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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点，在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说，靶材是至关重要的，它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一，较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移，从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材，其性能不能满足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技术原理与工艺流程简介： 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下：温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
应用领域：
集成电路、电子元器件
合作方式及条件：具体面议
天津大学
2021-04-11
关于组织申报2023年度山西省重点研发计划（能源与节能环保领域）项目的通知
为深入学习贯彻习近平新时代中国特色社会主义思想和党的二十大精神，全面贯彻落实习近平总书记关于科技创新的重要论述和视察山西重要讲话重要指示精神，深入贯彻落实省委、省政府决策部署，推进落实《山西省“十四五”新技术规划》，以碳达峰碳中和为牵引，深化能源革命综合改革试点以及黄河流域生态保护和高质量发展，瞄准攻关“卡脖子”关键、共性核心技术问题，根据《山西省科技计划项目管理办法》（晋政办发〔2021〕42号），现将凝练形成的2023年度山西省重点研发计划（能源与节能环保领域）支持方向予以发布，请根据要求组织项目申报工作。
山西省科技厅能源与节能环保科技处
2023-08-09
大型公共建筑节能监管体系及可再生能源 关键技术研发与应用
安徽建筑大学
2021-01-12
新型齿式真空泵/压缩机对罗茨真空泵/鼓风机的节能替代
齿式真空泵/压缩机与罗茨真空泵/压缩机类似，具有结构简单、可靠性高、维护方便且成本低的特点，但它具有内压缩过程，因此能耗小（比罗茨鼓风机节能高达20％），排气温度低（压比为2时，温度低15℃），单级升压高（单级升压高达2bar），是罗茨真空泵/鼓风机理想的节能替代产品。西安交通大学压缩机研究所掌握了齿式真空泵/压缩机的型线设计、孔口布置等关键技术，并已和企业联合开发出单级压力比达到3的齿式压缩机，并通过了产品鉴定。目前该产品已经在石化、水泥罐装、气力输送、污水处理等领域得到应用（压力比在1.6～3的范围该产品节能优势明显）。
西安交通大学
2021-04-11
工业烟尘超净排放用节能型水刺滤料关键技术研发及产业化
本项目提出并突破了超净（低）排放用节能型水刺滤料产业化生产一系列关键技术问题，建立了完整的产业化工艺技术，技术水平达国际先进。项目产品与传统针刺滤料相比，由于可有效降低滤料的克重 18%左右，产品综合成本与传统针刺滤料产品接近，但项目产品的整体性能却得到了大幅度提升，不仅解决 PM2.5 微细粉尘的排放问题，而且属于节能型产品，具有显著的竞争优势。
关键技术
基于水刺开纤技术构建滤料表面超细纤维致密层；高密度低损伤复合加固工艺技术；滤料表面精细化工艺技术；针孔自动封闭技术。产品：节能型超净水刺滤料。
知识产权及项目获奖情况
授权发明专利 7 项、实用新型专利 1 项。获中国纺织联合会科技进步奖一等奖 (2017)；获江苏省科学技术奖三等奖（2018）。
投资期望及应用情况
本项目自 2012 年开始研究，期间进行了中试和试生产，2014 年底开始全面推广应用。2014 年-2016 年三年累计新增销售额 31198.24 万元、新增利润3971.77 万元、新增税收 1789.66 万元。本项目产品已在中国石油化工股份有限公司齐鲁分公司、唐山三友化工股份有限公司热电分公司、南京中联水泥有限公司、大连市热电集团东海热电厂等一大批国内大型热电厂和水泥厂的推广应用，粉尘排放浓度一直保持在 10mg/Nm3 以内，实现了超净（低）排放。
江南大学
2021-04-13
人才需求：软磁复合材料的共性技术研发难题，有关软磁复合材料及应用领域的人才
软磁复合材料的共性技术研发难题，有关软磁复合材料及应用领域的人才
山东精创功能复合材料有限公司
2021-09-02
一种从荷叶中提取的抗氧化保存剂及其在制备LDPE膜中的应用
本发明提供了一种从荷叶中提取的抗氧化保存剂及其在制备LDPE膜中的应用，所述抗氧化保存剂制备方法如下：1）将荷叶粉碎加到乙醇溶液中进行超声提取，加入石油醚混匀静置后去掉石油醚层，再将提取液冷藏，减压抽滤获得沉淀；2）将沉淀用氯仿溶解后，加样到硅胶层析柱中，先用石油醚和氯仿清洗后，再用甲醇洗脱，收集甲醇洗脱液；3）将收集到的甲醇洗脱液浓缩，再用硅胶进行柱层析分离，依次用石油醚、氯仿、甲醇洗脱，收集洗脱液，减压蒸馏浓缩；4）用硫酸溶液进行加热回流酸水解处理，冷却后进行过滤，沉淀干燥制成所述抗氧化保存剂，本发明经试验证明所述抗氧化保存剂能有效的延长食物油的保存期限，制备的LDPE膜具有广泛的应用。
青岛农业大学
2021-04-11
城市污水处理及回用集装式膜生物反应器成套技术装备
本项目具有自主知识产权，是一套适合于处理城市污水及回用（从城市污水到杂用 水、景观用水、绿化、洗车等直到实验室分析配制标准溶液的纯水）的集装式膜生物反 应器成套技术装备。同时本装置还适用于在本装置的一个阶段内实现受污染水源地的饮 用水的供应的系列产品。 技术创新点： 1）针对不同城市污水水质可以选择不同的膜材质。 2）针对不同废水规模可以加工大型或中型的集装式膜生物反应器。 3）不同处理程度的集装式膜生物反应器可以适用于同种废水而不同用户需求的回 用水质。 4）开发的自控技术，可以达到无人监管、在线检测的水平，使人工费降低及自动 控制达到较高的水平。 应用领域：城市污水深度处理及回用
同济大学
2021-04-13
一种荷正电聚电解质络合物均质渗透汽化膜的制备方法
本发明公开了一种荷正电聚电解质络合物均质渗透汽化膜的制备方法，主要包括以下步骤：(1)通过调节阳离子聚电解质溶液pH值，使其带有的氨基部分质子化，与阴离子聚电解质络合，得到荷正电聚电解质络合物；(2)将荷正电聚电解质络合物加入一元酸溶液中，配制荷正电聚电解质络合物分散液；(3)将荷正电聚电解质络合物分散液涂刮于聚砜超滤膜上，烘干得到荷正电聚电解质络合物均质渗透汽化膜，用于有机物脱水。利用该方法制备的渗透汽化膜，在60℃下，分离质量分数为70％水异丙醇溶液时，通量可达8100-9700gm-2h-1，透过液中水质量分数可达96.4-99.3％。因此，所制备的荷正电聚电解质络合物均质渗透汽化膜具有高分离选择性和高耐水性。
浙江大学
2021-04-13
一种络合反应协同双极膜电渗析实现镁锂分离的新工艺
本发明涉及膜分离和资源回收技术领域，公开了一种络合反应协同双极膜电渗析实现镁锂分离的新工艺。该工艺利用乙二胺四乙酸根可在特定条件下与镁离子选择性络合形成带负电荷络合物的特性以及电渗析系统的阴阳离子分离性能，实现卤水、油气田废水、海水等锂镁混合体系中的镁锂分离。上述方法利用现有的商业阳离子交换膜与含有乙二胺四乙酸根的料液或废液即可实现镁锂混合溶液中锂离子的选择性分离，无需研发新型一多价选择性离子膜，可规避目前一多价选择性阳离子交换膜研发所面临的膜选择性与通量相互制约、分离层稳定性差等问题，为目前镁锂分离提供一种新的策略，具有工艺简单，锂离子选择高，周期短，环境友好及可连续化生产等优势。
南京工业大学
2021-01-12