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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法，包括如下步骤：（1）在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；（2）对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题，在提高刻蚀效率的同时，提高了对光刻胶的选择比，刻蚀槽侧壁垂直度高，粗糙度小，刻蚀深度大。
华中科技大学
2021-04-14
浙江省科学技术厅 关于组织开展省级科技企业孵化器和省级及以上备案众创空间绩效评价工作的通知
根据《浙江省科技企业孵化器管理办法》《浙江省众创空间备案管理办法》规定，我厅将委托第三方机构开展2022年度省级科技企业孵化器和省级及以上备案众创空间绩效评价工作。现将有关事项通知如下。
浙江省科学技术厅
2023-07-18
广东省科学技术厅关于组织申报2023年度广东省重点领域研发计划“前沿新材料”重大专项项目的通知
为全面贯彻落实党的二十大和习近平总书记关于加强关键核心技术攻关的系列重要讲话精神，按照省委省政府关于科技创新的相关部署，根据《广东省重点领域研发计划“十四五”行动方案》，现启动2023年度广东省重点领域研发计划“前沿新材料”重大专项项目申报工作（申报指南见附件1）。
广东省科学技术厅
2023-07-27
青白散对慢性软组织损伤大鼠骨骼肌一氧化氮合酶系统和一氧化氮的影响
青白散对慢性软组织损伤大鼠骨骼肌一氧化氮合酶系统和一氧化氮的影响
成都体育学院
2015-02-26
2019年“双百计划”典型案例：校企共建一流实训基地，引领工程教育改革，培养IT卓越人才
四川华迪信息技术有限公司与电子科技大学计算机科学与工程学院从2005年开始开展大学生校外实践教育合作，随着校企合作实践教学项目在该学院改革创新并取得卓越成就，公司陆续与电子科技大学信息与软件工程学院、信息与通信工程学院开展了大学生实践教育合作。
中国高等教育博览会
2021-12-16
《Lancet Digital Health》报道北航医学科学与工程学院在肺癌人工智能研究的最新进展
研究提出了全肺分析人工智能模型，可利用CT影像无创预测肺癌患者的基突变状态和接受靶向治疗后的个体化疗效，最终可辅助肺癌患者的靶向治疗决策。
北京航空航天大学
2022-04-21
关于发布上海市2023年度“科技创新行动计划”科技小巨人工程项目申报指南的通知
为深入实施创新驱动发展战略，加快建设具有全球影响力的科技创新中心，打造一大批具有国内外行业竞争优势的科技小巨人企业，上海市科学技术委员会会同市经济和信息化委员会、市财政局启动实施2023年度“科技创新行动计划”科技小巨人工程项目申报工作。
上海市科学技术委员会
2023-07-11
电沉积低温烧结制备氧化物薄膜和微叠层技术
本技术可以获取各种单一氧化物和多元氧化物纳米薄膜，以及叠层氧化物纳米薄膜。可用于提高金属的抗腐蚀性能以及获得多种特殊功能，如铁电性能、磁性能、电致变色、化学催化、超导、光电转换等。 本技术可以获得Mg、Ca、Sr、Ba、Y、La、Ce、Yb、Ti、Zr、Hf、Ta、Cr、W、Mo、Mn、Fe、Co、Ni、Ir、Pd、Cu、Zn、Cd、Al、In、Si、Sn、Pb等元素的单一氧化物或它们的多元氧化物纳米薄膜，厚度<0.2um。氧化物薄膜质量优于溶胶凝胶法，厚度均匀，根据需要可以控制厚度膜。先后沉积不同的氧化物薄膜可以获得叠层氧化物纳米薄膜。制备过程简单，重现性好是本技术的优势。
北京科技大学
2021-04-11
聚苯硫醚复合专用树脂制备及纤维成形关键技术
课题组在国家863计划等资助下，研究聚苯硫醚（PPS）复合专用树脂制备及纤维成形关键技术; 研究开发了具有抗紫外特性的功能PPS纤维;研究确定了纳米SiO2增塑PPS纤维的新配方新工艺;自主设计开发了PPS纤维纺丝新型工艺与装备，成功纺制了具有优良物理机械性能纳米复合PPS纤维。成果已在企业推广应用。
东华大学
2021-02-01
锂离子电池富锂锰基正极材料的可控制备
北京大学工学院课题组在国内较早开展富锂锰基正极材料相关研究，在阴离子氧化还原过程的调制、阴离子电荷补偿机理、阴离子氧化还原过程的激发及阴离子氧化还原富锂锰基材料制备研究中取得了一系列重要进展。该研究构筑了一种O2型具有单层Li2MnO3超结构的富锂材料,可以提供400mAhg可逆容量，能量密度高达1360wh/kg,是目前锂离子电池锰基富锂正极材料最高可逆容量。这种材料通过一个单层的Li2MnO3,激活稳定的阴离子氧的氧化还原反应，形成一个高度可逆充放电循环。
北京大学
2021-02-01