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一种铌酸锂纳米器件的刻蚀方法
本发明属于光电器件制备技术领域,具体为一种铌酸锂材料的刻蚀方法。本发明方法包括:在铌酸锂表面制备金属钝化层,用来提高纳米图形的保形性以及侧壁刻蚀倾斜角;沉积硬掩膜,并采用微电子光刻技术进行图形化处理;在待刻蚀的铌酸锂区域沉积活性金属薄膜,以提高刻蚀深度;将覆盖有活性金属层的铌酸锂晶体在还原气氛中进行退火;然后采用相应的酸溶液和碱溶液去掉铌酸锂表面的金属及其与铌酸锂的反应物,得到具有一定刻蚀深度的铌酸锂纳米图形。所制备的大规模铌酸锂纳米器件阵列尺寸可控,保形性和重复性好,侧壁倾斜角大于80°,图形凸块表面光滑。铌酸锂纳米器件制备步骤简单,难度低,可降低大规模生产成本。
复旦大学 2021-01-12
纳米粉体表面修饰改性、分散及应用研究
随着纳米颗粒制备技术的日渐成熟,其应用技术也日益受到人们的广泛重视。但由于纳米颗粒粒径小、比表面积和表面能大、颗粒不稳定极易团聚,导致其优异的性能不能充分发挥,因此纳米技术研究中最艰巨的任务之一是使纳米颗粒能够稳定存在且不发生团聚。最常使用的方法是把纳米颗粒分散于介质中,通过静电稳定机理、位阻稳定机理和静电位阻稳定机理等来制备稳定分散的浆料。其中涉及到的核心科学问题为纳米颗粒的表面改性及其浆料稳定性。 项目组根据不同纳米材料表面特性以及应用场合不同,攻克了纳米粉体表面化学改性技术、纳米粉体在溶液中稳定分散技术等关键技术,制得了纳米四氧化三铁、二氧化钛、氧化铟锡、氧化锌、氧化镁、氮化硅、碳化硅等多种分散稳定性优异的水基、乙醇基浆料,其颗粒平均粒径≤100nm,比表面积≥30m2/g,固含量从0.5~20%不等。不同纳米粉体含量浆料静置稳定性从1~30d至1年不等,研究成果为纳米材料的应用奠定了坚实的基础。 应用前景: 纳米四氧化三铁浆料是采用胶溶化法和添加改性剂及分散剂方法,通过在颗粒表面形成吸附双电层结构阻止纳米粒子团聚来制得。平均粒径在20nm左右,具有超顺磁性,浆料Fe3O4固含量在0.5~20%,浆料静置稳定性在1年左右。可应用在磁性密封、生物医药载体、磁保健、磁记录材料、高梯度磁分离器、微波吸收材料以及静电复印显影剂。 纳米二氧化钛浆料作为产品或产品添加剂应用范围很广,主要可应用于抗紫外剂,纳米环保、抗菌、自清洁剂,随角异色效应型纳米涂料,静电屏蔽剂等。 纳米ITO水基浆料加入水性涂料中,经涂敷制得ITO薄膜。由于ITO薄膜具有优良的光电性能,对可见光的透过率达70%以上,对红外光的反射率≥70%,对紫外线的吸收率≥70%,对微波的衰减率≥85%,导电性和加工性能极好,硬度高且耐磨耐蚀,可用作防隔热涂料等。
南京工业大学 2021-01-12
利用单一YAG: Ce3+荧光粉和紫外LED芯片匹配获得白光的制备
最近以来,LED照明以其节能环保等优点,获得了大规模的应用。 传统的黄色荧光粉YAG:Ce3+在蓝光LED芯片激发下发出黄色的光,通过蓝光和黄光复合产生白光,但这种粉体不能应用于高能量的紫外LED芯片产生白光,因为YAG:Ce3+的光谱中缺乏蓝光波段。本项目通过特有的表面包覆和处理技术,使得YAG:Ce3+的外观和普通YAG:Ce3+没有区别,但在紫外光365nm激发下,不仅呈现出黄光发射,而且具有蓝光发射,通过调控膜层的组成和厚度,匹配与紫外LED芯片时,器件发射出CIE坐标(0.32,0.33)的白光。 利用此方法,可使得YAG:Ce3+粉发出蓝光和黄光两种波段,进而复合产生白光,工艺简单,技术领先。
电子科技大学 2021-04-10
利用单一YAG: Ce3+荧光粉和紫外LED芯片匹配获得白光的制备
成果简介: 最近以来,LED照明以其节能环保等优点,获得了大规模的应用。 传统的黄色荧光粉YAG:Ce3+在蓝光LED芯片激发下发出黄色的光,通过蓝光和黄光复合产生白光,但这种粉体不能应用于高能量的紫外LED芯片产生白光,因为YAG:Ce3+的光谱中缺乏蓝光波段。本项目通过特有的表面包覆和处理技术,使得YAG:Ce3+的外观和普通YAG:Ce3+没有区别,但在紫外光365nm激发下,不仅呈现出黄光发射,而且具有蓝光发射,通过调控膜层的组成和厚度,匹配与紫外LED芯片时,器件发射出CIE坐标(0.32,0.33)的白光。 利用此方法,可使得YAG:Ce3+粉发出蓝光和黄光两种波段,进而复合产生白光,工艺简单,技术领先。
电子科技大学 2017-10-23
一种双路电压信号驱控的面阵电控液晶光发散微透镜芯片
本发明公开了一种双路电压信号驱控的面阵电控液晶光发散微透镜芯片,包括电控液晶散光微透镜阵列、第一驱控信号输入端口和第二驱控信号输入端口,面阵电控液晶散光微透镜为 m×n 元,其中,m、n 均为大于 1 的整数,电控液晶散光微透镜阵列采用液晶夹层结构,且下上层之间顺次设置有第一基片、共地电极层、第一液晶定向层、液晶层、第二液晶定向层、顶面图案化电极层、顶层电极间绝缘层、顶面电极层、第二基片,共地电极层和顶面电极层分别固
华中科技大学 2021-04-14
微流控数字液滴中央处理器芯片及平台系统的研制
程鑫课题组主攻微纳加工技术,包括超高精度(亚5纳米)表面图形化技术、适用于产业化的大面积低成本纳米加工技术、微纳3D打印技术等。课题组同时开发微纳加工在半导体器件、纳米光学、生物医学工程等多个领域中的应用。近年来,课题组在微流控芯片领域开展了大量创新性研究工作,并取得了一系列成果。 DNA/RNA测序前文库构建和蛋白质的结构大规模质谱检测等基因组学和蛋白质组学研究中的关键技术都涉及到稀
南方科技大学 2021-04-14
可增强流感疫苗有效性的仿生纳米颗粒
研究团队基于cGAMP设计制备了一种肺部仿生纳米颗粒(PS-GAMP)来模拟流感病毒肺部感染,发现其能够在不破坏肺部表面活性剂(PS)和肺泡上皮屏障(AEC)的情况下,激活AMs和AECs,促进疫苗产生高效的体液和CD8+ T细胞保护性免疫反应,以抵抗多种异型流感病毒的攻击。研究结果提示AECs在产生广泛的交叉保护以抵御各种流感病毒方面具有十分重要的作用,表明PS-GAMP可能是一种“通用”流感疫苗的潜在粘膜佐剂。
复旦大学 2021-04-10
一种荧光硅纳米点及其制备方法与应用
本发明公开了一种荧光硅纳米点(SiNDs),它是由硅烷和孟加拉玫瑰红以水热法一步制备得到的。与现有技术相比,本发明所制备的SiNDs具有超高的荧光量子产率(100%),且能实现对哺乳动物细胞溶酶体的长时间特异成像。此外,该SiNDs的溶酶体成像效果不受细胞清洗、固定和透化等影响,具有耐清洗、耐固定和耐透化的优点。同时,该SiNDs还具有制备成本低、合成方法简单、水分散性好、荧光发射峰宽窄、光稳定性好、细胞相容性好、细胞光毒性低等优点,有望成为新型的溶酶体荧光探针。
东南大学 2021-04-11
一种基于氮化钛的新型纳米结构光阴极
发明公开了一种基于氮化钛材料的新型纳米结构光阴极;所述氮化钛光阴极包括衬底、氮化钛纳米结构层;还涉及了该型氮化钛光阴极的制备方法,及其电场辅助型光阴极测试装置,所述电场辅助型光阴极包括绝缘垫片、金属薄板阳极、上/下电极导线、外加偏压电源。本设计中核心的氮化钛纳米结构具有表面等离激元共振效应,会带来光子吸收增强和局域电场增强,且材料功函数仅约为3.7eV和导电性优良,有助于光致电子的发射;通过设计氮化钛结构的组成纳米图形和结构参数,可获得与入射激励光波相匹配的等离激元共振,实现可光调控的电子发射。因所述氮化钛材料还具有稳定的物化性质,从而本发明提供了一种可作为稳定、高效率的光阴极。
东南大学 2021-04-11
气相燃烧制备纳米二氧化钛
纳米二氧化钛 (10-50nm) 具有特异的光学性能、催化性能等,被广泛应用于汽车工业、催 化剂、防晒化妆品、高档油漆、农用薄膜以及精细陶瓷等领域。目前国内纳米二氧化钛的市场 已有相当量的需求,估计在1万吨/年左右,市场份额高达20亿元,主要从国外进口,进口价超 过3万美元/吨。本项目计划建设200吨/年规模的气相燃烧制备纳米二氧化钛生产装置,利用氢 氧焰燃烧生产纳米二氧化钛。项目建设总投资为2000万元,建设期为1.5年。项目投产后可以形 成4000-5000万元的产值,利润超过1500万元。
华东理工大学 2021-04-11
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