TCS208F 气体热导分析仪
产品详细介绍
TCS208F采用先进的MEMS加工技术生产,利用被测组份和参考气体的热导系数不同而响应的浓度型传感器。产品具有检测范围大、可靠性高、安装方便、维护简单等优点。可广泛应用于天然气,CH4、H2,CO2,CO,SF6,Xe,He,NH3等气体成份检测,也可用于测量非常小的气体容积变化。
测量精度高
灵敏度高
集成温度补偿,漂移小
体积小,响应速度快
可以测量微小的气体容量
高性价比
TO8封装,抗冲击能力强
详细介绍:
1. 最大限值
最小
典型
最大
单位
热功率P(Rm1+Rm2):
—
—
30
mW
测量温度Tm
—
—
180
°C
环境温度
-20
—
+85
°C
气体压力(1)
—
—
200
bar
注:由于膜的热时间常数短,短时间的加过高的热功率会毁坏传感器。
2. 参数说明:
最小
典型
最大
单位
电阻,Rm1,Rm2(Tm=25°C)
92
100
115
Ω
电阻,Rt1,Rt2
220
240
275
Ω
商,Rtx / ( Rm1+Rm2 ),x∈{1,2}
1.13
1.2
1.27
1
阻抗差,Rm1 - Rm2
-2.0
—
+2.0
Ω
α=温度系数,( Rm, Rt ) | 20 - 100°C
4.8(2)
5.5
5.9
10-3·K-1
G =几何系数(3)
—
3.6
—
mm
τm =膜的热时间常数
—
<5
—
ms
τdiffusion =气体交换的时间常数
—
<100
—
ms
漂移( Rxy ) | x∈{m,t} ; y∈{1,2}
—
0.001
0.01
%/week
散射结构的体积
—
0.2
—
mm3
保持干净的周围环境空间大小
—
100
—
mm3
基础材料
硅,采用蚀刻技术获得微观结构
尺寸结构: 包括底座
不包括底座
3mm × 3mm × 1mm
13mm Ø × 15.4mm
暴露在空气中的材料
Si, SiOxNy, 金, 环氧材料
注释: (1) 根据供应商的说明书对于适当的设备提供的压力参数
(2) α的最小值只适用于与低规格电压辅助源结合的情况. 产品会不断的改良使它更接近于DIN 43760的规格.
(3) 因数G是由内部的传感器的机构决定的.
传感器的机械测试:
振动: 符合IEC 68-2-6 附录B (1982) 10圈,±1.5mm; 20g; 10..2000Hz; 1阶/分钟
冲击: 符合IEC 68-2-27 修正#1 (82年10月),径向和轴向各10次, 100g; 7.5ms / 300g; 2.5ms / 900g; 1.2ms.
上海维逸测控技术有限公司
2021-08-23