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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点，在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说，靶材是至关重要的，它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一，较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移，从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材，其性能不能满足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技术原理与工艺流程简介： 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下：温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
应用领域：
集成电路、电子元器件
合作方式及条件：具体面议
天津大学
2021-04-11
生物催化法制备手性医药中间体(R)-2-羟基-4-苯基丁酸乙 酯
(R)-2-羟基-4-苯基丁酸乙酯（(R)-HPBE）是合成 ACE 抑制剂类药物的重要手性中间体，可用于合成苯那普利(Benazepril)、依那普利(Enalapril)和雷米普利(Ramipril)等重要普利类药物。
本项目采用羰基还原酶和葡萄糖脱氢酶的双酶共表达重组大肠杆菌的整体细胞作为催化剂，在水/有机溶剂两相体系中，对底物 2-羰基-4-苯基丁酸乙酯（OPBE）进行不对称还原，底物浓度>300 g/L，转化 12 h，转化率和产物的光学纯度分别达到 100%和 99.5%ee。
江南大学
2021-04-11
关于细菌群体趋化运动的“逃逸相变行为”的研究
在反向不同引诱物浓度梯度下，细菌首先趋向聚集于强引诱物而少营养的一端， 但当细胞密度超过一个阈值时，细菌群落部分“逃逸”强引诱物浓度场，游向趋化因子相对弱但可代谢物质富集的一端。这一现象被刻画为细菌群体运动的“逃逸相变行为”。罗春雄研究组通过与美国IBM沃森研究中心的涂豫海教授（北大定量生物学中心资深访问学者）合作，对此现象涉及的趋化受体间的协作行为进行了系统细致的理论分析和实验论证，发现营养物质通过数量较少的Tap趋化受体进行了响应行为，而且在较大的一个趋化响应参数空间均会出现由细菌密度超过临界密度而产生的逃逸条带（“Escape Band”）行为，该行为可以使得细菌群落在复杂的趋化物浓度场中获得更好的生长优势。细菌群体趋化运动的“逃逸相变行为”
北京大学
2021-04-11
低成本的热聚合抗菌剂的合成与转化
本实验提供抗细菌肽快速合成方法。在高温下利用磷酸催化剂和植物油将特定氨基酸聚合为抗菌肽。 利用沉淀、萃取等技术得到可应用的肽制品。运用质谱法、MIC、电镜等实验分析所得产物的成分、活 性，并提供成本为20-50元每公斤的产品供机理分析和田间实验。
中山大学
2021-04-10
一种改进的预制混凝土内墙板的限位结构
本实用新型提供了一种改进的预制混凝土内墙板的限位结构，通过设置角钢、预埋件和预留钢筋；预埋件包括钢板和连接钢筋，两个钢板面平行间距设置，且两个钢板之间通过多个连接钢筋固定连接；预埋件埋设在预制混凝土内墙板内；角钢的一侧边与钢梁固定连接，另一侧通过螺栓与预制混凝土内墙板顶部的预埋件固定连接；预留钢筋的一端设在楼层板状混凝土内，另一端穿过楼层板状混凝土并向外延伸到预制混凝土内墙板下端的预留锥形孔内。本实用新型的连接新形式的应用能够使得预制混凝土内墙与主体结构之间形成柔性连接，满足墙体与主体结构之间的相对
安徽建筑大学
2021-01-12
与猪肉质性状相关的分子标记的克隆及应用
研发阶段/n可用于猪肉质性状的遗传改良，在猪的遗传改良中肉质性状的测定需要进行屠宰测定，肌内脂肪含量和系水力是两个重要的肉质性状，影响到肌内的口感惬意度和屠宰后胴体出售前贮藏损失，应用到商家的经济利益，这两项专利的使用可以提高肌内脂肪含量，降低屠宰后滴水损失（不需要进行屠宰测定）。
华中农业大学
2021-01-12
番红1号西红花的脱毒试管球茎的培养法
本发明公开了一种番红1号西红花的脱毒试管球茎的培养法，包括以下步骤：西红花球茎于温水浸泡后进行水培催芽，取球茎的侧芽进行培养，剥取所得的无菌苗上的茎尖分生组织进行培养，待长到1.5cm～2.0cm高时作为植株Ⅰ，对植株Ⅰ进行菜豆黄花叶病毒颗粒检测，如果检测到病毒颗粒，从该植株Ⅰ上剥取茎尖分生组织，以此替代上述步骤中的剥取自无菌苗上的茎尖分生组织重复上述步骤，直至获得不含菜豆黄花叶病毒颗粒的植株Ⅰ为止；将不含菜豆黄花叶病毒颗粒的植株Ⅰ进行培养；诱导出的丛生芽接种到球茎诱导膨大培养基上进行培养，直至长成所需的规格。采用该方法能在短时间内生产大量遗传背景相同的优质脱毒健康种苗。
浙江大学
2021-04-13
基于移动平台的肌力康复评定系统的开发
基于移动平台的肌力康复评定系统由便携式肌力测试仪和Android设备（移动平台，手机或ipad等）组成。便携式肌力测试仪行肌力数值的采集，并通过无线蓝牙模块与带有Android系统设备之间进行串口通讯，由Android设备对数据进行处理，最终发送至医生监护平台。 移动平台的肌力评定软件获得的参数，对肌力信号进行算法分析，获得评价肌力的指标参数，并为治疗肌肉功能障碍的患者建立病例库，可长期跟踪测试患者的肌力数据，。通过康复设备采集用户的治疗数据，并由终端传输至医生服务平台，实现患者的远程康复。
上海理工大学
2021-04-13
基于WIFI控制的具有学习能力的红外遥控装置
北京工业大学
2021-04-14
基于全息衍射光学元件的消色差的波导显示系统
本项目发明了一种基于全息衍射光学元件的消色差的波导显示系统。该系统包括输入耦合器、波导、输出耦合器，当彩色光线通过准直透镜后照射到作为输入耦合器的透射式平面光栅时，平面光栅发挥色散特性，将光色三成不同颜色的光波按照不同的角度进入到波导中，然后光继续在波导中传播，当光传播到作为输出耦合器的反射式体积光栅时，光波又被体积光栅调制，使发生色散的光波以同一方向反射出波导，进入到人的眼睛，使得人眼可以看到彩色的图像，从而达到消除色差的目的。
相较于传统方案，本发明设计的基于三次曝光的三层反射式体积光栅的波导显示系统，可以在不降低衍射效率的情况下消除色差，且用平面光栅代替棱镜发挥色散作用，又利用反射式体积光栅进行波导，在不增加波导系统的体积和重量的同时达到消色差的目的，不会带来衍射效率降低、系统的体积和重量增加等负面影响。可以广泛应用到显示系统领域。
北京理工大学
2023-01-03