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深圳市众长教学用品有限公司 2021-08-23
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宁波保税区远东文教用品有限公司 2021-08-23
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宁波保税区远东文教用品有限公司 2021-08-23
种电液伺服阀叠合量测量装置及其测量方法
本发明涉及一种电液伺服阀叠合量气动测量装置及方法。本装置及系统对电液伺服阀的进油腔或回油腔提供稳定的气压,驱动阀芯缓慢及微量的移动,采集阀芯运动过程中气体流量、阀芯位移数据,并进一步计算出电液伺服阀各工作边的叠合量。本装置及系统主要包括:电动平移台、接触式位移传感器、流量控制器、配气座、气动滑台、气爪、气路系统等。电动平移台带动阀芯做缓慢及微量移动;气动平移台实现工艺壳体的压紧、阀芯的夹紧、位移传感器与气爪的接
华中科技大学 2021-04-14
光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测量方法
本发明公开了一种光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测 量方法,可以对 IC 制造中所涉及纳米结构的结构参数和粗糙度特征参 数进行非接触、非破坏的测量。首先,通过仿真分析的手段,选出最 优测量配置与最优等效介质模型;其次,将上述仿真结果运用于实际 纳米结构的测量,包括:在最优测量配置下,对实际纳米结构进行光 学散射测量,获得测量光谱;运用基于最优等效介质模型的参数提取 算法,对测量光谱进行分析,获得提取参数的数值;通过提取参数与 待测参数间稳定性最佳的映射关系式对提取参数进行映射,获得待测 参数的数值。 
华中科技大学 2021-04-11
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