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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点，在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说，靶材是至关重要的，它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一，较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移，从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材，其性能不能满足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技术原理与工艺流程简介： 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下：温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
应用领域：
集成电路、电子元器件
合作方式及条件：具体面议
天津大学
2021-04-11
食道剥脱器
该脱器由柑榄球状的头及连杆、手柄组成。柑榄球状头分为七种型号。直径为4.0、6.0、8.0、10.0、12.0、14.0、16.0mm，长度为10～50mm。连杆长40mm，直径2.5mm；手柄长70mm，直径为10mm，可任意弯曲角度，利于术中操作。钛合金制做，弹性高、重量轻，永不生锈，柔韧性好。
西安交通大学
2021-01-12
墙壁清洁器
研发阶段/n本实用新型涉及一种墙壁清洁器，其特征在于：它由固定刷板、旋转刷子、刷柄、水箱和动力装置组成，所述的旋转刷子设有两个，两个都设置在固定刷板的底面上，固定刷板是可拆卸的；刷柄通过铰链连接在固定刷板的背面；刷柄尾端设有水管，水管的另一端水箱连通，所述的动力装置设置在固定刷板的内部；所述的动力装置包括电动机、小型水泵和充电电池，电动机也设有两个，分别与两个旋转刷子连接；小型水泵连通水管，小型水泵设有两根出水管。本实用新型方便实用，能快速、有效的清除墙壁上的难除的广告或其他污垢，操作简单，方便使用
武汉工程大学
2021-01-12
欹器模型
塑料底座，金属连杆，透明翻转斗，配有供水装置。
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
听诊器
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
计算器
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
计算器
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
量角器
宁波华茂文教股份有限公司
2021-08-23
节拍器
电子式，适用范围：定音功能、校音适用：吉他、贝司、小提琴、古筝、二胡、管乐等乐器
产品特点：时尚的外观设计、独有的强抗干扰功能、校音反映灵敏、精确度高
技术参数：节拍速度范围：30-240、A4音的频率范围：430～450Hz
产品规格：品规格 尺寸：97×65×16mm 重量：100g 100个/箱
产品颜色：黑色
附件：拾音器、两节7号电池
节拍器分为电子式和机械式，电子式价格较低廉，机械节拍器市场价约为200左右
可提供产品检测报告等相关资质。
北京鑫三芙教学设备制造有限公司
2021-08-23
徒手切片器
宁波浪力仪器有限公司（余姚市朗海科教仪器厂）
2021-08-23