|
搜索
搜 索
高等教育领域数字化综合服务平台
半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22
基于超音速热喷涂技术的装备关键零部件表面耐磨耐蚀涂层
许多工业设备往往因为某个关键零部件表面的损坏，导致整个系统效能大幅度降低甚至报废，造成极大地浪费。综合应用先进的表面涂层技术，不仅可以极大延长装备关键零部件的寿命，提高产品质量，甚至可以修复已损坏的关键零部件，实现装备的再制造，达到节能、减排、降耗、环保之目的。 热喷涂技术可使工件表面获得不同于基体材料的特性，具备更优良的强度、硬度、耐磨、耐蚀、耐热、绝缘、导电、密封、抗氧化、隔热、消毒、防微波辐射以及其它各种特殊物理化学性能。它不仅可以再制造修复关键零部件，使报废的零部件
华南理工大学
2021-04-14
小型精密车床
型号： XD0620
产品特点：紧急拍停开关、速度无级可调、四点式转动刀架、全套金属变速齿轮、高精确度。 基于高精密的产品技术，杰出的性能，使用众多的附件可进行多万面的工作。
技术参数
主轴精度：0.02mm机床最大回转直径：250mm最大工件长度：550mm三爪卡盘外径：125mm拖板横向行程：llOmm拖板纵向行程：70mm主轴通孔直径：26mm主轴孔莫氏锥度：MT#4尾轴孔莫氏锥度：MT#2车削公制螺纹范围：0.2~3.5mm车削英制螺纹范围：8~56TPI主轴转速范围（无级调速）：50~2500转/分钟输出功率：750W净重/毛重 ：115KG/145KG车床外形尺寸：1150mm*560mm*530mm包装尺寸：1220mm*580mm*580mm随机配件：125mm三爪卡盘、莫氏2号和莫氏4号呆顶尖、金属交换齿轮套件、油壶、2把外圆车刀可选配件：11件套车刀、中心架、跟刀架、四爪卡盘、莫氏2号活络顶尖、尾座夹头带锥柄
佛山市先导数码科技有限公司
2022-09-14
大型、超大型零部件孔、面有高位置精度要求的 定位加工技术
对于大型或超大型零部件，如大型箱体类零件上，常有轴承孔系以及面的平行、垂直等位置精度的要求，本技术区别于传统的加工方法，利用特有的等分定位技术和车间现场条件，可方便地确定孔的对称位置和关联面间的位置，且加工或修正出具有很高位置精度的零部件。 工作原理：等分定位新技术 + 特殊的定位处理技术
北京科技大学
2021-04-11
轻量化汽车用非调质钢零部件锻造形性调控关键技术研发
致力于高性能非调质钢锻件关键技术研发与应用，通过锻件一体化复合锻造成形技术、非调质钢曲轴和连杆热温复合锻造成形工艺及专用模具、以及非调质钢复杂构件组织性能差异化控制技术等技术，创新性发明了非调质钢在汽车零部件上应用的关键技术，解决了非调质钢强度有余而韧性不足的关键问题。
南京工程学院
2021-01-12
汽车零部件产品设计、强化工艺制定、耐久性评价以及研发能力提高
1. 具有自主知识产权的复杂服役条件下强度与耐久性评价技术：载荷谱处理新技术——有机地结合强度的动态变化特征等的载荷谱处理新技术；强度与耐久性快速试验和评价技术——基于动态强度特征零部件耐久性快速评价技术；复杂载荷下零部件疲劳寿命预测技术——有机的结合载荷强化和损伤特性、基于强度特征的疲劳累积损伤理论进行复杂载荷下汽车零部件寿命预测和评价。 2.基于载荷与强度特性的轻量化设计技术：具有自主产权的基于强度特征的轻量化设计方法——基于零部件载荷谱和强度特征进行轻量化设计，该方法能够充分发挥材料的强度潜能，疲劳强度和疲劳寿命设计更加合理；在零部件的轻量化设计中把静强度、疲劳强度和寿命、热处理要求、动态特性和成本有机结合起来进行，把产品的强度与耐久性延伸到成形工艺和热处理强化工艺，把成形工艺-热处理工艺-产品疲劳耐久性能关系有机的结合起来，成功的应用于等速万向传动中间轴自主开发设计中。
上海理工大学
2021-04-13
等温精密锻造技术
内容介绍： 经过多年的技术基础研究和工程应用研究，研创出了铝合金、钛合 金、高温合金等材料复杂形状锻件等温精密锻造和超塑性锻造新技术， 已在多个工厂和多项工程上获得应用。主要内容包括：研制出了等温锻 模具新材料ZGM2；设计出了多种等温锻模具新结构；研创出了材料细晶 化毛坯制备、精密制坯与成形、防止精锻件出模变形和热处理变形、防 护润滑、化偶、表面质量控
西北工业大学
2021-04-14
超声精密加工系统
1、技术原理：在刀柄或主轴内部嵌入超声换能器，通过电磁感应无线传输驱动换能器，在发生器驱动下，在刀具末端产生高频率机械振动，辅助旋转能量，提高加工效率与刀具寿命。2、主要参数： 频率：20-130kHz；功率：
哈尔滨工业大学
2021-04-14
精密可程式烘箱
高清触摸屏，可编程程序设计； 多级密码管理功能； 带有程序升温功能； 带有数据储存功能； 抽屉式搁板设计； 控温范围：RT+5～300℃
上海博迅医疗生物仪器股份有限公司
2021-02-01
精密过滤器
产品详细介绍
精密过滤器
软化水设备、锅炉软化水设备、纯净水设备、纯水设备、水处理设备
精密过滤器以蜂房式管状芯作过滤介质，以进一步去除原中水微小的悬浮物、微粒、胶体等。可广泛用于电渗析、反渗透及各种水处理装置的进水前处理。也可用于单位、家庭制备冷饮水、饮料、酒液滤青等。
公司名称：泰安通利达水处理设备有限公司
联系人： 白经理
电 话： 0538-3308188
传 真： 0538-3301099
手 机： 18769828999
邮 编： 271600
邮 箱： fctld8188@163.com
网 址： www.tatld.cn
地 址： 山东泰安肥城市新城办事处工业园
泰安通利达水处理设备有限公司
2021-08-23