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一种光刻机自动调焦方法及装置
本发明公开了一种光刻机自动调焦方法及装置,其方法是将平行光束经第一狭缝投射至硅片表面,再经振动反射镜扫描后通过第二狭缝,由光电探测器接收光强信号,然后通过提取光强信号中二倍于扫描频率的频域成分得到硅片的粗调量,通过提取光强信号中一倍于扫描频率的频域成分得到硅片的精调量,最后由驱动装置调整硅片至焦点位置。调焦装置主要由两个狭缝、一个振动反射镜、光电传感器、驱动台和若干光学镜片组成,信号处理过程由计算机编程完成。该方法与装置相较于以往对比光斑强度进行调焦的方式,具有结构简单、响应迅速、精度高(优于 0.
华中科技大学 2021-04-14
一种复合波片光轴对准方法及装置
本发明公开了一种复合波片光轴对准方法及装置。将待对准复合波片的两片晶片装在支架上之后分别安装在固定、旋转波片卡盘上;从光源发出的光经过起偏器后形成线偏振光;通过待对准的复合波片后,线偏振光偏振态发生变化;根据探测器探测到的透射光强信号可进一步获得待对准复合波片相位延迟波动量的变化幅值;比较相位延迟波动量的变化幅值的相对大小;通过电控旋转台控制旋转波片卡盘转动,直至将复合波片的光轴对准到所要求的精度范围内。装置包括光源,起偏器,固定波片卡盘,旋转波片卡盘,旋转检偏器,探测器,电控旋转台,计算机,步进电机和电控旋转台控制器。该方法可以实现对复合波片光轴进行高精度对准,装置简易,操作简单。
华中科技大学 2021-04-11
储能规划配置方法及应用
储能在新型电力系统中源、网、荷侧发挥重要的作用,储能规划运行和安全管理是推广储能可靠、安全、经济运行的重要保障。本项目围绕电力系统中不同应用场景的源、荷特性,针对光伏电站弃光率高和预测合格率低的问题,结合电池储能SOX(SOH、SOP及SOE)动态性能,进行能量管理优化,提出了一种计算每个月光伏预测的合格率及惩罚成本的技术,可有效提升不同应用场景的储能安全性和系统经济性。 发电侧:提升预测精度,减小惩罚成本,多目标优化; 配网侧:可削峰填谷,提升分布式光伏消纳; 负荷侧:成本低,收益大。
南京工业大学 2024-07-11
一种磁纺装置及使用该装置制备微纳米纤维的方法
该发明公开了一种磁纺装置及利用该装置制备微纳米纤维的方法,该装置包括可控制给料速率的给料装置,纺丝喷头,喷头驱动机构和纺丝接收装置,接收装置为水平圆盘,与无刷电机联动,表面有多个竖直支柱,一个为永磁铁,其余为金属细线。  该设备以磁场力代替电场力,整个过程无需高压电作用,有效降低生产成本和安全隐患,同时可批量连续生产微纳米纤维,且制得的纤维排布有序,产量高适合大规模生产,所得纤维有很好的应用前景。
青岛大学 2021-04-13
一种垃圾箱和基于网络平台的垃圾分类收集系统及方法
其他成果/n一种垃圾箱,包括箱体和盖体,所述箱体内设有垃圾投放仓和位于所述垃圾投放仓下端的与其连通的多个垃圾分类存储箱,所述垃圾投放仓内设有红外线扫描纠错器,所述垃圾投放仓的上端设有自动开合门,所述盖体上设有与垃圾投放仓位置相对应的自动开合门,所述垃圾投放仓下端通过自动投放门与所述多个垃圾分类存储箱相连通,所述盖体上设有云计算反馈激励模块和位于所述自动开合门上方的垃圾分类扫描器。本发明一种垃圾箱是基于网络平台的并具有自动扫描智能分类的功能,云计算反馈模块与物业系统和市政中心系统连接,为物业和市政中心
武汉轻工大学 2021-01-12
一种监测锂离子电池荷电状态和健康状态的方法及其装置
本发明公开了一种监测锂离子电池荷电状态和健康状态的方法 以及装置,涉及电池技术领域。首先,以声波穿过不同充放电电流条 件下的各种荷电状态的锂离子电池,以获得声学参数,进而建立声学 参数分别与锂离子电池荷电状态和健康状态的对应关系,接着,通过 监测锂离子电池的声学参数,再根据所述的声学参数分别与锂离子电 池荷电状态和健康状态的对应关系,判断锂离子电池的荷电状态和健 康状态。本发明还提供实现如上方法的装置。本发明方法和装
华中科技大学 2021-04-14
一种刀具跳动量及刀刃初始角的测量方法及装置
本发明公开了一种刀具跳动量及刀刃初始角的测量方法及装置, 可以同步完成主轴跳动量及刀刃初始角的测量。本专利提出的装置通 过两个激光位移传感器同时采集刀柄跳动量及刀齿跳动量。前者数据 用于计算刀具跳动量,后者数据与前者数据共同用于确定刀刃初始角。 测量数据通过串口通信,交由上位机处理。刀具跳动量的计算通过刀 柄处的激光位移传感器采集的数据,进行波峰波谷求差直接获得;刀 刃初始角通过对刀柄、刀刃处激光位移传感器采集的两组数据进行波 峰相位求差获得。 
华中科技大学 2021-01-12
一种刀具跳动量及刀刃初始角的测量方法及装置
本发明公开了一种刀具跳动量及刀刃初始角的测量方法及装置,可以同步完成主轴跳动量及刀刃初始角的测量。本专利提出的装置通过两个激光位移传感器同时采集刀柄跳动量及刀齿跳动量。前者数据用于计算刀具跳动量,后者数据与前者数据共同用于确定刀刃初始角。测量数据通过串口通信,交由上位机处理。刀具跳动量的计算通过刀柄处的激光位移传感器采集的数据,进行波峰波谷求差直接获得;刀刃初始角通过对刀柄、刀刃处激光位移传感器采集的两组数据进行波峰相位求差获得。
华中科技大学 2021-04-14
复杂网络信息过滤的理论与方法
“复杂网络信息过滤的理论与方法”项目针对复杂网络上三类代表性的信息过滤问题——个性化推荐、链路预测和节点影响力排序——进行了系统研究。提出了以系综理论和似然分析为基础的网络信息过滤基础理论体系和以扩散动力学为基础的网络信息过滤系列方法。项目研究获得了国内外学术界广泛认可,国际顶级学术期刊多次引用项目组的论文,一些重要学术媒体给予相关工作高度评价,研究成果已服务于真实商业应用并产生了客观的社会经济价值。本项目提出的基于局部扩散的推荐方法是北京百分点科技的核心算法,服务了800余家电商和500余家媒体客
电子科技大学 2021-04-14
新型污染水体修复、运行、监测技术及耦合平台
本项目研发的新型污染水体修复、运行、监测技术及平台集成了 污染水体修复技术包括人工湿地技术,尾矿污水处理技术和先进的监 测及数字模拟技术,旨在进行污染水体修复的全过程管理。现在已经 在加拿大,非洲,中国的天津建成了多个污染水体处理及修复项目。 天津的两个人工湿地项目面积均超过 4 万平米,日处理量可达 8000 吨。 项目特色: 1) 解决了高浓度污水的处理问题 (例如,进水总磷 5.5mg/L 可处 理至 0.4mg/L); 2) 解决了冬季低温运行问题; 3) 全过程监控和数字模拟平台解决了运行中不稳定的问题,同时优 化运行可以在保证处理目标的实现,同时节约大量水处理的运行 费用。 
南开大学 2021-04-13
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