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跨尺度微纳表面结构高精度测量关键技术及系统
本成果创新性发明了白光干涉原子力探针扫描跨尺度微纳表面结构高精度测量技术及系统。 本项目依托华中科技大学仪器学科在表面形貌与结构精密测量领域的传统特色优势和长期积累的科研基础,在国家重大科学仪器设备开发专项、国家自然科学基金仪器研制专项、国家863重点项目课题、国家自然科学基金面上项目等支持下,针对相关制造领域微米尺度、纳米尺度、跨尺度微纳表面结构精密测量问题开展了系列研究。本成果技术主要包括以下方面: 1)提出了白光干涉原子力探针扫描跨尺度微纳表面结构测量原理和方法,共光路融合白光显微干涉与原子力探针传感,突破跨尺度微纳传感瓶颈,解决大动态范围微纳结构测量难题,实现nm-μm-mm跨尺度微纳表面结构高效测量; 2)提出了白光干涉原子力探针扫描跨尺度测量的可溯源标定和坐标统一方法,突破了白光干涉与原子力探针跨尺度微纳传感的坐标统一瓶颈和漂移难题,实现了微纳表面结构跨尺度测量的可溯源和稳定高精度; 3)提出了白光干涉质量评价模型和三维图像噪声区域辨识与重建方法,及二维扫描工作台平面度误差阿贝补偿与二维运动同步计量方法,解决噪声问题与宏微驱动二维工作台运动误差对测量精度的影响问题,为跨尺度微纳表面结构高精度测量提供支撑。 图1 微纳结构多模式跨尺度测量仪器实物图 图2 白光干涉原子力探针扫描跨尺度微纳表面结构测量原理示意图 【技术优势】 本成果项目研制了具有我国自主知识产权的白光干涉原子力探针扫描测量仪等系列微纳表面结构测量仪器,并通过了国家计量院组织的仪器性能和软件的检定测试,纳米尺度原子力垂直测量范围超出国际商用仪器10倍以上,水平动态范围达国际领先水平。 【技术指标】 本成果项目提出了白光干涉原子力探针扫描跨尺度微纳表面结构测量原理和方法,建立跨尺度传感方法,实现nm-μm-mm跨尺度微纳表面结构高效测量。同时,发明的白光干涉原子力探针扫描测量方法与现有商用原子力显微镜相比,垂直测量范围提高10倍,分辨率优于0.01nm。
华中科技大学 2023-05-15
一种微纳深沟槽结构在线测量方法及装置
本发明公开了一种微纳深沟槽结构在线测量方法及装置。其方法是将线偏振红外光束投射到含有深沟槽结构的样件表面,对沟槽结构各界面反射光形成的干涉信号进行滤波等处理得到测量反射光谱;采用基于偏振的等效介质理论构建该深沟槽结构等效光学模型,计算其理论反射光谱;采用人工神经网络结合局部搜索算法的快速参数提取方法,通过理论反射光谱拟合测量反射光谱,快速提取沟槽的宽度和深度,实现深沟槽几何形貌参数的精确在线测量。装置包括红外光源,红外偏振片,干涉仪,平面反射镜和二个离轴抛物镜以及红外探测器。装置可实现场效应管和动态
华中科技大学 2021-04-14
置物箱
本实用新型公开了置物箱,属于置物箱技术领域。置物箱,包括底座,底座底面上固定安装有万向滚轮,万向滚轮上固定连接有锁紧装置,底座上方设置有封闭式置物装置,封闭式置物装置包括有大型置物柜和小型置物柜,大型置物柜和小型置物柜均包括有柜门和置物腔,柜门的一侧竖直棱边上固定安装有铰链,柜门通过铰链与柜体活动连接,另一侧竖直棱边上固定安装有电子锁;封闭式置物装置上端固定连接有置物台,置物台的侧壁上嵌入安装有扫码服务装置;本实用新型有效解决在火车站、机场等场所未设置公共置物设施,旅客临时置物较为不便
安徽建筑大学 2021-01-12
智能物联网
北京工业大学 2021-04-14
农业物联网
农业物联网整体方案 利用各种传感器、摄像头,通过物联网方式,把农业数据汇集到农业物联网平台,为第三方专业应用提供开放、统一的数据管理和分析平台。 通过数据中心大屏、手机App展示农场、草原、沙漠绿化实景,直观感受实际效果,提供大数据分析,为领导或投资人提供决策参考。 通过手机App获取所购买产品的生产过程参数、视频信息,让消费者买的放心。 获取农业、养殖业生产过程中的空气、土壤、水质各类环境参数,让农户在专家系统指导下合理种植、养殖制定正确的自动化控制计划。 让农业厂商及技术人员获取农业生产的第一手数据、评估化肥使用效果,为农业生产提供实时、远程的技术支持。 农田数据采集及分析 通过传感器实时采集农田空气温湿度、二氧化碳含量、光照强度、土壤温湿度,通过自动控制启动浇水灌溉系统;通过视频分析,采集和分析虫害发生情况,为防虫防灾提供预警。 农产品智慧配送 农产品出厂流程标准化,消费者可以通过包装上的二维码了解产品生产日期、产地,全程可追溯;甚至可以访问生产过程参数和视频,让消费者放心。 通过电商平台建立农场和消费者的直接交易,通过智能物流配送柜,及时、低成本的送货上门。 智能配送柜提供到货提醒、空间管理、密码取货等功能,最大程度方便消费者。
新立讯科技股份有限公司 2021-08-23
储物柜
产品详细介绍 可根据客户的要求批量定做
大连益隆科教仪器设备有限公司 2021-08-23
防治煤炭自燃的水成膜胶体泡沫
项目成果/简介:水成膜胶体泡沫是将聚合物分散在水中,加入发泡剂并在氮气的作用下发泡形成的复杂混合体系。经过一段时间后,在泡沫液膜内,聚合物间相互交联形成三维网状结构,构成水成膜胶体泡沫的刚性骨架。防灭火水成膜胶体泡沫既具有凝胶的性质,又具有泡沫的性质,兼有注三相泡沫(注泥浆、注氮气、注两相泡沫)、注凝胶、注复合胶体的优点,同时又克服了各自的不足,从而大大提高其防灭火效果。
安徽理工大学 2021-04-11
纳米金刚石膜涂层及工业应用
纳米金刚石的金刚石晶粒尺寸在100nm以下, 表面极其光滑平整, 摩擦系数极低(可小于0.05), 因此是十分理想的工具(模具)涂层和光学涂层材料, 同时在MEMs (微机电系统)和高性能大屏幕(场发射)显示技术等领域也有非常好的应用前景。 本项目组采用微波等离子体CVD和 DC Arc Plasma Jet CVD两种工艺方法, 在玻璃, 硅, 钼和硬质合金等衬底材料上成功制备了纳米金刚石膜。 在玻璃衬底上制备的纳米金刚石膜晶粒平均尺寸小于100 nm, 表面粗糙度小于Ra 5nm, 采用纳米力学探针测量的显微硬度高达8000kg/mm2, 在可见及近红外区域具有非常好的透过特性, 紫外喇曼光谱(在新加坡国立南洋理工大学测试)显示薄膜几乎为纯净的金刚石纳米晶粒组成。在其它衬底上的纳米金刚石膜的组织结构和性能测试正在进行之中。 纳米金刚石膜涂层硬质合金工具: 其中最有前景的是纳米金刚石膜涂层硬质合金微型钻头; 纳米金刚石膜涂层光学应用: 包括诸如”永不磨损钻石涂层玻璃表壳”和”永不磨损钻石涂层玻璃眼镜片”, 及ZnS, Ge, Si等重要红外军事光学材料的抗(雨滴、沙粒)冲刷涂层; 微机电系统(MEMs)的微机械构件: 如微型齿轮, 轴, 轴承等; 高性能大屏幕显示器件
北京科技大学 2021-04-11
防治煤炭自燃的水成膜胶体泡沫
水成膜胶体泡沫是将聚合物分散在水中,加入发泡剂并在氮气的 作用下发泡形成的复杂混合体系。经过一段时间后,在泡沫液膜内, 聚合物间相互交联形成三维网状结构,构成水成膜胶体泡沫的刚性骨架。防灭火水成膜胶体泡沫既具有凝胶的性质,又具有泡沫的性质, 兼有注三相泡沫(注泥浆、注氮气、注两相泡沫)、注凝胶、注复合 胶体的优点,同时又克服了各自的不足,从而大大提高其防灭火效果。
安徽理工大学 2021-04-30
多功能液态保鲜膜的制备技术
本发明涉及以天然成分为原料,开发一种能够抑菌防腐和延长 肉类产品保鲜期,具有一定粘稠度,可与肉类产品表面结合为一体的多功能液 态可食保鲜膜,喷涂于食品表面,对环境常在菌具有显著的抑制作用,无毒无 害,且兼有保健和防伪(隐形标签)作用,已获得国家发明专利。 技术优点或者效益预测:肉鸡屠宰后按部位进行分割,喷涂(或浸蘸)保鲜 膜液后装入食品袋后密封,室温冷却编号,置于微温(30~~40℃)和常温 (20~~25℃)2 种条件下贮藏的保质期可分别达到 3、7d。同时可标识产品生产厂 家。有效防止肉类产品加工过程二次污染,从而延长保鲜期,同时兼有产品防 伪标识作用。应用前景十分广阔。 
青岛农业大学 2021-04-11
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