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新型谐振MEMS微惯性传感器
针对我国在军事、工业等领域对高性能、小尺寸、高可靠性MEMS微惯性传感器日益迫切的需求，上海交通大学自2001年起就开展基于MEMS技术的微惯性传感器的研究，已成功研制十余款传感器样机，在研的半球谐振微陀螺、圆盘多环微陀螺等预期体积小于1cm3，成本低于50美元，功耗低于100mW，有望达到惯性级，在微小卫星、微航天器等场合极具应用潜力。与传统的微陀螺相比，该陀螺无运动部件，抗冲击性更好；同时该陀螺可以采用角速度检测和角速度积分检测两种工作模式，极大的提升了其应用场合与范围，特别适合在高G环境下进行空间位置测量、导航与姿态控制等。此外，其在消费电子市场以及汽车市场也拥有这巨大的应用空间，如手机、游戏机等手持电子设备的姿态控制系统，照相机、摄像机的稳定电子平台，汽车的防翻车预警系统等。。相关研究内容作为重要组成部分曾获省部级及以上奖励多次，授权发明专利几十余项，微陀螺方面的专利国内第一，国际第二，发表SCI/EI等论文几十篇。
上海交通大学
2021-04-13
基于无线传感网络的测温系统
南京邮电大学
2021-04-14
声表面波传感器及其应用
声表面波（SAW）器件由压电材料、叉指换能器（IDT）和振荡 电路构成。SAW 器件已经广泛地应用于通信、雷达、电子对抗、广播 电视等民用和军用领域中。 由 SAW 器件可以构成的多种传感器，其原理是器件周围物理量、 化学量和生物量的变化引起 SAW 器件振荡频率的偏移，通过检测频率的变化来监测加速度、温度、湿度、压力、剪切、弯曲等参量。 SAW 传感器具有独特的优点。与常用的半导体气敏传感器相比， 它不受温度影响，灵敏度高，稳定性好；设计结构灵活，对电、热、 力、声、光、化学及生物等多种因素敏感；采用 SAW 技术其输出信 号为振荡器频率的变化，无需经过 A/D 转换，易于与计算机接口；抗 干扰能力强，灵敏度高，检测范围线性度好，测量重复性好，适合远 距离传输和实现遥测遥控。其采用集成电路中的平面工艺制作，可实 现集成化、智能化，使得 SAW 传感器体积小、重量轻，携带方便。 更重要的是，SAW 传感器件的成本低，能够进行大批量生产，更符 合产业化要求。 SAW 化学传感器是继半导体传感器和光纤传感器之后的新秀。 SAW 化学传感器依据不同的基底材料、不同化学薄膜可以检测 SO2、 H2、NH3、H2S、NO2、丙酮、甲醇、水蒸气、等多种化学成分。因此 可广泛用于大气环境监测、化工过程控制、汽车排放尾气控制、毒品 检测、临床分析等领域。这种传感器还可以检测破坏人体神经、血液 的毒气，包括 Sarin（沙林）、Soman（梭曼）、VX、Mustard（芥子气）、 Nitrogen Mustard（氮芥）、Hydrogen Cyanide（氰化氢）、Cyanogen Chloride (氯化氰)、Lewisite（刘易士毒气）、有机磷、有机硫等化学战 剂。化学战剂检测问题受到各国高度重视。化学战剂的检测设备种类 繁多，声表面波化学传感器具有独特的优点，更符合实战要求。
南开大学
2021-04-11
一种纳米孔电学传感器
本发明公开了一种纳米孔电学传感器。它包括基板、第一绝缘层、对称性电极、电接触层、第二绝缘层、纳米孔；在基板上依次设有第一绝缘层、对称性电极，在第一绝缘层上和对称性电极边缘上设有电接触层，在对称性电极上设有第二绝缘层，在基板、第一绝缘层、对称性电极和第二绝缘层的中心设有纳米孔。本发明的纳米电极的厚度可以控制在0.35～0.7nm之间，达到检测单链DNA中的单个碱基的电学特征的分辨率要求，从而适于便宜，快速电子基因测序。本发明的纳米孔电学传感器解决了将纳米电极集成于纳米孔的技术难点，其制备纳米电极的方法简单。
浙江大学
2021-04-11
快速响应和恢复的湿度传感器
传统的陶瓷氧化物湿度传感器由于其具有较好的稳定性而得到广泛的应用。但其响应的速度较慢，无法满足越来越多的实时湿度监测的要求。而新型的无铅双钙钛矿材料Cs2BiAgBr6不仅优异的湿敏特性，同时在大气环境下具有良好的稳定性。该湿度传感器具有快速的响应（1.78 s）和恢复速度(0.45 s)。通过分析该材料在不同的温度下的湿度响应，发现水分子在无铅双钙钛矿表面的物理吸附效应是材料的主要湿敏机理。
复旦大学
2021-04-10
声发射传感器特性校准系统
Ø 成果简介：声发射传感器二级校准系统由宽带声发射源、标准声发射传感器、声信号激励和接收电子装置及信号采集和处理软件组成，可实现声发射传感器灵敏度测量。测量时，声源换能器与待测声发射传感器面对面放置，首先，采用扫频信号激励宽带声源换能器来产生声信号，再测量待测传感器的频率响应曲线，并通过比较标准传感器（通过一级校准方法标定的传感器）和待校传感器的频率相应来标定被测传感器的灵敏度。与其它二级校准方法相比，该测量过程重复性好，且更快捷、方便、有效。Ø &nb
北京理工大学
2021-01-12
可自组网的压力传感器
压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。 本传感器由压力传感器，输出显示，2路输出信号以及zigbee通信几个部分构成，区别于其他传感器的最大特点是可以支持zigbee自组网，可以将一个厂房里面散落在不同位置的传感器的压力信息通过自组网汇总到办公室的电脑上，实现对多个待测点的监控。具体的功能如下：l 压力传感器检测系统压力l 在本仪器上可以显示当前系统压力l 可设置阈值并配置2个输出信号（及时根据阈值输出信号）l 多个传感器之间可以通过zigbee自动组网，在办公室电脑就可同时观察多个待测点 应用范围： 1.应用于液压系统 2.应用于安全控制系统 3.应用于注塑模具 4.应用于压缩机，空调冷设备 市场前景： 工业生产中机器换人的发展十分迅速，而在不锈钢拉升工艺中很难解决的一个问题就是次品检测，目前可以用人工肉眼方式观察，但是一旦实现自动化生产，次品的检测问题就会变成非常严重。本传感器通过对液压系统的监控，可以很好的实现次品检测，一旦发现次品可以及时发送信号停止整条生产线，确保设备的安全。 基本上一台液压机就得配备一个传感器，因此市场的需求量还是比较可观。
北京交通大学
2021-04-13
硅微谐振式压力传感器
本硅微谐振式压力传感器采用自主设计的膜片——谐振梁式复合敏感结构、自主探索的工艺流程和自主研发的信号处理技术，具有优良的稳定性和灵敏度，且敏感结构比国外同类产品简单，适合国内工艺水平现状。 该传感器用于大气压力测量或液体压力测量，在气象、航空、石油、化工、电力等领域应用前景广阔。目前，该技术已达到小批量样机生产的实用要求。
北京航空航天大学
2021-04-13
一种拉索腐蚀传感器
本发明提供一种基于电阻法的拉索腐蚀传感器，能准确地监测拉索的腐蚀状态。该传感器包括密封的C形树脂外壳，两根电阻探头，电源装置，高灵敏度电阻测量装置，无线发射装置，无线接收装置构成。于拉索锚固端的索套中放置该腐蚀传感器，通过程序设置传感器中的高灵敏度电阻测量装置定期测量两根电阻探头的电阻，测量后电阻信息通过无线发射装置发出，传至放于锚固区索套外的无限接收装置处，通过采集无限接收装置处的电阻数据，再经计算机进行数据处理，通过电阻增量即可定量判断拉索的腐蚀状态，实现腐蚀监测。
东南大学
2021-04-13
基于双层透镜结构的风速传感器
本发明公开了基于双层透镜结构的风速传感器，涉及MEMS器件，属于测量测试的技术领域。该风速传感器为柔性透镜和硅基上的固定透镜组成的双层透镜结构，柔性透镜与硅基上固定透镜之间留有足够空气腔，当有风流过时,根据伯努利效应,柔性透镜向固定透镜移动,自柔性透镜上方垂直照射宽波长光波,可根据反射波的波长测量风速大小。本发明依据伯努利效应及光学效应实现了非侵入式测量，无需引线，同时也降低了传感器的功率。
东南大学
2021-04-13