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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法，包括如下步骤：（1）在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；（2）对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题，在提高刻蚀效率的同时，提高了对光刻胶的选择比，刻蚀槽侧壁垂直度高，粗糙度小，刻蚀深度大。
华中科技大学
2021-04-14
海南省科学技术厅关于组织申报2023年度海南省高新技术企业相关财政补助资金的通知
根据《海南省人民政府办公厅关于印发海南省促进经济高质量发展若干财政措施的通知》（琼府办〔2021〕65号）、《海南省高新技术企业培育库管理办法》（琼科规〔2021〕3号）、《海南省高新技术企业“精英行动”奖励管理实施细则》（琼科规〔2022〕21号）的有关规定，为做好2023年度高新技术企业“精英行动”奖励、高新技术企业研发经费增量奖励、整体迁入高新技术企业奖励和高新技术企业培育库入库企业研发经费增量奖励资金申报工作，现将有关事项通知如下
省科学技术厅
2023-07-13
关于组织申报国家重点研发计划“重大自然灾害防控与公共安全”重点专项2023年度定向项目的通知
近日，科技部印发了《关于发布国家重点研发计划“数学和应用研究”等重点专项2023年度定向项目申报指南的通知》（国科发资〔2023〕112号）（请至“国家科技管理信息系统公共服务平台”网站https://service.most.gov.cn/下载）。根据通知要求，现将我省组织申报与推荐“重大自然灾害防控与公共安全”重点专项“环鄱阳湖区域尾矿库溃坝风险精准防控关键技术研究与应用示范”部省联动项目有关事项通知如下
江西省科技厅
2023-07-11
清华大学等40所高校联合组织互联网创新 国家未来互联网试验设施FITI项目推进工作会举行
5月12日，未来网络试验设施国家重大科技基础设施：未来互联网试验设施FITI项目推进工作会议在清华大学举行。清华大学等40所项目承建高校负责人员100多人参会。
中国教育和科研计算机网
2023-05-16
组织高水平高校培养高素质中小学教师人才——教育部印发《关于实施国家优秀中小学教师培养计划的意见》
首批试点支持30所“双一流”建设高校承担培养任务，每年每校通过推免遴选不少于30名优秀理工科应届本科毕业生攻读理学、工学门类研究生或教育硕士，同时面向在读理学、工学门类的研究生进行二次遴选，重点为中小学培养一批研究生层次高素质科学类课程教师。
教育部
2023-07-27
基于机器视觉的无人机自动检测方法及无人机管制方法
一种基于机器视觉的无人机自动检测方法及无人机管制方法,利用图像采集装置自动巡天；自适应光照变化并躲避强光的直射，获取待检测区域的图像序列，利用序列图像之间的目标运动特性和单幅图像中的目标与背景的差异，自动检测无人机等低空飞行器，并通过对其卫星定位信道和遥控信道进行无线电干扰以实现无人机管制的目的
华中科技大学
2021-04-10
基于机器视觉的无人机自动检测方法及无人机管制方法
本发明公开了一种基于机器视觉的无人机自动检测方法及无人机管制方法,利用图像采集装置自动巡天；自适应光照的变化并躲避强光的直射，获取待检测区域的图像序列，利用序列图像之间的目标运动特性和单幅图像中的目标与背景的差异，自动检测无人机等低空飞行器，并通过对其卫星定位信道和遥控信道进行无线电干扰以实现无人机管制的目的；本方法可对全天域进行监控，并在巡天过程中自动调整光学成像传感器的指向以避免被强光直射，可以实时自动学习环
华中科技大学
2021-04-14
一种短路电流零点预测方法及短路电流选相分断控制方法
本发明公开了一种短路电流零点预测方法及短路电流选相分断 控制方法，短路电流选相分断控制方法包括 S1 实时采集电流信号，并 判断是否发生短路故障，若是，则转入步骤 S2，若否，则继续采集电 流信号；S2 采用类-Prony 方法对短路电流进行处理，获得短路电流零 点；S3 根据短路电流零点、断路器的分闸动作时间和最佳燃弧时间获 得距离目标相位的延时时间；S4 判断继电保护指令是否达到，若是， 则直接分断开关，若否，则进入延时倒计时；S5 判断延时倒计时时间 是否为 0，若是，则转入步骤 S6，若否，
华中科技大学
2021-04-14
同济大学化学科学与工程学院吴彤团队在超折叠导电材料方面再获新突破
受到蜘蛛纺丝多级水分管理过程的启发，同济大学吴彤团队使用价格低廉且完全水溶性的聚乙烯醇（PVA）为原料，通过水溶胶静电纺丝，结合水管理的温度梯度脱水/碳化的联合仿生技术，制备出一种逼近超折叠极限厚度（～10μm）和极限比表面（～1370m2/g）的且能够承受100000次以上无损真折叠的碳纤维膜材料（PVA-SFCNFMs）。
同济大学
2021-12-02
北京大学化学与分子工程学院楼宇自控系统设备采购及安装项目公开招标公告
北京大学化学与分子工程学院楼宇自控系统设备采购及安装项目 招标项目的潜在投标人应在登录东方在线www.o-science.com注册并购买获取招标文件，并于2022年06月15日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。
北京大学
2022-05-27