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一种光刻机自动调焦方法及装置
本发明公开了一种光刻机自动调焦方法及装置，其方法是将平行光束经第一狭缝投射至硅片表面，再经振动反射镜扫描后通过第二狭缝，由光电探测器接收光强信号，然后通过提取光强信号中二倍于扫描频率的频域成分得到硅片的粗调量，通过提取光强信号中一倍于扫描频率的频域成分得到硅片的精调量，最后由驱动装置调整硅片至焦点位置。调焦装置主要由两个狭缝、一个振动反射镜、光电传感器、驱动台和若干光学镜片组成，信号处理过程由计算机编程完成。该方法与装置相较于以往对比光斑强度进行调焦的方式，具有结构简单、响应迅速、精度高(优于 0.
华中科技大学
2021-04-14
一种基于虚拟上位机的数控系统
本发明公开了一种基于虚拟上位机的数控系统，包括设置在远 程服务器上的虚拟上位机、位于本地的数控系统下位机、以及用于人 机交互的人机交互设备，其中人机交互设备用于提供人机交互输入/输 出接口；虚拟上位机上集成有人机交互模块、非实时/半实时性任务执 行单元、以及下位机控制单元，上位机接收数控加工指令并通过非实 时/半实时任务执行单元进行处理以形成机床控制指令，进而通过下位 机控制单元将控制数据利用网络传输至本地下位机；本地下位机控制机床执行实时性的运动控制和逻辑控制。本发明基于虚拟化技术实现 对数控系统上下位机架构的全新设计，解决目前数控系统存在的数据 处理能力、HMI 功能扩展以及远程加工受限的问题。
华中科技大学
2021-04-11
SMART PLUS系列超纯水机（一级水）
项目
Smart Plus-N
Smart Plus-NT
Smart Plus-NE
Smart Plus-NET
Smart Plus-EP
Smart Plus-EPT
Smart Plus-P
Smart Plus-PT
进水水源
＜ 400μS/cm（市政自来水）
RO或蒸馏水
进水压力
0.1-0.5 MPa
-
RO脱盐率
≥98%（在特定进水条件下）
-
RO制水量
30L/H@25℃
30L/H@25℃
15L/H，双级RO
-
RO电导率*
< 20 μS/cm
-
-
-
高纯水电阻率
-
＞10MΩ.CM
＞10MΩ.CM
-
配置EDI
否
是
是
否
TOC在线监测
NT型含有
NET型含有
EPT型含有
PT型含有
超纯水电阻率
18.2 MΩ?cm@25℃
总有机碳TOC**
＜10ppb
颗粒物
< 1/ml （配 0.22 μm 终端滤器时）
微生物
< 1cfu/ml （配 0.22 μm 终端滤器时）
热源含量
< 0.001 Eu/ml （配进口超滤柱时）
*典型值，RO产水的电导率受自来水进水电导率的影响
**TOC含量直接受到进水条件和采样操作环境的影响
备注：含超滤时，超纯水产水量会下降30%左右
力康国际贸易（上海）有限公司
2022-06-27
基于超表面的光偏振控制的透反射一体式转换器
本发明涉及一种基于超表面的光偏振控制的透反射一体式转换器，包括上层的纳米二聚体阵列和下层的衬底，衬底平面为xy轴平面，x轴垂直于y轴，两个结构材质完全相同的半导体圆柱体纳米结构间隔固定距离排列构成纳米二聚体，纳米二聚体中两个圆柱体中心连线方向为二聚体轴方向，即x轴方向；衬底平面上的纳米二聚体阵列为沿x轴、y轴周期排列的纳米二聚体阵列。
上海理工大学
2021-04-10
离体培养条件下纤维亚麻多倍体诱导方法
本发明公开了一种离体培养条件下纤维亚麻多倍体诱导方法,该方法按照下列步骤进行:选取健康饱满的纤维亚麻种子,消毒后培养成苗,秋水仙素处理茎尖诱导多倍体,转入茎尖伸长培养基进行培养,然后进行茎尖染色体倍性鉴定,将确定为四倍体植株的茎段放入愈伤组织及芽诱导培养基中进行培养获得大量的四倍体无菌苗,再转入伸长生长培养基进行生长,在生根培养基生根培养后,移入灭菌后的基质中管理即可,最后进行根尖的染色体倍性鉴定.本方法可获得比处理纤维亚麻的种子更高的诱导率,诱导率高达25.5%;纯合四倍体比率高,多倍体植株形态正常,移栽成活率高;可以在离体条件下进行快速繁殖,短时间内得到大量的四倍体组培苗.
黑龙江八一农垦大学
2021-05-04
面向高性能人机交互的脑-机-体复合神经感知与反馈的系统解决方案
天津大学神经工程团队针对人机交互面临的神经系统层面交互信息复杂共性挑战，历时十余年，发明了一套面向高性能人机交互的脑-机-体复合神经感知与反馈的系统解决
天津大学
2021-04-14
中国科大在分布式量子精密测量方面取得重要进展
中国科学技术大学教授潘建伟及其同事陈宇翱、徐飞虎等利用多光子量子纠缠在国际上首次实现分布式量子相位估计的实验验证，这为将来构建基于量子网络的高精度量子传感奠定基础。该成果于11月30日在国际学术知名期刊《自然·光子学》上在线发表。 分布式传感是一种可用于同时执行远程空间多个节点上精密测量任务的重要手段，在日常生活、科学研究和工程等领域有着广泛的应用。例如，该项技术可用于桥梁、飞机等大型结构的应力场分布和温度场分布的有效监测。随着量子技术的不断发展，传感技术也迈进了量子化时代。量子网络作为量子信息和量子计算的重要组成，在执行各类远程多节点任务中起着重要作用。当对多个空间分布的参量进行测量时，分布式量子传感能够实现超越经典统计极限的测量精度。然而，分布式量子传感面对的一个重要问题是：如何选择并制备能够实现对多个参量最优的测量精度的量子纠缠态。研究表明，对于某类分布式的最大纠缠态，理论上能够达到最优测量精度，即海森堡极限。 研究团队设计了最优的测量方案，基于多光子量子纠缠，通过操纵六光子干涉仪，实验演示了多个独立的相移及其平均值测量。实验结果显示，利用分布式纠缠态进行测量，其精度可以超越经典传感器的理论极限。基于光子纠缠和相干性组合的方案，研究团队进一步实验演示了多个空间相移的线性组合测量（参数数量总个数达到21个），与仅利用粒子纠缠的方案对比，该组合式方案不仅能够增加可测量参数数量，还能提高测量精度。 该项工作成功实现了多参量分布式量子传感的原理性实验验证，评估了不同纠缠结构情况下的测量精度，验证了纠缠结构对测量精度的增强效果，扩展了资源利用率和可测量的参量数量，朝分布式量子传感的实际应用迈出了重要一步。《自然·光子学》杂志的审稿人对该工作给予高度评价，称赞这是一项“重要的里程碑工作”（constitutes a significant milestone）。
中国科学技术大学
2021-02-01
中国科大在分布式量子精密测量方面取得重要进展
项目成果/简介:中国科学技术大学教授潘建伟及其同事陈宇翱、徐飞虎等利用多光子量子纠缠在国际上首次实现分布式量子相位估计的实验验证，这为将来构建基于量子网络的高精度量子传感奠定基础。该成果于11月30日在国际学术知名期刊《自然·光子学》上在线发表。 分布式传感是一种可用于同时执行远程空间多个节点上精密测量任务的重要手段，在日常生活、科学研究和工程等领域有着广泛的应用。例如，该项技术可用于桥梁、飞机等大型结构的应力场分布和温度场分布的有效监测。随着量子技术的不断发展，传感技术也迈进了量子化时代。量子网络作为量子信息和量子计算的重要组成，在执行各类远程多节点任务中起着重要作用。当对多个空间分布的参量进行测量时，分布式量子传感能够实现超越经典统计极限的测量精度。然而，分布式量子传感面对的一个重要问题是：如何选择并制备能够实现对多个参量最优的测量精度的量子纠缠态。研究表明，对于某类分布式的最大纠缠态，理论上能够达到最优测量精度，即海森堡极限。 研究团队设计了最优的测量方案，基于多光子量子纠缠，通过操纵六光子干涉仪，实验演示了多个独立的相移及其平均值测量。实验结果显示，利用分布式纠缠态进行测量，其精度可以超越经典传感器的理论极限。基于光子纠缠和相干性组合的方案，研究团队进一步实验演示了多个空间相移的线性组合测量（参数数量总个数达到21个），与仅利用粒子纠缠的方案对比，该组合式方案不仅能够增加可测量参数数量，还能提高测量精度。 该项工作成功实现了多参量分布式量子传感的原理性实验验证，评估了不同纠缠结构情况下的测量精度，验证了纠缠结构对测量精度的增强效果，扩展了资源利用率和可测量的参量数量，朝分布式量子传感的实际应用迈出了重要一步。《自然·光子学》杂志的审稿人对该工作给予高度评价，称赞这是一项“重要的里程碑工作”（constitutes a significant milestone）。
中国科学技术大学
2021-04-11
面向大尺寸零件的组合式精密测量技术
面向工程中的大尺寸零件高精度测量（如飞机、风电叶片、汽车、发动机的反求测量、大型装备制造、装配中精度检测等），以远距离全局测量设备（Leica AT901-LR 激光跟踪仪、iGPS）建立全局坐标控制与约束，再辅以近距离终端测量设备（FARO P12 测量臂、激光三维扫描仪）构建组合式测量系统，实现大范围、不同类型被测点（如盲点、密集点云、形貌特征等）的高精度测量。组合式测量方法很好地解决了大尺寸零件整体尺寸大与局部空间复杂、测量特征多样之间的矛盾，具有测量精度高、测量效率高及适应性好的特点。
西安交通大学
2021-04-11
高分子材料多功能密炼-流变-精密制样机
小试阶段/n项目背景:高分子材料科学是材料学科中发展最迅速的分支之一。但在配方设备和性能测试手段方面的研究相对不足，大多数企业和研究机构目前仍然采用几十年前就开发出来的常规设备。其主要缺点是耗料量大（一个配方实验需要5-50公斤新材料），性价比不高，塑化程度难以控制；操作工序多（需要几台仪器设备工作），制样质量差，材料容易氧化，劳动强度大；模具投资高（每副标准模具5000-10000元），对加工性能中主要的和常用的流变数据由于投资比较大而无法测试（一般新配方材料只有很少的量，比如仅仅50克）。主要用
湖北工业大学
2021-01-12