制器、底座、直线运动平台以及压力控制机构，直线运动平台包括伺服电机、滚珠丝杠、伺服电机支架、工作平台、一对限位开关、一对直线导轨、一对导轨支架及两对滚动滑块，压力控制机构包括硅胶滚轮、步进电机、一对机械臂支架、支撑板、压力传感器、丝杆、支架、一对固定支座、步进电机支架以及一对滑轨，导轨支架与伺服电机支架固定在底座上，用于分别安装直线导轨与伺服电机，工作平台安装在滚动滑块上，并与滚珠丝杠连接。滚珠丝杠用于在伺服电机驱动下带动工作平台沿直线导轨进行往复
华中科技大学
2021-04-14
一种高效的动力煤选前气流分级脱粉机
本发明属于煤炭洗选前脱粉分级技术领域，具体涉及一种高效的动力煤选前气流分级脱粉机。本脱粉机包括如下组成部分：使物料在气流冲射下经碰撞后彼此分散的物料分散区；经 360度全环向布风布料机构将分散后的物料分为一次细颗粒物料和一次粗颗粒物料的一次分级区；经风力旋转驱动分级机构将一次细颗粒物料分为二次细颗粒物料和二次粗颗粒物料的二次分级区，二次细颗粒物料和二次粗颗粒物料分别排出二次分级区以完成最终分级。
本发明的物料分级过程包含两次分散和两次分级，在提高了分级效率的同时从根本上解决了筛孔堵塞问题，实现了分级粒度在 0～13mm 间根据需要进行调控，满足了全粒级干法的分级、分选要求和确保了坑口电厂用循环流化床炉发电用煤。
安徽理工大学
2021-04-13
一种基于混合指标的风电场孤岛紧急切机方法
本发明公开了一种基于混合指标的风电场孤岛紧急切机方法，在风电场联络线发生故障时，综合考虑电压和频率两个与风机自身保护动作与否密切相关的指标，以二者的变化速度比为依据对二者进行混合加权，并最终得到一个综合切机指标；利用该综合切机指标对风电场中的风机进行优先等级划分，优先级别高的风机先被切除，以帮助稳定整个风电场，避免指标恶化引起的连锁风机脱网。本发明所述方法达到了稳定风电场指标的目的，保证发生联络线故障后风电场能够平稳度过孤岛运行时期。相较于其他切机方法，本发明所提方法综合考虑了电压和频率两个重要指标，同时易于操作和实现，具有很好的可行性和实用价值。
东南大学
2021-04-11
一种扬沙环境的直升机辅助降落视觉系统
本发明具体涉及一种扬沙环境的直升机辅助降落视觉系统。该系统由直升机主旋翼、旋翼桨毂、主旋翼减速器、相机保护罩、云台相机、相机升降杆、升降杆固定螺栓、电机、减速器、深沟球轴承、直升机机身构成。该设计通过将云台相机和升降装置安装在主旋翼桨毂内，当需要对地面及周围环境进行监控时，电机减速器带动丝杆旋转，使得升降杆带动云台相机伸出至旋翼上方一定距离处，此时云台相机将监控到更加广阔全面的环境信息。该系统有利于直升机在含有大量沙尘等离散相颗粒的干燥环境中贴地飞行、悬停或降落时，能有效减少沙尘等颗粒带来的不利影响，提升飞行安全性。
南京工业大学
2021-01-12
掺铝氧化锌薄膜的退火真空度和氩离子溅射清洗工艺控制
掺铝氧化锌薄膜（ AZO ）成本低廉、无毒环保，溶胶凝胶法制备 AZO 薄膜具有工艺简单、成膜均匀性好、易于精确掺杂等优点，而后续处理工艺则是提高溶胶凝胶法制备的透明导电薄膜性能的关键。为此我们研究 105 到 10-4 Pa 大真空度范围退火条件下的电阻率变化规律，发现：电阻率的降低集中在相对狭窄的真空度范围，其中在 100 Pa 到 10 Pa 之间，电阻率陡降了 2 个数量级。电阻率在 10 Pa 退火时达到最小值，继续提高真空度（减低气压），电阻率不再继续降低。这一研究结果不仅澄清了以往对溶胶 - 凝胶法制备透明薄膜后续工艺处理的模糊认识，而且对实际生产工艺具有重要的指导意义，例如以此为根据，选择合适的真空度退火，达到既满足产品的性能指标，又能节能减排的最佳效果。 XRD 与 XPS 的分析表明中真空下氧空位、锌填隙、以及 Al3+ 对 Zn2+ 离子的取代是中真空度下电阻率陡降的主要原因。此外，利用 Ar+ 离子对退火后的样品进行反溅射清洗，能进一步提高电导率。更重要的是能在薄膜表面形成具有一定的凹凸起伏的绒面结构，能将入射太阳光分散到各个角度。用作太阳能电池电极时，能有效增强太阳能电池内的光吸收材料对入射太阳光的捕获，提高光能利用率。
辽宁大学
2021-04-11
自蔓延冶金法制备超细粉体
东北大学成功开发出以金属氧化物为原料，镁热自蔓延冶金法规模化清洁生产超细粉体的原创技术，并突破了设备产能的局限，打破国外的技术垄断与封锁。从方法-产品-装备的集成创新，先后获得发明专利12项。实现了超细钛粉等超细粉体的规模化清洁之辈，目前已进入产业化和推广应用阶段。成功开发亚微米超细钛粉、钨粉、铬粉以及纳米无定形硼粉。所制备钛粉粒度小于1微米，纯度大于97.5%；钨粉粒度小于0.5微米，纯度大于99.0%，氧含量低于0.15%；铬粉粒度小于1微米，纯度大于99.0%，氧含量低于0.05%；无定形硼粉粒度小于100纳米，纯度95.0~97.0%。 项目涉及的产品包括钛、钨、铬、无定形硼粉及硼化物陶瓷粉等超细粉体。钛、钨金属作为一种战略性金属材料，是飞机制造、宇宙航天行业所必需的材料，是金属3D打印的关键原材料，对国家安全、国防建设起着至关重要的作用。例如3D打印的适用材料―钛合金球形粉末，一直是制约3D打印技术发展的关键环节，为美、德、英等发达国家垄断，进口价格高达400万元－600万元/吨。超细高纯金属铬粉是高纯靶材的关键材料，也是军工领域的战略材料之一，售价高达200万元/吨以上。高活性无定形硼粉广泛用于火箭燃料助推剂、汽车安全气囊的触发剂，美国一直垄断着其技术，进口价高达千万元/吨。为此，我国当前优先发展的高技术产业化重点领域指南中将金属粉体等超细粉体及其材料列为优先发展的高技术产业。本项目涉及的钛、钨、铬、无定形硼粉等超细粉体将瞄准替代进口产品，为国家安全建设提供急需的关键原材料。未来5年，3D打印、军工、航空航天工业的发展，钛粉、无定形硼粉等超细粉体的需求量将会急剧增加，年需求量在10万吨以上。若投资建立一条两百吨~五百吨规模的超细粉体的生产线，其总产值可达2~3亿元左右，其利润可达5000~7000万元以上。由于该技术及装备完全是由东北大学所研究开发，在市场上处于领先地位，具有完全的市场主动权，能够实现快速地持续发展，具有广阔的发展前景。
东北大学
2021-04-11