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水蒸气透过量测试仪(称重法透湿仪)
产品详细介绍水蒸气透过量测试仪适用于塑料薄膜、复合膜等膜、医疗、建筑领域等多种材料的水蒸气透过率的测定。通过对水蒸气透过率的测定,达到控制与调节包装材料等产品的技术指标。水蒸气透过量测试仪符合GB 1037、GB/T 16928、ASTM E96、ISO 2528等多项标准。 水蒸气透过量测试仪W3/060特点: 计算机控制,试验过程自动化 单机六腔独立测试 一台主机可连接九台卫星机,实现六十个试样独立测试 间歇称重测量,每次测量前称重器自动清零 透湿杯称量气缸升降机构 标准风速 自动控温 自动控湿 温湿度检定口 试验报告可按文件格式、数据库格式、Excel格式存储 宽范围电源输入 标准砝码与标准膜二种快速校准模式 网络传输接口支持局域网数据集中管理与互联网信息传输 水蒸气透过量测试仪工作原理: 在一定的温度下,使试样的两侧形成一特定的湿度差,水蒸气透过试样进入干燥的一侧,通过测定透湿杯重量随时间的变化量,从而求出试样的水蒸气透过率等参数。 了解详情请致电:济南兰光0531-85068566   Labthink兰光产品: 1. 气体渗透仪 2. 透气性测试仪 3. 气体透过率测定仪 4. 透氧仪 5. 透湿性测试仪 6. 密封试验仪 7. 落镖冲击试验仪 8. 密封仪 9. 泄漏与密封强度测试仪 10. 氧气透过率测试仪 11. 热封仪 12. 氧气透过率测定仪 13. 水蒸气透过率测试仪 14. 薄膜拉力机 15. 摩擦系数仪 16. 初粘性测试仪 17. 智能电子拉力试验机 18. 撕裂度仪 19. 热缩试验仪 20. 电子剥离试验机 21. 揉搓试验仪 22. 瓶盖扭矩仪 23. 顶空气体分析仪 24. 磨擦试验机 25. 热封试验仪 26. 摆锤冲击试验仪 27. 墨层结合牢度试验机 28. 持粘性测试仪 29. 薄膜测厚仪 30. 雾化试验仪 31. 摩擦系数测试仪 32. 纸箱抗压机 33. 气相色谱仪 34. 摩擦系数测定仪 35. 测厚仪 36. 胶粘剂拉伸剪切机 37. 透气度测试仪
济南兰光机电技术有限公司 2021-08-23
压差法气体渗透仪(气体透过率测试仪)
产品详细介绍压差法气体渗透仪适用于塑料薄膜、复合膜、高阻隔材料、片材、金属箔片、橡胶、渗透膜等材料在各种温度下的气体透过率、溶解度系数、扩散系数、渗透系数的测定。压差法气体渗透仪符合GB 1038、ASTM D1434、ISO 2556、ISO 15105-2等多种标准。压差法气体渗透仪(VAC-V2)具有以下特点:测定试验气体透过率、溶解度、扩散与渗透系数;三腔独立测试,恒温控制,可选湿度控制;任意温度下的数据拟合功能;可扩展有毒、易爆等危险气体的试验;压差法气体渗透仪测试原理:将预先处理好的试样放置在上下测试腔之间,夹紧,首先对低压腔(下腔)进行真空处理,然后对整个系统抽真空,当达到规定的真空度后,关闭测试下腔,向高压腔(上腔)充入一定压力的试验气体,并保证在试样两侧形成一个恒定的压差(可调),这样气体会在压差梯度的作用下,由高压侧向低压侧渗透,通过对低压侧内压强的监测处理,从而得出所测试样的各项阻隔性参数。压差法气体渗透仪技术指标:测试范围: 0.05 ~ 50,000 cm3/m2·24h·0.1MPa(常规)                      上限不小于500,000 cm3/m2·24h·0.1MPa(扩展体积)                      注:常规和扩展体积通过体积填块来选择 控温范围:5℃~95℃控温精度:±0.1℃ 控湿范围:0%RH、2%RH~98.5%、100%RH(湿度发生装置另购)控湿精度:±1%RH真空精度:0.1Pa 测试腔真空度:<20Pa试样尺寸:Φ97mm试样数量:3 件(数据各自独立)透过面积:38.48cm2试验气体:O2、N2、CO2 等气体(气源用户自备)了解详情请致电:济南兰光0531-85068566 Labthink兰光产品:1. 透氧仪 2. 气体透过率测定仪 3. 透气性测试仪 4. 透湿仪 5. 透湿性测试仪 6. 密封试验仪 7. 落镖冲击试验仪 8. 密封仪 9. 泄漏与密封强度测试仪 10. 氧气透过率测试仪 11. 热封仪 12. 氧气透过率测定仪 13. 水蒸气透过率测定仪 14. 薄膜拉力机 15. 摩擦系数仪 16. 初粘性测试仪 17. 智能电子拉力试验机 18. 撕裂度仪 19. 热缩试验仪 20. 电子剥离试验机 21. 揉搓试验仪 22. 瓶盖扭矩仪 23. 顶空分析仪 24. 磨擦试验机 25. 热封试验仪 26. 摆锤冲击试验仪 27. 墨层结合牢度试验机 28. 持粘性测试仪 29. 薄膜测厚仪 30. 雾化测试仪 31. 摩擦系数测试仪 32. 纸箱抗压试验机 33. 气相色谱仪 34. 摩擦系数测定仪 35. 透气度测试仪 36. 测厚仪 37. 摩擦系数试验仪
济南兰光机电技术有限公司 2021-08-23
三用紫外分析仪,暗箱式紫外分析仪
产品详细介绍  三用紫外分析仪,暗箱式紫外分析仪 三用紫外分析仪,暗箱式紫外分析仪,手提式紫外分析仪,台式紫外分析仪,凝胶成像系统,紫外灯管,紫外分析仪生产厂家,紫外分析仪用途,紫外分析仪原理 UVG25型紫外割胶仪  产品简介:领成UVG15 /UVG20 /UVG25型紫外割胶仪(暗箱替代型),结构现代,替代传统的庞杂的暗箱型紫外分析仪。 特别采用302nm波长对样品的破坏作用更小,它可适用于DNA、RNA电泳凝胶样品的观察,可检测蛋白质,核甘酸等,在制药工业中检查激素生物碱、维生素等能产生萤光的药品质量,对薄层分析,各种同功酶,纸层分析进行观察分析和摄影,并可作为PCR技术的专用仪器。  二、仪器结构 仪器装有二组透射紫外光源,提供不同的光强度。并专业设计的进口防紫外玻璃盖,可对样品全面直观地观察分析,紫外玻璃盖能过滤99%以上的紫外线  三、技术参数
上海领成生物科技有限公司 2021-08-23
智能型中医脉象仪,脉诊仪ZM-IIIC
ZM-IIIC智能型中医脉象仪   ZM-ⅢC智能型中医脉象仪又称为脉象采集仪及脉诊仪,用于无创伤性中医脉象检测,能实时显示和存储数字化脉波信号,自动判读脉象的位、数、形、势,识别脉图特征参数,并以多维逻辑判断模式确定脉名;能以脉诊检测为线索,经人机对话询问病人症状,作出初步的八纲和脏腑辩证结论,能显示和打印系列脉图、最佳脉图及其特征参数、取脉压力、脉幅趋势图、40秒脉波趋势图等组成的脉图检测报告,以及脉象提示的动脉系统张力、阻力、生理年龄、自律神经平衡状态和辩证结论等组成的临床辅助诊断报告。   一、仪器用途: 本仪器作为中医临床检测和基础实验教学的智能化仪器,可广泛用于中医诊断学实验教学以及中医各科的临床辅助诊断、病情监护,中药、针灸、康复、保健措施的疗效评价,为教学、科研、临床提供客观指标,本仪器在计算机网络远程教学和远程诊断方面也有良好的应用前景。   二、仪器组成: ■ 硬件:由MH-IIA型单探头脉象换能器、脉象采集器(含A/D转换器)、USB数据线以及用户自备电脑(留有空置的串行通讯口)和LQ模式点阵打印机等组成。 ■ 软件:ZM-IIIC智能型中医脉象仪操作系统(由仪器附带的光盘安装),工作于WINDOWS工作平台,有简体中文和英文版两种软件系统。   三、技术指标: (一)MH-IIA型单探头脉象换能器: ■ 灵敏度:0.5mv/克力(桥压6V) ■ 线性范围:0-250克力 ■ 温度漂移:小于2%(F.S)(-5℃-+40℃) ■ 机械滞后:小于1%(F.S) ■ 输出阻抗:1kΩ ■ 固有谐振频率:大于1000HZ(-3db) ■ 最大垂直位移距离:大于15mm   (二)脉象采集器: A:交流放大回路(脉搏波回路): ■ 输入动态范围:0-25mv(相当0-50克力,动态力) ■ 满幅输出:4.5V ■ 时间常数:大于3秒 ■ 上限截止频率:大于1000HZ(-3db) B:直流放大回路(取脉压力回路): ■ 输入动态范围:0-125mv(相当0-250克力,静态力) ■ 电源:交流220V/50HZ或110V/60HZ(根据用户要求定) ■ 功耗:小于10VA ■ 尺寸:145×115×25mm ■ 重量:0.5kg; ■ 连续工作时间:4小时,停机1小时后再开机。 C:A/D转换器:4路12位A/D转换。   四、各功能栏介绍: 1、系统栏:管理系统通讯口的参数设定,本系统对有关参数的设定为: 通讯口:COM1/COM2/COM3,速率为9600,回显:关。 握手协议:数据位8,校验位NONE,停止位2,流控制NONE。 通讯口请查看电脑中的“设备管理器”中的端口编号设定,其余参数用户不得更改。系统运行时,如发生通讯出错的情况,请用户核对上述参数,并作重新调整,系统通讯可恢复正常,如仍不能采样,则关闭电脑和脉象采集器后重新启动。 2、信息输入栏:点击该栏,屏幕弹出病人信息输入窗口,内容有病例号、姓名、性别、年龄、身高、体重、血压(PS、PD)、电话、地址等项目。用户可按键盘上的“Tab”键,选择信息输入项目,逐一输入。当各项输入完毕,再按“Tab”键,则指示“确认”输入信息,用户确认输入信息无误后,可按键盘上的“回车”键,或移动光标点击“确认”键,均可完成输入信息的储存,用户在输入性别项时,可用键盘上的“左、右”移动点标记确定性别,或用鼠标移动光标点击确定。输入血压时,可直接输入kpa数值;如输入mmHg数值,系统亦可换算成kpa数值。 3、脉图采样处理栏:点击该栏,系统即进入脉图采样处理界面,该界面上半部分为脉波实时采样显示和处理区;下半部分左侧为系列脉图采样过程中上一段采样的脉图序号、取脉压力、波形的显示区;下半部分右侧为系列脉图采样过程中取脉压力,脉幅趋势的显示区。在脉波实时采样显示和处理区中:左上角为脉图采样序号(NO:)以及实时取脉压力(P(g))的显示区;右上角为时间显示区;上部中间区为系统操作提示区,如提示调整取脉压力等信息;中部为实时采样的脉波显示区,横坐标为时间(t(s)),纵坐标为脉波动态搏动力(F(g));下部为采样处理的功能键区,各功能键意义为: “采样”键:点击该键即开始脉波数据采样。系列脉图六段采样时,每段采样时间为10秒,采样序号显示从1至6,40秒脉图采样时,采样时间为40秒,采样序号显示40秒 “重放”键:点击该键即重新显示本次采样的脉波信号,可观察信号的质量。 “返回”键:在一次采样后点击此键表示放弃本次采样的数据,返回本次采样序号重新采样。 “储存”键:点击该键表示确认本次采样,将数据存入系统。 “扫描”键:点击该键即可在两种屏幕扫描速度25mm/s和50mm/s之间切换,横坐标每一大格表示1秒和0.5秒。 “增益”键:可调节信号幅值的放大或衰减,点击该键即可在信号灵敏度×1、×2、×1/2三档之间切换。位于×1档时,即幅值显示灵敏度为1g/mm,屏幕上纵坐标每一大格为10mm,相当10g搏动力。而×2档(即0.5g/mm)、×1/2档(即2g/mm)时,纵坐标每一大格分别表示5g、20g搏动力。 “分析”键:在按操作提示测完系列脉图和40秒脉搏趋势图后,如确认无误应作进一步脉象分析,点击该键则屏幕退到系统界面,并弹出辨脉过程的窗口,包括所测的系列脉图的始终脉图、最佳脉图及参数,P-H1和40秒趋势图,以及测脉结论。 “结束”键:在系列脉图或40秒脉采样过程中,如对本次采样的总体信号质量不满意,则点击该键可结束当前工作,放弃全部数据资料,并返回系统界面。但保留本次采样前输入的病人信息资料,以便重新进入脉图采样过程。 在脉图实时采样过程中,功能键的状态有两种情况:功能键字符为实体字,表示该键处于可操作状态;功能键字符为虚体字,则表示该键功能处于封闭状态。 4、40S脉图采样处理栏:点击该栏,系统即进入40秒脉图采样界面。该界面上部为脉图实时采样显示和处理区,下部为40秒趋势图显示区。操作、处理均同脉图采样处理。完成单独测试40秒脉图,如确认采样无误并储存信号后,点击“分析”键,则显示40秒趋势图,以及取脉压力、平均脉率、有无异常节律、自律神经平衡状态等分析结论。而点击“结束”键,则放弃采样数据,保留病人信息,返回系统界面。 5、辩证栏:脉图采样处理按操作提示完成后,应进入病人的辩证过程,点击该栏则弹出由脉诊作线索的问诊窗口,包括主症、兼症、舌象、追问等内容。问诊后,系统进行辩证,并提供包括动脉系统张力、阻力、生理年龄、自律神经平衡状态,以及辩证结论在内的临床辅助诊断报告。 6、打印/显示栏:点击该栏,系统弹出辨脉、辩证结果的窗口,依次显示本次测脉和辩证的有关资料和结论,显示完毕后可点击窗口上的“打印”键,可打印出一份辨脉辩证的综合报告。 7、数据保存栏:点击该栏,系统弹出数据保存的“输入信息窗口”,用户可自定义一个文件名,保存一次辨脉、辩证的数据文件,数据文件名称最多可由8个字符加3个扩展名组成,用户应根据数据文件管理的需要,规范命名,防止重码。 8、读取数据栏:点击该栏,系统弹出重新读入辨脉辩证数据文件的“输入信息窗口”,用户根据需要输入文件名,确认后即可转由打印/显示栏得到所需数据文件的全部辨脉、辩证资料,屏幕显示结束后可打印资料。 9、退出系统栏:点击该栏,即退出操作系统,返回WINDOWS系统界面。 10、“关于”栏:点击该栏,系统弹出的窗口显示本操作系统软件的版本。   五、系列脉图(含40秒脉图趋势)检测: 开机进入辨脉、辩证系统界面后,依下列顺序操作: 1、输入病人信息:打开“信息输入”栏操作,如未输入信息,操作者想直接进入脉图采样,系统会提示要先输入相关信息。 2、进入系列脉图检测:“打开脉图采样处理”栏操作,按屏幕上方中部操作提示区的提示要求,先固定好脉象换能器,换能器的探头,一般固定于腕部掌侧桡骨小头内侧N桡动脉搏动点部位,即“关”部。亦可按医嘱固定于“寸”或“尺”部检测,然后调节换能器的取脉压力调节螺旋钮,观察显示屏左上角的取脉压力数据(p(g)),调节到提示的压力值,系列脉图采样时,屏幕上提示的规范化压力梯度为50g/100g/125g/150g/175g/225g等六个档次,计采样六段信号。每次按提示的压力要求加压完毕后,待屏幕显示的脉波信号稳定后,应立即采样,防止出现因不及时采样而取脉压力变小的软组织应力松驰现象。另外,第二、第四两档压力,应控制在≤100g,≥175g近的数值,其他压力则控制在规定数据上下附近。 3、每次采样完毕操作提示部显示“重放/返回/存储?”的提问,如对所采集的脉波数据疑有随机信号干扰,则可点击“重放”键,重新显示本段采样的信号,显示完毕,提示部出现“返回/储存?”的提问,如信号质量不佳,点击“返回”键,则放弃本段采样的数据,保持本段采样序号,操作提示部提示保持原段的采样压力重新采样。如信号质量满意,则可点击“储存”键,将所采的数据存入系统。点击“储存”键后,采样序号刷新一次,并提示按下一段采样的压力数值进一步操作;屏幕下部左侧会显示刚采完的一段脉波,供下一步采样操作做波形对比参考;屏幕下部右侧的P-H1趋势图上,则会显示刚采完一段波形取脉压力与平均幅值的坐标点,并以连线与前一段的坐标点相连,显示P-H1变化趋势。 参数调整界面   4、六段系列脉图采样完毕后,脉图采样界面上弹出“选择最佳脉图”的窗口,系统以红色曲线标记其选择的最佳脉图。如果操作者判断系统识别有误,则可点击各段序号前的圆圈,人工干预作最佳脉图选择。选定后或系统识别正确,均应点击“进入参数调整”键,进入下一步骤。 5、屏幕弹出“参数调整”窗口后,界面上显示由系统识别的最佳脉图幅度、时间参数的位置。如系统识别有误,操作者可点击h1-h5幅值参数后的圆圈调整该参数。点击圆圈后,该参数的标记线段变成红色,可移动“左、右”两个方向键,把标记线移到正确的位置,参数调整过程中,屏幕上相应的参数值会改变,当应调整的参数操作完毕后,点击“调整结束”键进入下一步骤。 6、屏幕返回到脉图采样界面,采样序号提示为“40S”,操作提示要求调整到最佳取脉压力测脉。操作者可经“采样”、“储存”两个步骤,完成40秒脉图检测,之后点击“分析”键,则屏幕返回系统界面,弹出的窗口逐一显示辨脉的过程和结论。如操作者放弃本次全部采样,则点击“结束”键。   7、辩证: 完成系列脉图(含40S脉图)检测,并显示辨脉分析结论后,应进入系统的辩证程序。点击辩证栏,界面弹出辩证分析的窗口,操作者应按屏幕显示的问诊信息,在主症、兼症、舌象、追问各界面,点击病人具体的症状,完成人机对话,该栏最后可显示临床结论,确认后,返回系统界面。 8、打印/显示辨脉、辩证报告: 点击“打印”栏后,屏幕弹出辨脉、辩证报告的窗口,逐次确认显示完毕后,点击“打印”键,则可打印辨脉、辩证报告。 A:测脉结论报告: 脉位:分浮、中、沉三类。 脉力:分有力、中、无力三类。 脉势:分满实、正常、低乎虚、中空虚四类。 脉率:分迟、缓、平、带数、数、疾六类。 节律:分正常、不齐、结代、促四类。 脉形:以a,b,c分别标记主波、重搏前波、重搏波,按各波出现的情况分为abc,ab,ac,a等四种脉形。 脉名:按位、数、形、势综合判别,有平、弦I、弦II、弦III、弦IV、滑、平滑、平弦、弦滑、涩、芤、濡、虚、实、弱、微、散、革、牢、紧、洪、细、浮、沉、迟、缓、数、疾、结代、促等。 B:临床辅助诊断报告: 张力:反映动脉管壁紧张程度,结论分张力高、张力正常、张力低三类。 阻力:反映动脉系统外周阻力,结论分阻力高、阻力正常、阻力低三类。 生理年龄:系统按脉图特征参数与生理年龄相关性推出的结论,可提示动脉系统的生理状态。 自律神经平衡状态:反映交感神经与副交感神经平衡状态的指标,结论包括低水平平衡、正常水平平衡、高水平平衡、大体平衡、交感神经功能亢进、副交感神经功能亢进等类型。 辩证结论:根据脉象分析和问诊的综合分析,从八纲、脏腑、气血津液等方面提供临床辩证的结论。 9、数据保存: 在打印辨脉、辩证报告完毕后,按相关操作方法,建立数据文件,或者在不需要现场打印报告的时候,先打开数据保存栏,建立文件保存数据。
上海欣曼科教设备有限公司 2021-08-23
Ф100灌砂筒-工地容重测定仪(河北路仪)
产品详细介绍Ф100灌砂筒-工地容重测定仪(河北路仪) 适用于测定路基、路面(砂石)的密度和压实度;规格:Ф100、Ф150塑料灌砂筒、Ф150、Ф200;  
沧州西工业区西33号 2021-08-23
动物源食品致病菌鉴定及其耐药和毒力基因检测复合芯片
本发明提供了动物源食品致病菌鉴定及其耐药和毒力基因检测复合芯片。本发明提供了用于鉴定动物源食品致病菌、致病菌耐药基因和/或致病菌毒力基因的探针,由序列1‑序列171所示的单链DNA分子组成。本发明实验结果表明:本发明的动物源食品中致病菌鉴定及其耐药和毒力基因检测复合芯片,能够有效的达到同时鉴定细菌及其毒力和耐药基因的综合目的。
中国农业大学 2021-04-11
用于鼻咽癌发病风险预测的试剂盒及基因芯片
鼻咽癌是鼻咽上皮来源的恶性肿瘤,多发于鼻咽顶部和咽隐窝,是一种多因素影响的复杂性疾病,其 发生与发展与遗传因素、EB病毒感染及环境因素密切相关。本研究成果提供了一种用于鼻咽癌的发病风 险预测的试剂盒以及相应的基因芯片,可同时检测多个鼻咽癌易感基因SNP位点,为个体罹患鼻咽癌风险 程度、鼻咽癌高发区人群普查,筛查鼻咽癌发病高危人群以及进行相应预防措施提供参考。本研究成果涵 盖了11个鼻咽癌易感基因SNP位点及EB病毒分型,运用本研究成果设计的Taqman探针及引物,采集受试者 的生物样本进行核酸提取及荧光定量PCR最终获得其基因分型。本研究成果对于鼻咽癌发病风险预测的效 果良好,曲线下面积可达0.737,95%置信区间为0.672-0.802;p值达到了5.06E-10。此预测模型预测鼻咽 癌发病风险的灵敏度和特异度分别为87.41%和53.00%。
中山大学 2021-04-10
一种可扩展的套管型微流控芯片的制备方法
本发明公开了一种可扩展的套管型微流控芯片的制备方法,包括以下步骤:S1:将与通道尺寸匹配的预置物放入PDMS预聚物中,加热聚合PDMS,裁成PDMS块;S2:将预置物移除,留出放置通道的管槽,管槽具有两个管口;S3:使用倒角打磨后的点胶针筒,在PDMS块垂直于管槽的方向上开通孔;S4:将PDMS块开孔的两面分别与基底和顶层键合,其中顶层预置有加样孔;S5:从管槽的一个管口插入内径均匀的毛细玻璃管,从管槽的另一个管口插入预拉尖的毛细玻璃管,完成单级套管型微流控芯片的制作;S6:复用所述毛细玻璃管,重复步骤S5,形成多级套管结构。本发明有效降低了套管型微流控芯片制作的操作难度和经济成本。
东南大学 2021-04-11
通信感知一体化氮化镓光电子集成芯片
研究背景 芯片是人类最伟大的发明之一,也是现代电子信息产业的基础和核心。小到手机、电脑、数码相机,大到6G、物联网、云计算均基于芯片技术的不断突破。半导体光刻工艺水平的发展是以芯片为核心的电子信息产业的基石,目前半导体光刻的制造工艺几乎是摩尔定律的物理极限。随着制造工艺的越来越小,芯片内晶体管单元已经接近分子尺度,半导体制作工艺的“瓶颈效应”越来越明显。随着全球化以及科技的高速发展,急剧增长的庞大数据量要求数据处理模型和算法结构不断优化升级,带来的结果就是对计算能力和系统功耗的要求不断提高。而目前智能电子设备大多存在传输瓶颈、功耗增加以及计算力瓶颈等现象,已越来越难以满足大数据时代对计算力与功耗的需求,因此提高运算速度同时降低运算功耗是目前信息工业界面临的紧要问题。 如当年集成电路开创信息时代一样,当下已经普及的光通信正在成为新革命力量的开路先锋。与此同时,光子芯片正在从分立式器件向集成光路演进,光子芯片向小型化、集成化的发展趋势已是必然。相对于电子驱动的集成电路,光子芯片有超高速率,超低功耗等特点,利用光信号进行数据获取、传输、计算、存储和显示的光子芯片,具有非常广阔的发展空间和巨大的潜能。 项目功能 本项目瞄准光通信关键技术及核心芯片,基于量子阱二极管发光探测共存现象,探索关键微纳制造技术,研制出可以同时实现通信、感知功能的一体化光电子芯片。 技术路线 一、技术原理及可行性 本项目主要负责人王永进教授发现如图1所示的量子阱二极管发光探测共存现象,首次研制出同质集成发射、传输、调制和接收器件的光电子芯片,这些原创工作引起了业界相关科研小组地广泛关注,化合物半导体同质集成光电子芯片成为研究热点。香港大学的蔡凯威小组和申请人合作提出湿法刻蚀和激光选择性剥离技术,在蓝宝石氮化物晶圆上实现LED基同质集成光电子芯片(Optica 5, 564-569 (2018))。沙特阿卜杜拉国王科技大学Ooi教授和美国加州大学圣巴巴拉分校Nakamura教授小组在蓝宝石氮化物晶圆上,研制出基于氮化物激光器的同质集成光电子芯片(Opt. Express 26, A219(2018))。中科院苏州纳米所孙钱小组在硅衬底氮化物晶圆上,研制出基于氮化物激光器的同质集成光电子芯片(IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 24, 8200305 (2018))。在NRZ-OOK调制方式下,InGaN/GaN量子阱二极管可实现Gbps的光发射、调制和探测速率(Appl. Phys. Express 13, 014001 (2020))。这些工作表明研发基于光子传输的化合物半导体同质集成光电子芯片以实现片上光子通信是可行的。   二、总体结构设计及工艺流程 本项目提出的同时通信/感知一体化光电子芯片基于常规的蓝宝石衬底氮化镓基多量子阱LED外延片进行设计,无需特殊定制的外延结构。以典型的2寸氮化镓基蓝光LED外延片为例,其外延片结构如图2所示,从下至上依次为蓝宝石衬底、AlGaN缓冲层、未掺杂GaN层、N型GaN层、InGaN/GaN多量子阱层和P型GaN层,通过调节InGaN/GaN多量子阱层的参数(层厚度与In的比例等等)可制备具有不同中心波长的光源器件。   图3为本项目所提出的同时通信/感知一体化光电子芯片结构。在蓝宝石衬底的氮化物晶圆上通过刻蚀和沉积等一系列晶圆级微纳加工技术,制备出单片集成的InGaN/GaN多量子阱LED和PD。光子芯片的P、N电极可以采用倒装技术直接与基板相连,光线从透明的蓝宝石衬底发出,这样不仅使得器件具有优良的电性能和热特性而且简化了其后期的封装工艺。 三、技术创新优势 1、同一块晶圆上集成LED和PD使得两者间距离大大缩短,不仅有助于增强PD对蓝宝石表面反射光线的耦合,提升感知系统性能,而且缩小了器件整体外形,符合集成电子器件小型化、便携化的发展趋势; 2、单片集成的LED和PD器件相比于传统异质的、分立的LED和PD简化了封装形式和工艺,不再需要对LED和PD进行单独的封装,而且同质集成器件的基板也较异质结构的简单统一,极大地缩短了集成系统的制作周期; 3、同时通信/感知一体化光电子芯片采用相同的工艺就可以制作出LED和PD,简化了生长异质材料的复杂性,缩短了器件流片的周期,使用同一工艺就可将LED和PD进行批量生产,有效地降低了生产成本。 四、实验验证 本项目团队所在的Peter Grünberg研究中心拥有完整的LED器件制备、光电性能测试与电学性能测试平台,并且项目成员积累了丰富的测试技术与经验,能够满足本项目的同时通信/感知一体化光电子芯片测试同时表征光电参数与电学参数的需求。下图4所示为器件形貌表征图,从左边依次是扫描电镜图、光镜图、原子力显微镜图。   基于通信感知一体化芯片,本项目利用单个多功能集成器件成功实现了对人体脉搏的监测功能,如图5所示。   另外基于通信感知一体化氮化镓光电子芯片,我们还实现了照明、成像和探测功能为一体的LED阵列系统,如图6所示。该系统可以在点亮照明的同时,实现对外界光信号的探测与感知,通过后端系统处理后,再将信息通过阵列显示出来,实现多种功能的集成。 项目负责人王永进教授是国家自然基金委优秀青年项目、国家973项目获得者,他以第一或通讯作者身份在Light-Sci Appl.等主流学术期刊发表一系列高质量研究论文,获授权中国发明专利23项,美国发明专利2项,被National Science Review、Semiconductor Today等做9次专题报道,荣获2019年中国电子学会科学技术奖(自然科学)、2019年南京市十大重大原创成果奖等。
南京邮电大学 2021-05-11
一种 LED 倒装芯片的圆片级封装结构、方法及产品
本发明公开了一种 LED 倒装芯片的圆片级封装结构、方法及产 品,包括 LED 倒装芯片、硅基板、透镜、印刷电路板和热沉;硅基板 正面加工有放置芯片的凹腔,凹腔底部的长度与芯片的长度相同;硅 基板的反面加工有两组通孔,两通孔与凹腔相连通;在凹腔和两通孔 的表面沉积有绝缘层;凹腔表面的绝缘层上沉积有散热金属层和反光 金属层;两通孔内填充有金属体,通孔内的金属体与凹腔表面的散热 金属层相接;凹腔内底部的两金属层存在一开口,用于将该金属层隔 离为两部分;硅基板的反面沉积有绝缘层,该绝缘层表面布线用于电 极连接的金属层;凹腔内涂覆有荧光粉,凹腔的外围加工有用于固定透镜的环形定位腔。本发明能够提高 LED 出光效率、加强散热能力且 完成自对准。 
华中科技大学 2021-04-11
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